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커넥터;상기 커넥터에 연결되는 노즐;상기 노즐의 일측 상에 형성된 파워 전극;상기 커넥터에 대향되는 상기 노즐의 타측 상에 형성된 접지 전극; 및상기 노즐의 토출구 내에 삽입되고, 상기 노즐 내의 가스를 방출하는 다공들을 갖는 필러 노즐을 포함하는 플라즈마 브러시
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제 1 항에 있어서,상기 노즐은 세로길이보다 큰 가로길이의 직사각형 또는 타원형 모양으로 형성된 토출구를 갖는 플라즈마 브러시
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제 2 항에 있어서, 상기 파워 전극 및 상기 접지 전극은 각각 상기 노즐의 외주면을 둘러싸는 제 1 금속 링 및 제 2 금속 링을 포함하는 플라즈마 브러시
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제 3 항에 있어서, 상기 제 1 금속 링은 상기 제 2 금속 링의 세로 길이와 동일한 세로 길이를 갖는 플라즈마 브러시
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제 3 항에 있어서,상기 제 1 금속 링은 상기 제 2 금속 링의 가로 길이보다 짧은 가로 길이를 갖는 플라즈마 브러시
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6
제 3 항에 있어서,상기 노즐은 상기 제 1 금속 링 및 상기 제 2 금속 링을 각각 고정하는 제 1 홈 및 제 2 홈을 갖는 플라즈마 브러시
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 홈과 제 2 홈 사이에서 상기 제 1 금속 링 및 상기 제 2 금속 링을 분리하는 단턱을 포함하는 플라즈마 브러시
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삭제
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제 1 항에 있어서, 상기 접지 전극은 상기 다공들 사이의 상기 필러 노즐 내에 형성된 그리드 또는 메시를 포함하는 플라즈마 브러시
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제 9 항에 있어서,상기 필러 노즐 상의 상기 접지 전극을 덮는 제 1 피복 층을 더 포함하는 플라즈마 브러시
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제 2 항에 있어서, 상기 파워 전극은 상기 토출구 내에 배치된 복수개의 니들들을 포함하는 플라즈마 브러시
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제 11 항에 있어서, 상기 니들들을 연결하는 도전성 접착제를 더 포함하는 플라즈마 브러시
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제 11 항에 있어서, 상기 니들들을 보호하는 제 2 피복 층을 더 포함하는 플라즈마 브러시
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제 1 항에 있어서, 상기 노즐은 유전체를 포함하는 플라즈마 브러시
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제 14 항에 있어서, 상기 유전체는 알루미나 또는 세라믹을 포함하는 플라즈마 브러시
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제 1 항에 있어서,상기 커넥터는 채널 홀들을 갖는 배관을 포함하는 플라즈마 브러시
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제 16 항에 있어서,상기 배관은 상기 채널 홀들의 중심에 형성된 절연 봉을 포함하는 플라즈마 브러시
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제 16 항에 있어서,상기 커넥터는 상기 배관을 보호하는 제 3 피복 층을 더 포함하는 플라즈마 브러시
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