1 |
1
기판,상기 기판에 형성되어 있으며 서로 이격되어 있는 소스부 및 드레인부,상기 소스부 및 드레인부 사이에 형성되어 있는 채널부,상기 채널부와 이격되어 상방에 위치하고 있으며 외부 신호에 감응하여 변위가 발생하는 멤브레인,상기 멤브레인의 하부면에 상기 채널부와 이격되어 형성되어 있으며 전기장을 발생시키는 정전하 부재를 포함하는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
2 |
2
제1항에서,상기 채널부와 상기 정전하 부재는 중첩되어 위치하고 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
3 |
3
제2항에서,상기 소스부, 채널부, 드레인부 및 정전하 부재는 전계 효과 트랜지스터를 이루는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
4 |
4
제2항에서,상기 멤브레인의 양단부의 두께는 상기 멤브레인의 중앙부의 두께보다 두꺼운 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
5 |
5
제4항에서,상기 채널부와 상기 정전하 부재 사이에는 절연부가 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
6 |
6
제2항에서,상기 멤브레인의 상부면에는 차폐 부재가 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
7 |
7
제2항에서,상기 기판과 상기 멤브레인은 동일한 물질로 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
8 |
8
기판,상기 기판 위에 형성되어 있으며 전기장을 발생시키는 정전하 부재,상기 정전하 부재와 이격되어 상방에 위치하고 있으며 외부 신호에 감응하여 변위가 발생하는 멤브레인,상기 멤브레인에 형성되어 있으며 서로 이격되어 있는 소스부 및 드레인부,상기 소스부 및 드레인부 사이에 형성되어 있으며 상기 정전하 부재와 이격되어 있는 채널부를 포함하는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
9 |
9
제8항에서,상기 채널부와 상기 정전하 부재는 중첩되어 위치하고 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
10 |
10
제9항에서,상기 소스부, 채널부, 드레인부 및 정전하 부재는 전계 효과 트랜지스터를 이루는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
11 |
11
제9항에서,상기 멤브레인의 양단부의 두께는 상기 멤브레인의 중앙부의 두께보다 두꺼운 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
12 |
12
제11항에서,상기 채널부와 상기 정전하 부재 사이에는 절연부가 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
13 |
13
제9항에서,상기 멤브레인의 상부면에는 차폐 부재가 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
14 |
14
제9항에서,상기 기판과 상기 멤브레인은 동일한 물질로 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
15 |
15
제9항에서,상기 기판과 상기 정전하 부재 사이에는 절연막이 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
16 |
16
제15항에서,상기 절연막은 상기 기판과 상기 멤브레인의 양단부 사이까지 연장되어 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
17 |
17
기판,상기 기판에 형성되어 있으며 서로 이격되어 있는 소스부 및 드레인부,상기 소스부 및 드레인부 사이에 형성되어 있는 채널부,상기 채널부의 표면과 접촉하고 있는 압전 부재,상기 압전 부재와 이격되어 상방에 위치하고 있으며 외부 신호에 감응하여 변위가 발생하는 멤브레인,상기 압전 부재와 상기 멤브레인 사이에 형성되어 있으며 상기 멤브레인에 가해진 상기 외부 신호를 상기 압전 부재에 증폭시켜 전달하는 전달 부재를 포함하는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
18 |
18
제17항에서,상기 채널부와 상기 압전 부재는 중첩되어 위치하고 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
19 |
19
제17항에서,상기 소스부, 채널부, 드레인부 및 압전 부재는 전계 효과 트랜지스터를 이루는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
20 |
20
제18항에서,상기 멤브레인의 양단부의 두께는 상기 멤브레인의 중앙부의 두께보다 두꺼운 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
21 |
21
제20항에서,상기 전달 부재와 상기 기판 사이에는 절연부가 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
22 |
22
제2항에서,상기 멤브레인의 상부면에는 차폐 부재가 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|
23 |
23
제17항에서,상기 기판, 상기 멤브레인 및 상기 전달 부재는 동일한 물질로 형성되어 있는 전계 효과 트랜지스터형 센서
|