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레이저를 이용한 마이크로렌즈 어레이의 제작 방법으로서,재료가 되는 기판에 상기 레이저로 상기 기판의 물리적 변화가 나타나지 않는 세기의 강도로 레이저를 인가하는 단계; 및상기 레이저가 인가된 기판에 대한 식각 처리를 수행하는 단계;를 포함하는 레이저를 이용한 마이크로렌즈 어레이의 제작 방법
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제1항에 있어서, 상기 레이저를 인가하는 단계는 상기 기판의 하부면부터 상부면으로 순차적으로 레이저를 인가하는 레이저를 이용한 마이크로렌즈 어레이의 제작 방법
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제1항에 있어서,상기 레이저를 인가하는 단계는, 원하는 마이크로렌즈 어레이의 형상으로 형성된 3차원 모델링을 기초로 하여 레이저를 인가하는 레이저를 이용한 마이크로렌즈 어레이의 제작 방법
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제3항에 있어서, 상기 3차원 모델링을 통해 형성된 형상에 대해 상기 레이저가 인가되는 방향으로 복수의 레이어 층이 정의되고, 상기 레이저는 상기 복수의 레이어 층 별로 인가되는 마이크로렌즈 어레이의 제작 방법
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제4항에 있어서, 상기 정의한 복수의 레이어 층 별로 초점 거리가 조절되며 상기 레이저가 인가되고, 상기 레이저는 상기 각각의 레이어 층에서 상기 모델링을 통해 형성된 형상을 제외한 나머지 부분에 인가되는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로렌즈 어레이의 제작 방법
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제5항에 있어서, 상기 복수의 레이어 층 별로 레이저를 인가할 때,상기 복수의 레이어 층 중 하부에 위치한 레이어 층부터 순차적으로 상기 레이저를 인가하는 레이저를 이용한 마이크로렌즈 어레이 제작 방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 레이저는 펨토초 레이저 혹은 피코초 레이저인 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로렌즈 어레이 제작 방법
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제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 모델링으로 구현되는 마이크로렌즈 어레이의 형상은 반구형, 원뿔형, 피라미드형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로렌즈 어레이 제작 방법
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제7항에 있어서, 상기 식각 처리 단계 이후의 상기 기판에 대하여 CO2 레이저를 이용하여 상기 기판의 표면을 폴리싱 하는 단계;를 더 포함하는 레이저를 이용한 마이크로렌즈 어레이 제작 방법
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재료 기판 상에 인가되는 레이저; 상기 레이저를 구동하는 레이저 구동부;상기 재료 기판에 인가되는 상기 레이저의 강도와 초점 거리를 조절하는 제어 모듈;을 포함하고, 상기 제어 모듈은 상기 재료 기판의 하부면부터 상부면으로 순차적으로 레이저를 인가하는 마이크로렌즈 어레이 제작 시스템
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제10항에 있어서,상기 제어 모듈은, 형성하고자 하는 마이크로렌즈 어레이의 형상을 3차원으로 모델링하고, 상기 모델링한 형상에 대해 상기 레이저가 인가되는 방향에 수직한 방향으로 복수의 레이어 층을 정의하는 마이크로렌즈 어레이 제작 시스템
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제11항에 있어서, 상기 제어 모듈은 상기 복수의 레이어 층을 따라 레이저가 인가되도록 상기 레이저 구동부를 제어하고, 상기 복수의 레이어 층 별로 초점 거리 조절을 수행하여 레이저를 인가하는 마이크로렌즈 어레이 제작 시스템
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제12항에 있어서, 상기 복수의 레이어 층 별로 레이저를 방출할 때,상기 제어 모듈은 상기 복수의 레이어 층 중 하부에 위치한 레이어 층부터 순차적으로 상기 레이저를 인가하도록 제어하는 마이크로렌즈 어레이 제작 시스템
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제11항 내지 제13항에 있어서, 상기 제어 모듈은,상기 각각의 레이어 층에서 상기 모델링을 통해 형성된 형상을 제외한 나머지 부분에 상기 레이저가 인가되도록 제어하는 마이크로렌즈 어레이 제작 시스템
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제14항에 있어서, 상기 레이저는 펨토초 레이저 혹은 피코초 레이저인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 제작 시스템
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제15항에 있어서, 상기 레이저는, 상기 재료 기판의 물리적인 변화가 나타나지 않는 세기로 레이저를 인가하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 제작 시스템
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