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기판에 광을 조사하는 광원;상기 광원에서 출사된 광을 선택적으로 투과시켜 2차원 패턴 이미지를 형성하는 디지털 미러 소자;상기 2차원 패턴 이미지를 1차원 패턴 이미지로 변조하는 광학계; 상기 기판의 위치를 조절하여 상기 기판 위의 감광막에 상기 1차원 패턴 이미지를 연속적으로 스캔 노광하는 기판 스캐너를 포함하고,상기 2차원 패턴 이미지는 상기 기판의 스캔 방향에 수평한 방향으로는 균일한 이미지를 가지고, 상기 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로는 목표 패턴의 이미지를 가지는 디지털 노광 시스템
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제1항에서,상기 광학계는 복수의 프로젝션 렌즈, 그리고상기 프로젝션 렌즈와 상기 기판 사이에 위치하는 실린드리컬 렌즈를 포함하는 디지털 노광 시스템
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제2항에서,상기 2차원 패턴 이미지는 상기 기판의 스캔 방향에 수평한 방향으로 포커싱되고,상기 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로 이미징되어 상기 1차원 패턴 이미지로 변조되는 디지털 노광 시스템
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제3항에서,상기 광학계에 설치되어 상기 기판의 스캔 방향으로 회절되는 광을 보상하는 회절 보상부를 더 포함하는 디지털 노광 시스템
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제4항에서,상기 회절 보상부는 상기 광학계의 복수의 프로젝션 렌즈 사이에 위치하는 디지털 노광 시스템
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제5항에서,상기 회절 보상부는 상기 복수의 프로젝션 렌즈 사이 중 상기 광이 포커싱되는 포커싱 포인트에 대응하여 설치되는 디지털 노광 시스템
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제4항에서,상기 회절 보상부는 슬릿 또는 조리개를 포함하는 디지털 노광 시스템
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제4항에서,상기 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 상기 기판의 스캔 방향은 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각을 가지는 디지털 노광 시스템
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제8항에서,상기 디지털 미러 소자는 화소 회전축을 기준으로 회전하는 복수의 화소 미러를 포함하고, 상기 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 상기 화소 회전축은 서로 평행한 디지털 노광 시스템
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제8항에서,상기 디지털 미러 소자는 화소 회전축을 기준으로 회전하는 복수의 화소 미러를 포함하고, 상기 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 상기 화소 회전축은 상기 제1 경사각을 가지는 디지털 노광 시스템
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