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기판의 일면에 형성되는 광학 간섭계(optical interferometer)에 있어서,입력되는 광 신호를 복수의 광 신호로 분할하여 출력하는 광 분할기;일단이 상기 광 분할기의 출력에 연결되는 복수의 도파로;상기 도파로의 타단에 연결되어 상기 도파로를 통해 전파되는 분할된 복수의 광 신호를 반사하는 광 반사기; 및상기 도파로와 상기 광 반사기 사이에 위치하고 상기 도파로를 수직으로 가로질러 형성되고, 광축이 상기 일면에 대해 45도 또는 135도 방향이고, 상기 분할된 복수의 광 신호의 편광 상태를 변화시키는 사분파장판(quarter-wave plate)을 포함하는, 광학 간섭계
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제1항에 있어서,상기 광 분할기는,DC(directional coupler) 또는 MMI(multimode interference device)를 포함하는, 광학 간섭계
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제2항에 있어서,상기 DC 또는 상기 MMI는,1:1의 광 분배비를 가지는, 광학 간섭계
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제1항에 있어서,상기 도파로는, 제1 길이의 제1 도파로; 및제2 길이의 제2 도파로를 포함하는, 광학 간섭계
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제4항에 있어서,상기 제1 길이와 상기 제2 길이는 서로 다른, 광학 간섭계
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제5항에 있어서,상기 제1 도파로는, 반원형이고,상기 제2 도파로는, 직선형인, 광학 간섭계
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제1항에 있어서,상기 도파로는,단면이 직사각형 모양의 평판형 도파로를 포함하는, 광학 간섭계
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제1항에 있어서,상기 광 반사기는,상기 광 분할기와 다른 광 분할기; 및상기 도파로와는 다른 도파로를 포함하는, 광학 간섭계
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제8항에 있어서,상기 다른 광 분할기의 제1 포트는 상기 타단에 연결되고, 상기 다른 광 분할기의 제2 포트에 포함된 2개의 포트는 상기 다른 도파로의 일단 및 타단에 각각 연결되고,상기 다른 도파로는 루프 형태인, 광학 간섭계
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제9항에 있어서,상기 다른 도파로는,단면이 직사각형 모양의 평판형 도파로를 포함하는, 광학 간섭계
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