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Pd-black 촉매금속 gate를 이용한 고성능 MISFET형 수소센서

  • 기술번호 : KST2015161806
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약 본 발명은 Pd-black 촉매금속 gate를 이용한 저 농도의 수소 가스를 검출할 수 있는 고성능의 수소가스 센서의 발명이다. 기존의 수소센서는 수소 선택적 투과성이 뛰어난 특성을 가진 Pd 금속을 촉매로 동작하는 MISFET형 감지소자가 있으나, 장시간 동작시 Pd가 일어나는 들뜸현상이 발생하고 감도가 낮아지며 실리콘 기반이므로 고온 동작이 어렵다. 여기에서 제시하는 센서는 기존의 Pd의 뛰어난 선택성을 이용하면서 감도의 증가를 위해 Pd-black을 gate에 형성한다. 형성 방법으로 Thermal evaporator로 저 진공에서 증착하여 porous 형태를 이루게 된다. porous화된 Pd막은 표면적의 증가로 가스와의 반응영역을 넓혀주고 많은 수소원자를 포획할 수 있어 센서의 감도를 높일 수 있다. 그리고 기존 Pd gate 수소센서 문제를 해결하기 위해 NiCr을 이용한 다층 gate이 구조로 이루어지며 MISFET형 센서의 고질적 문제인 드리프트를 제거하기 위해 기준 MISFET를 같이 형성한다. 발명한 수소센서는 장기간 사용할 수 있고 gate 촉매금속을 Pd-black으로 형성하여 가스 검출부위를 증가시켜 극미량의 수소가스에도 검출할 수 있다. 그리고 MEMS 방식에 적용되어, 고신뢰성, 저가격의 수소센서 개발에 일조할 것으로 예상된다.
Int. CL G01N 27/16 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) G01R 31/317 (2006.01.01) G01N 21/3504 (2014.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01)
출원번호/일자 1020040074784 (2004.09.15)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2006-0025096 (2006.03.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.09.15)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최시영 대한민국 대구광역시 동구
2 강기호 대한민국 부산광역시 부산진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2004-5149813-76
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.10.08 수리 (Accepted) 4-1-2004-0040329-10
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0250431-63
4 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2006.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0384067-53
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.06.19 수리 (Accepted) 4-1-2006-0014280-97
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0456023-77
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0540933-04
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.08.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0604272-12
9 의견서
Written Opinion		 2006.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0604266-37
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2006.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0766293-61
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
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번호 청구항
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공기 중의 수소검출을 위한 Pd-black 촉매금속 gate를 이유한 고성능 MISFET형 수소센서
2 1
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.