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정전기적 척력을 이용한 마이크로 LED 정렬 방법 및 이를 이용한 마이크로 LED 디스플레이 제조 방법

  • 기술번호 : KST2023010590
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 복수개의 마이크로 LED 사이에 발생하는 정전기적 척력을 이용하여 일정한 간격으로 마이크로 LED를 정렬하는 방법 및 이를 이용한 마이크로 LED 디스플레이 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 마이크로 LED 정렬 방법은 (a) 기판 상에 서로 이격되는 제1전극층과 제2전극층을 배치하는 단계; (b) 상기 제1전극층, 제2전극층이 배치된 기판 상에 절연층을 배치하는 단계; (c) 상기 절연층 중 제1전극층과 제2전극층 사이 영역에 해당하는 부분에 일정한 간격으로 복수개의 홈을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 기판 상에 복수개의 마이크로 LED를 포함하는 용액을 공급하면서, 상기 제1전극층과 제2전극층에 전기장을 발생시켜 하나의 마이크로 LED와 인접한 다른 하나의 마이크로 LED 사이에 발생하는 척력에 의해, 일정한 간격으로 복수개의 마이크로 LED를 정렬하는 단계를 포함하고, 상기 (d) 단계에서, 하나의 홈에 하나의 마이크로 LED를 정렬할 수 있다.
Int. CL H01L 27/15 (2006.01.01) H01L 27/12 (2006.01.01) H01L 33/62 (2010.01.01) H01L 33/48 (2010.01.01)
CPC H01L 27/156(2013.01) H01L 27/1259(2013.01) H01L 27/124(2013.01) H01L 27/1248(2013.01) H01L 33/62(2013.01) H01L 33/486(2013.01)
출원번호/일자 1020220059179 (2022.05.13)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0159166 (2023.11.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.05.13)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재균 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2022.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2022-0511577-15
2 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2023.09.06 수리 (Accepted) 4-1-2023-5233653-65
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번호 청구항
1 1
(a) 기판 상에 서로 이격되는 제1전극층과 제2전극층을 배치하는 단계;(b) 상기 제1전극층, 제2전극층이 배치된 기판 상에 절연층을 배치하는 단계; (c) 상기 절연층 중 제1전극층과 제2전극층 사이 영역에 해당하는 부분에 일정한 간격으로 복수개의 홈을 형성하는 단계; 및(d) 상기 기판 상에 복수개의 마이크로 LED를 포함하는 용액을 공급하면서, 상기 제1전극층과 제2전극층에 전기장을 발생시켜 하나의 마이크로 LED와 인접한 다른 하나의 마이크로 LED 사이에 발생하는 척력에 의해, 일정한 간격으로 복수개의 마이크로 LED를 정렬하는 단계를 포함하고,상기 (d) 단계에서, 하나의 홈에 하나의 마이크로 LED를 정렬하는 마이크로 LED 정렬 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 (c) 단계에서, 하나의 홈과 인접한 다른 하나의 홈 사이의 간격은 마이크로 LED의 직경보다 큰 마이크로 LED 정렬 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서, 하나의 마이크로 LED와 인접한 다른 하나의 마이크로 LED 사이의 간격은 마이크로 LED의 직경보다 큰 마이크로 LED 정렬 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서, 하나의 홈과 인접한 다른 하나의 홈 사이에 적어도 하나의 마이크로 LED를 더 정렬하는 마이크로 LED 정렬 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서, 복수개의 마이크로 LED를 포함하는 용액은 용액 1㎕ 당 1Χ103 ~ 1 Χ107의 마이크로 LED를 포함하는 마이크로 LED 정렬 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 홈의 길이는 상기 마이크로 LED의 길이보다 큰 마이크로 LED 정렬 방법
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제1항에 있어서,상기 홈의 길이와 마이크로 LED 길이 각각은 상기 제1전극층과 제2전극층 사이 영역의 거리보다 큰 마이크로 LED 정렬 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서, 홈에서의 전기장의 크기는 홈이 아닌 영역에서의 전기장의 크기보다 큰 마이크로 LED 정렬 방법
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(a) 기판 상에 데이터 라인과 게이트 라인이 교차하여 정의되는 복수개의 화소 영역마다 트랜지스터를 배치하는 단계;(b) 상기 복수개의 화소 영역마다 서로 이격되는 제1전극층과 제2전극층을 배치하는 단계;(c) 상기 제1전극층, 제2전극층이 배치된 기판 상에 절연층을 배치하는 단계; (d) 상기 절연층 중 제1전극층과 제2전극층 사이 영역에 해당하는 부분에 일정한 간격으로 복수개의 홈을 형성하는 단계; 및(e) 상기 기판 상에 복수개의 마이크로 LED를 포함하는 용액을 공급하면서, 상기 제1전극층과 제2전극층에 전기장을 발생시켜 하나의 마이크로 LED와 인접한 다른 하나의 마이크로 LED 사이에 발생하는 척력에 의해, 일정한 간격으로 복수개의 마이크로 LED를 정렬하는 단계를 포함하고,상기 (e) 단계에서, 하나의 홈에 하나의 마이크로 LED를 정렬하며,하나의 화소 영역마다 하나의 마이크로 LED가 배치되는 마이크로 LED 디스플레이 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 (e) 단계는, 복수개의 화소 영역마다복수개의 마이크로 LED 중에서 적색 마이크로 LED를 포함하는 용액을 공급하면서, 적색 화소에 연결되는 제1전극층과, 제2전극층에 전기 신호를 인가하여 일정한 간격으로 복수개의 적색 마이크로 LED를 배열하며,복수개의 마이크로 LED 중에서 녹색 마이크로 LED를 포함하는 용액을 공급하면서, 녹색 화소에 연결되는 제1전극층과, 제2전극층에 전기 신호를 인가하여 일정한 간격으로 복수개의 녹색 마이크로 LED를 배열하며,복수개의 마이크로 LED 중에서 청색 마이크로 LED를 포함하는 용액을 공급하면서, 청색 화소에 연결되는 제1전극층과, 제2전극층에 전기 신호를 인가하여 일정한 간격으로 복수개의 청색 마이크로 LED를 배열하는 마이크로 LED 디스플레이 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 제1전극층은 상기 트랜지스터의 소스 전극 또는 드레인 전극에 연결되고,상기 제2전극층은 전원 전압 라인(VDD) 또는 기저 전압 라인(Vss)에 연결되는 마이크로 LED 디스플레이 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020220157583 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2022245147 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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