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검사 대상에 대해 미분간섭 현미경 검사 또는 광학 현미경 검사를 수행하는 현미경 유닛;상기 현미경 유닛에서 제공된 미분간섭 현미경 검사 결과와 광학 현미경 검사 결과를 비교분석하여 검사 대상에 대한 불순물 종류를 확인하는 제어 유닛 및;상기 현미경 유닛의 편광기와 프리즘을 이동시키는 이동유닛을 포함하되, 상기 제어 유닛은 상기 현미경 유닛의 미분간섭 현미경 검사 결과 불순물이 확인되면, 상기 현미경 유닛의 편광기와 프리즘을 광경로 상에서 벗어나게 이동시켜 상기 현미경 유닛이 광학 현미경 검사를 수행하도록 하며,상기 제어 유닛은, 상기 현미경 유닛의 검사 결과를 사용자에게 보여주는 디스플레이부, 사용자의 조작을 입력 받는 조작부, 상기 현미경 유닛에서 제공된 미분간섭 현미경 검사 결과와 광학 현미경 검사 결과를 비교분석하여 검사 대상에 대한 불순물 종류를 확인하는 분석부 및, 상기 현미경 유닛을 이용하여 검사 대상에 대해 미분간섭 현미경 검사 결과를 획득하도록 하고, 검사결과 불순물이 확인되면, 상기 이동유닛을 제어하여 상기 편광기와 프리즘을 광경로 상에서 벗어나게 이동시킴과 더불어, 상기 현미경 유닛을 이용하여 검사 대상 동일 지점에 대해 광학현미경 검사결과를 획득하도록 제어하는 제어부를 포함함으로써, 미분 간섭 현미경 이미지와 일반 광학 현미경 이미지를 이용하여 OLED 내부 및 표면상의 투명 불순물을 검사하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 현미경 유닛은, 광원, 상기 광원에서 나온 편광되지 않은 빛을 특정 방향으로 편광시키는 편광기, 상기 편광기를 통해 나오는 빛을 검사 대상쪽으로 반사하거나 또는 검사 대상으로부터 나온 빛을 분석기 쪽으로 향하도록 하는 빔스플리터, 상기 빔스플리터로부터 나온 빛에 대해 수직 편광 및 수평 편광의 성분으로 나누거나 또는 검사 대상으로부터 나온 빛을 재결합하는 프리즘, 상기 프리즘을 통과한 빛을 집광하여 검사 대상에 조사하는 렌즈, 상기 빔스플리터로부터 나온 빛 중 분석에 필요한 빛만 통과시키는 분석기 및, 상기 분석기로부터 나온 빛을 탐지하여 검사 결과를 상기 제어 유닛으로 전송하는 탐지기를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 이동유닛은 상기 제어부의 제어를 받아 상기 편광기와 프리즘을 광경로 상에서 벗어나게 이동시키거나 또는 다시 원위치로 복귀하게 이동시키는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치
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현미경 유닛, 제어 유닛 및, 이동 유닛을 포함하는 표면 검사 장치에서 수행되는 표면 검사 방법에 있어서, 상기 제어유닛이 상기 현미경 유닛을 이용하여 검사 대상에 대해 미분간섭 현미경 검사 결과를 획득하는 단계;상기 검사결과 검사 대상에서 불순물이 확인되면, 상기 이동유닛을 이용하여 상기 현미경 유닛의 편광기와 프리즘을 광경로 상에서 벗어나게 이동시키는 단계;상기 제어유닛이 상기 현미경 유닛을 이용하여 검사 대상 동일 지점에 대해 광학현미경 검사결과를 획득하는 단계 및;상기 제어유닛이 미분간섭 현미경 기반 검사결과와 광학현미경 기반 검사결과를 비교분석하여 불순물의 종류를 확인하되, 미분 간섭 현미경 이미지와 일반 광학 현미경 이미지를 비교분석하여 OLED 내부 및 표면상의 투명 불순물을 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 방법
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제5항에 있어서, 상기 현미경 유닛은 광원, 편광기, 빔스플리터, 프리즘, 렌즈, 분석기 및 탐지기를 포함하고, 상기 현미경 유닛을 이용하여 검사 대상에 대해 미분간섭 현미경 검사 결과를 획득하는 것은, 상기 광원에서 나온 빛이 상기 편광기와 빔스플리터를 거쳐 프리즘으로 입사하는 단계;상기 프리즘에 입사된 빛은 수직 및 수평 편광되어 상기 렌즈를 거쳐 검사 대상에 입사되는 단계;상기 검사 대상에서 산란된 빛은 상기 렌즈를 통해 상기 프리즘에서 수직 및 수평 편광된 빛이 재결합되는 단계;상기 프리즘에서 나온 빛이 상기 빔스플리터를 통해 상기 분석기에서 분석에 필요한 빛만이 통과되는 단계 및;상기 분석기로부터 나온 빛을 상기 탐지기가 탐지하여 검사 결과를 상기 제어 유닛으로 전송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 방법
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제5항에 있어서, 상기 제어유닛이 상기 현미경 유닛을 이용하여 검사 대상 동일 지점에 대해 광학현미경 검사결과를 획득하는 것은, 광원, 빔스플리터, 렌즈, 분석기 및 탐지기를 이용하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 방법
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제5항에 있어서, 상기 제어유닛의 분석부는 미분간섭 현미경 기반 검사결과와 광학현미경 기반 검사결과를 비교하여 불순물의 종류가 수분에 의한 것인지 혹은 먼지에 의한 것인지 확인하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 방법
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