| 1 |
1
잉크젯 방법에 의하여 판형의 기판 상에 감광성 수지를 토출하는 감광성 수지 토출 단계 및 자외선 조사부에 의해 상기 기판 상에 있는 상기 감광성 수지를 경화하는 감광성 수지 경화 단계를 포함하는 마이크로렌즈 어레이의 제조 방법에 의해 제조된 마이크로렌즈 어레이를 포함하는 기판 상에 씨드층을 증착하는 씨드층 증착 단계;상기 씨드층을 이용한 전기도금을 수행하여 상기 마이크로렌즈 어레이의 역형상을 가지는 금속몰드를 제작하는 전기도금 수행 단계; 및상기 금속몰드에서 상기 마이크로렌즈 어레이를 구비하는 상기 기판을 이형하는 이형 단계를 포함하며,상기 기판은 폴리카보네이트, 폴리에스터, 폴리메타아크릴레이트 중의 어느 하나로 형성된 폴리머 필름이고,상기 폴리머 필름은 필름 공급 롤러와 권취 롤러에 의한 롤투롤 공정을 통해 연속으로 공급되며,상기 필름 공급 롤러와 상기 권취 롤러 사이에 다수의 진공척을 표면에 구비한 기판 롤러가 포함되는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 복제용 금속몰드의 제조 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 씨드층 증착 단계는 상기 씨드층이 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 백금(Pt), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 아연(Zn), 철(Fe), 코발트(Co), 텅스텐(W)으로 구성되는 군으로부터 선택된 적어도 하나의 성분 또는 이들의 조합을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 복제용 금속몰드의 제조 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 전기도금 수행 단계는 상기 금속몰드가 니켈(Ni)로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 복제용 금속몰드의 제조 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 의하여 제조된 금속몰드를 세척하는 금속몰드 세척 단계;상기 금속몰드에 감광성 수지를 도포하는 감광성 수지 도포 단계;상기 감광성 수지의 위에 지지층을 정렬하는 지지층 정렬 단계;롤러를 이용하여 상기 감광성 수지가 상기 금속몰드에 완전히 충진되도록 가압하는 가압 단계;상기 감광성 수지에 자외선을 조사하여 충진된 상기 감광성 수지를 경화시키는 감광성 수지 경화 단계; 및경화된 상기 감광성 수지를 상기 금속몰드에서 이형시키는 이형 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 복제 마이크로렌즈 어레이 제조 방법
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 지지층 정렬 단계는 상기 지지층이 폴리카보네이트(PC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 중에서 선택된 적어도 어느 하나 또는 이들의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 복제 마이크로렌즈 어레이 제조 방법
|
| 6 |
6
제 4 항에 있어서,상기 금속몰드 세척 단계 및 상기 감광성 수지 도포 단계 사이에는 플라즈마 처리를 하는 단계가 더 이루어지는 것을 특징으로 하는 복제 마이크로렌즈 어레이 제조 방법
|
