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적어도 동일 평판재질을 가공하여 보(2)와 질량체(1a),(1b) 그리고 질량체(1a),(1b)와 상,하평판부(10a),(10b) 사이의 감쇠조절 공간(3a),(3b)와 접착용 홈(12a),(12b),(13a),(13b)를 일체형으로 만들고, 감쇠조절공간(3a),(3b)의 깊이를 변화시켜 감쇠를 조절하며, 동일 면적, 동일 질량의 질량체(1a),(1b)를 보(2)의 양면에 각각 배치함과 동시에 보(2)와 지지대(11) 사이 그리고 양쪽 질량체(1a),(1b)사이의 상대위치를 각각 조절하며, 보(2)파손 여부를 판단할 수 있는 자체진단시설(5),(23),(7a),(7b)를 설치하기 위한 평면 공간을 형성하고, 보(2)의 양단부(9a),(9b)에 곡률을 형성함을 특징으로 하는 대칭질량형 가속도계
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제1항에 있어서, 상기 보(2)는 그위에 설치된 자체진단시설(5),(23),(7a),(7b)을 이용하여 가속도계 자체특성을 시험할 수 있는 자체보상(self-calibration) 또는 자체시험(self-testing) 기능이 부여된 것임을 특징으로 하는 대칭질량형 가속도계
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 보(2)는 그 위에 압저항체(4)를 설치한 압저항형 측정방식, 압전현상을 이용한 압전형 측정방식 또는 질량체(1a),(1b)와 상,하평판(10a),(10b)의 대향면에 전극을 설치하여 가속도를 측정하는 용량형 측정방식을 이용하여 질량체(1a),(1b)의 운동을 측정함으로써, 가속도를 감지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 대칭질량형 가속도계
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대칭질량형 가속도계를 제조함에 있어서, 감쇠조절용 틈새간격(15a),(15b)와 접착제 홈(12a),(12b), 보의 두께조절용 홈 및 전극을 형성할 부위(14a),(14b)를 동시에 식각하는 공정, 이때 (15a),(15b)의 식각 깊이를 조절하여 감쇠조절을 위한 공간 (3a),(3b)을 형성하는 공정, 홈(16a),(16b)를 일차 식각한 후 다단계 식각공정을 거쳐 보(2)의 두께를 조절하는 공정, 1차식각 공정과 2차식각 공정을 이용하여 보의 양단에 곡률을 형성하는 공정, 상부질량체(1a)와 하부질량체(1b)의 상,하부 면적을 동일하게 하되 두 질량체의 상대 위치를 변화시켜 식각함으로써 자체진단체 설치를 위한 평면공간을 형성하는 공정, 압저항체와 자체진단용 저항체를동시에 설치하는 제조방법, 압저항체와 자체진단용 저항체를 연결하여 각각의 회로를 구성하기 위한 전극 (6),(7)과 도선(23)을 동시에 제조하는 공정, 보(2)와 파손방지보(2c)를 동시에 마지막단계에서 파손방지보(2b)를 제거하는 공정, 접합홈에 접착제를 넣고 상,하평판부(10a)와 (10b)를 접착하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대칭질량형 가속도계의 제조방법
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