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미세 압력 측정 소자를 제조하는 방법으로서,압전나노입자와 액상용매에 의해 가수분해된 실란커플링제를 혼합하고 실란처리하여 상기 실란처리된 압전나노입자를 취득하는 제1 단계;폴리머에 석출입자용질과 액상용매를 혼합하여 액상석출 혼합용액을 취득하는 제2 단계;상기 제2 단계의 액상석출 혼합용액을 가열하여 상기 액상용매를 기화시켜 상기 폴리머에 고형화된 석출입자가 혼합된 고형석출 혼합물을 취득하는 제3 단계;상기 제3 단계의 고형석출 혼합물에 바이온계면활성제를 혼합하여 고분자 혼합물을 취득하는 제4 단계;상기 제1 단계의 실란처리된 압전나노입자와 상기 제4 단계의 고분자 혼합물을 혼합하고 열처리를 통해 경화하여 경화된 압전복합체층을 취득하는 제5 단계;상기 제5 단계의 경화된 압전복합체층 내부의 상기 고형화된 석출입자를 액상용매로 제거하여 다공성 압전복합체층을 취득하는 제6 단계;상기 제6 단계의 다공성 압전복합체층 표면에 실란처리와 플라즈마처리를 순차적으로 하여 코팅층을 형성하고, 상기 코팅층 상에 제1 전극과 제2 전극을 제조하는 제7 단계; 및상기 제7 단계의 제1 전극과 제2 전극에 직류 전계를 인가하여 압전특성을 활성화하는 제8 단계;를 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 단계의 압전나노입자는 페로브스카이트 구조인 PZT, BaTiO3, PbTiO3, TiO2, SrTiO3 및 ZrO2 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1, 2, 3, 6 단계의 상기 액상용매는 물, 에탄올, 메탄올, 아세톤 및 톨루엔 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 단계의 상기 실란커플링제는 GPTMS, MPTMS, APTES 및 TESPT 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 단계의 상기 실란처리 방법은 초음파진동, 휘젓기, 담그기 및 흔들기 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제2 단계의 상기 폴리머는 PDMS, PMMA, SU-8 및 PU 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제2 단계의 상기 석출입자용질은 구연산, 설탕, 소금 및 베이킹소다 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제4 단계의 상기 비이온계면활성제는 Triton, Nonoxynol, Digitonin 및 Tween 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제5 단계의 상기 압전복합체층 형성 방법은 스핀코팅, 주조공정 및 스프레이 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제7 단계의 상기 다공성 압전복합체층 표면의 실란처리 방법은 실란커플링제에 담그기, 및 실란커플링제의 스핀코팅 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제7 단계의 상기 제1 전극 및 제2 전극은 각각, 금, 은, 구리, 백금, 크롬, 알루미늄, 티타늄, 및 니켈 중 하나 이상을 포함하는 전도체인,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제7 단계의 상기 제1 전극 및 제2 전극의 제조 방법은 열증착법, 전자빔증발법, 스퍼터링, 화학증기증착, 에피택시, 전기방사증착, 잉크젯 인쇄, 스핀코팅, 스프레이 코팅 중 하나 이상을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제8 단계의 상기 제1 전극 및 제2 전극은 감지회로에 Wiring 또는 Via-hole을 통해서 연결되는 것을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제8 단계의 상기 제1 전극과 제2 전극은 각각 상기 기판의 상면에 배치되어 서로 깍지 끼움 되는 깍지형-전극구조로 이루어지거나,상기 제8 단계의 상기 제1 전극은 상기 기판의 상면에 배치되고 상기 제2 전극은 상기 기판의 하면에 배치되는 전극-절연체-전극구조로 이루어지는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제8 단계의 상기 미세 압력 측정 소자는,단위소자들을 직렬 또는 병렬로 나란히 연결하는 배열, 또는 단위소자들을 하나의 기판 상에 직렬 또는 병렬로 나란히 연결하는 배열을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제8 단계의 상기 미세 압력 측정 소자는,단위소자들을 직렬 또는 병렬로 적층 연결하는 배열을 포함하는,미세 압력 측정 소자 제조 방법
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