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가스가 공급될 수 있도록 제공되는 챔버;상기 챔버의 내부를 향하여 광을 조사하도록 제공되는 광원;상기 광원으로부터 조사된 광을 반사하도록 상기 챔버 내에 설치되는 반사부;상기 반사부를 회전시키는 구동부; 및상기 챔버 내에 둘레를 따라 소정의 간격을 갖도록 설치되고, 상기 반사부에서 반사되어 수신된 광으로부터 상기 가스를 검출하는 복수 개의 검출기를 포함하는 광학식 복합가스측정센서
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제1 항에 있어서,각 검출기는, 상기 수신된 광으로부터 소정의 파장 대역의 광신호를 추출하는 필터를 포함하는 광학식 복합가스측정센서
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제2 항에 있어서,상기 각 검출기는, 상기 광신호의 세기에 기초하여, 상기 파장 대역의 광을 흡수하는 가스의 농도를 검출하는 광학식 복합가스측정센서
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제2 항에 있어서,서로 다른 검출기에 대응하는 필터는, 서로 다른 파장 대역의 광신호를 추출하는 광학식 복합가스측정센서
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제4 항에 있어서,서로 다른 검출기는 서로 다른 파장 대역의 광을 흡수하는 서로 다른 가스를 검출하는 광학식 복합가스측정센서
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제4 항에 있어서,상기 광원은 상기 서로 다른 파장 대역을 모두 포함하는 광을 조사하는 광학식 복합가스측정센서
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7
제1 항에 있어서,상기 구동부는, 상기 반사부에서 반사된 광이 상기 복수 개의 검출기로 순차적으로 입사되도록, 상기 반사부를 회전 구동시키는 광학식 복합가스측정센서
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8
제1 항에 있어서,상기 광원은 소정의 펄스 주기를 갖는 광을 조사하는 광학식 복합가스측정센서
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제8 항에 있어서,상기 반사부의 회전 구동은 상기 펄스 주기에 동기화되는 광학식 복합가스측정센서
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10
제8 항에 있어서,각 검출기는 상기 펄스 주기에 대응하는 샘플링 주기로 상기 가스를 검출하는 광학식 복합가스측정센서
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11
제1 항에 있어서,상기 광은 적외선 광을 포함하며,상기 복합가스측정센서는 비분산적외선(NDIR) 방식으로 가스를 검출하는 광학식 복합가스측정센서
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12
제1 항에 있어서,상기 반사부는, 반사 미러를 구비한 반사판을 포함하고,상기 구동부는, 상기 반사판을 회전시키는 구동 모터를 포함하는 광학식 복합가스측정센서
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제1 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수 개의 검출기는, 상기 챔버를 이루는 원형상의 내벽에 설치되고,상기 반사부는, 상기 챔버의 중앙 측에 설치되는 광학식 복합가스측정센서
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제1 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수 개의 검출기는, 상기 챔버를 이루는 원형상의 내벽에 설치되고,상기 반사부는, 상기 챔버 내에서 상기 챔버의 중앙을 기준으로 상기 광원의 반대 측 영역에 설치되는 광학식 복합가스측정센서
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15
제14 항에 있어서,상기 복수 개의 검출기는, 상기 챔버의 내벽 중 상기 광원과의 거리보다 상기 반사부와의 거리가 먼 영역에 설치되는 광학식 복합가스측정센서
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가스가 공급될 수 있도록 제공되는 챔버;상기 챔버의 내부를 향하여 광을 조사하도록 제공되는 광원;상기 챔버 내에 둘레를 따라 소정의 간격을 갖도록 설치되고, 수신되는 광으로부터 상기 가스를 검출하는 복수 개의 검출기; 및상기 챔버 내에 설치되고, 상기 광원으로부터 조사된 광이 상기 복수 개의 검출기에 순차적으로 수신되도록 상기 광의 경로를 변환시키는 경로 변환부를 포함하는 광학식 복합가스측정센서
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17
가스가 공급될 수 있도록 제공되는 챔버;상기 챔버 내에 둘레를 따라 소정의 간격을 갖도록 설치되고, 수신되는 광으로부터 상기 가스를 검출하는 복수 개의 검출기; 및상기 챔버 내에 설치되고, 상기 챔버의 내부를 향하여 조사된 광이 상기 복수 개의 검출기에 순차적으로 수신되도록, 상기 광의 경로를 변환시키는 경로 변환부를 포함하는 광학식 복합가스측정센서
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제16 항 또는 제17 항에 있어서,상기 경로 변환부는,상기 챔버의 내부를 향하여 조사된 광을 반사하도록 상기 챔버 내에 설치되는 반사부; 및상기 반사부를 회전시키는 구동부를 포함하는 광학식 복합가스측정센서
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제16 항 또는 제17 항에 기재된 광학식 복합가스측정센서에 의하여 수행되는 광학식 복합가스측정방법으로서,상기 챔버의 내부를 향하여 광을 조사하는 단계;상기 경로 변환부에 의하여, 상기 챔버의 내부를 향하여 조사된 광이 상기 복수 개의 검출기에 순차적으로 수신되도록 상기 조사된 광의 경로를 변환시키는 단계; 및상기 복수 개의 검출기에 순차적으로 수신되는 광으로부터 복수 개의 서로 다른 가스의 농도를 검출하는 단계를 포함하는 광학식 복합가스측정방법
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20
제19 항에 있어서,상기 광의 경로를 변환시키는 단계는, 상기 광원으로부터 조사된 광을 반사하도록 상기 챔버 내에 설치되는 반사부를 회전시키는 것에 의하여, 상기 광의 경로를 변환시키는 단계를 포함하고,상기 서로 다른 가스의 농도를 검출하는 단계는, 각 검출기가 상기 수신되는 광으로부터 소정의 파장 대역의 광신호를 추출하고, 상기 광신호의 세기에 기초하여 상기 파장 대역의 광을 흡수하는 가스의 농도를 검출하는 단계를 포함하는 광학식 복합가스측정방법
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