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광원; 대물렌즈; 상기 광원과 대물렌즈 사이에 위치하며 광원에서 나온 광을 분할하여 대물렌즈의 광축에 경사지게 입사시키기 위한 광분할기; 물체 위에 형성된 광점이 대물렌즈에 의하여 상점으로 맺히게 되는 수광소자; 및, 수광소자에 나타나는 상점의 위치 변화에 따라 발생하는 전기신호를 처리하기 위한 신호처리 수단을 포함하는 현미경의 자동 초점조절 장치
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제1항에 있어서, 사용된 광학계의 영상면의 위치를 전후로 하여 2개의 수광소자를 설치하는 것을 특징으로 하는 자동 초점조절 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광원이 레이저 다이오드이고, 수광소자가 2분할 소자인 것을 특징으로 하는 자동 초점조절 장치
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제1항에 있어서, 자동 초점조절 장치 내에 추가로 렌즈를 설치하여 자동 초점 광학계의 배율에 비례하여 초점오차 신호의 민감도를 증가시킨 것을 특징으로 하는 자동 초점조절 장치
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제1항에 있어서, 상기 신호처리 수단이 수광소자로부터 나오는 전기신호의 합신호를 구하기 위한 합신호 계산 회로; 및 상기 수광소자로부터 나오는 전기신호의 차신호를 구하기 위한 차신호 계산 회로로 구성되는 것을 특징으로 하는 자동 초점조절 장치
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제5항에 있어서, 상기 합신호 계산 회로가 합신호의 편차량을 추정하여 보정해 준 추정 합신호를 구하기 위한 가변 가산기를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 초점조절 장치
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광원에서 나오는 빛을 대물 렌즈의 광축에 경사지게 입사시켜서 물체 위에 광점을 형성시키고, 형성된 광점을 다시 수광소자 위에 상점으로 맺히게 함으로써, 물체의 변위에 따라 수광소자에서 나타나는 상점의 위치변화에 따라 발생하는 전기신호로부터 물체의 초점 위치를 결정하여 물체를 초점 위치로 이동시키는 것을 포함하는 현미경의 자동 초점조절 방법
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제7항에 있어서, 상기 물체의 초점 위치의 결정이 수광소자에 나타나는 상점의 위치변화에 따른 전기신호를 단위화(normalization)하여 얻어진 초점 오차 신호를 이용함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 자동 초점조절 방법
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