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제1반사부(42)와 제2반사부(43), 상기 제1반사부(42)와 제2반사부(43) 사이에 중공부(45)로 구성된 광학계의 열팽창 보상 장치에 있어서, 상기 제1반사부(42)는 제1부재(41)의 일단에 고정되고, 제2반사부(43)는 제2부재(44)의 일단에 고정되는 것과 함께 제1부재(41)와 제2부재(44)의 타단은 동일한 고정대(46)에 고착되어, 제1부재(41)의 길이를 'L1', 열팽창률을 'α1 '이라 하고 제2부재(44)의 길이를 'L2', 열팽창률을 'α2'이라고 할 때, 제1반사부의 길이에 대한 제2반사부의 길이 비 를 로 하는 반사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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청구항1에 있어서, 상기 제1반사부(42)와 제2반사부(43)는 서로 대향하고 있으며, 광이 제1반사면으로 입사하여 상기 제1반사부(42)와 제2반사부(43) 사이에서 다중반사하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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청구항1에 있어서, 상기 제1반사부(42)와 제1부재(41)와의 고정 및 제2반사부(43)와 제2부재(44)와의 고정은 접착제로 부착하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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제1반사부(52)와 제2반사부(53), 상기 제1반사부(52)와 제2반사부(53) 사이에 중공부(55)로 구성된 광학계의 열팽창 보상 장치에 있어서, 상기 제1반사부(52)는 셸형상의 제1부재(51)의 일단에 고정되고, 제2반사부(53)는 제2부재(54)의 일단에 고정되고, 상기 제2부재(54)는 상기 제1부재(51)와 간극(57)을 두고 상기 제1부재(51)의 내부에 구성되는 것과 함께 제1부재(51)와 제2부재(54)의 타단은 동일한 고정대(56)에 고착되며, 제1부재(51)의 길이를 'L1', 열팽창률을 'α1 '이라 하고 제2부재(54)의 길이를 'L2', 열팽창률을 'α2'이라고 할 때, 제1반사부의 길이에 대한 제2반사부의 길이 비 를 로 하는 반사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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청구항4에 있어서, 상기 제1반사부(52)와 제2반사부(53)는 서로 대향하고 있으며, 광이 제1반사면으로 입사하여 상기 제1반사부(52)와 제2반사부(53) 사이에서 다중반사하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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6
청구항4에 있어서, 상기 셸형태의 제1부재(51)는 원통형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 열팽창 보상 장치
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제1반사부(62)와 제2반사부(63), 상기 제1반사부(62)와 제2반사부(63) 사이에 중공부(65)로 구성된 광학계의 열팽창 보상 장치에 있어서, 상기 제1반사부(62)는 셸형상의 제1부재(61)의 내부 일측에 고정되고, 제2반사부(63)는 제2부재(64)의 일단에 고정되고, 상기 제2부재(64)는 상기 제1부재(61)와 간극(67)을 두고 상기 셸형상 제1부재(61)의 내부에 구성되는 것과 함께 제1부재(61)와 제2부재(64)의 타단은 동일한 고정대(66)에 고착되며, 고정대와 제1반사부(62)까지의 길이를 'L1', 열팽창률을 'α1 '이라 하고 제2부재(64)의 길이를 'L2', 열팽창률을 'α2'이라고 할 때, 제1반사부의 길이에 대한 제2반사부의 길이 비 를 로 하는 반사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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8
청구항7에 있어서, 상기 제1반사부(62)와 제2반사부(63)는 서로 대향하고 있으며, 광이 제1반사면으로 입사하여 상기 제1반사부(62)와 제2반사부(63) 사이에서 다중반사하는 것을 특징으로 하는 열팽창 보상 장치
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9
청구항7에 있어서, 상기 셸형태의 제1부재(61)는 원통형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 열팽창 보상 장치
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제1반사부(72)와 제2반사부(73), 상기 제1반사부(72)와 제2반사부(73) 사이에 중공부(75)로 구성된 광학계의 열팽창 보상 장치에 있어서, 상기 제1반사부(72)는 셸형상의 제1부재(71) 일단에 고정되고, 제2반사부(73)는 셸형상의 제2부재(74) 일단에 고정되며, 상기 제2부재(74)는 상기 제1부재(71)와 간극(77)을 두고 제1부재(71)의 내부에 구성되는 것과 함께 제1부재(71)와 제2부재(74)의 타단은 동일한 고정대(76)에 고착되며, 제1부재(71)의 길이를 'L1', 열팽창률을 'α1 '이라 하고 제2부재(54)의 길이를 'L2', 열팽창률을 'α2'이라고 할 때, 제1반사부의 길이에 대한 제2반사부의 길이 비 를 로 하는 반사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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청구항10에 있어서, 상기 제1반사부(72)와 제2반사부(73)는 서로 대향하고 있으며, 광이 제1반사면으로 입사하여 상기 제1반사부(72)와 제2반사부(73) 사이에서 다중반사하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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청구항10에 있어서, 상기 제1부재(71)와 상기 제2부재(74)는 원통형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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제1반사부(82)와 제2반사부(83), 상기 제1반사부(82)와 제2반사부(83) 사이에 중공부(85)로 구성된 광학계의 열팽창 보상 장치에 있어서, 상기 제1반사부(82)는 셸형상의 제1부재(81)의 내부 일측에 고정되고, 제2반사부(83)는 셸형상의 제2부재(84)의 일단에 고정되고, 상기 제2부재(84)는 상기 제1부재(81)와 간극(87)을 두고 상기 셸형상 제1부재(81)의 내부에 구성되는 것과 함께 제1부재(81)와 제2부재(84)의 타단은 동일한 고정대(86)에 고착되며, 고정대와 제1반사부(82)까지의 길이를 'L1', 열팽창률을 'α1 '이라 하고 제2부재(84)의 길이를 'L2', 열팽창률을 'α2'이라고 할 때, 제1반사부의 길이에 대한 제2반사부의 길이 비 를 로 하는 반사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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청구항13에 있어서, 상기 제1반사부(82)와 제2반사부(83)는 서로 대향하고 있으며, 광이 제1반사면으로 입사하여 상기 제1반사부(82)와 제2반사부(83) 사이에서 다중반사하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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청구항13에 있어서, 상기 제1부재(81)와 상기 제2부재(83)은 원통형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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청구항13에 있어서, 상기 제1부재(81)와 상기 제2부재(83)은 원통형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치
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