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VOC 혼합 가스에서 VOC를 흡착하고 상기 흡착된 VOC를 탈착시켜 청정 공기를 배출하는 흡착 회수부와,상기 흡착된 VOC가 상기 흡착 회수부에서 탈착되도록 전자파를 조사하는 전자파 조사부와,상기 흡착 회수부에서 탈착된 VOC를 냉각 응축시켜 액화된 VOC를 회수하는 냉각 응축부와,상기 흡착 회수부, 전자파 조사부 및 냉각 응축부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제1항에 있어서,상기 흡착 회수부에 상기 VOC 흡착을 위한 흡착제를 형성하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제2항에 있어서,상기 흡착제가 형성된 흡착층의 내부 온도를 감지하는 온도센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제1항에 있어서,상기 냉각 응축부는 스크류 형태의 적어도 하나 이상의 응축관을 구비하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제1항에 있어서,상기 흡착 회수부는 상기 VOC 혼합가스에 대해 VOC 흡착공정 및 탈착공정을 수행하는 적어도 하나 이상의 흡탈착 베드를 구비하고,상기 제어부는 복수의 흡탈착 베드가 상호 교차하여 흡착 베드 또는 탈착베드로 기능하게 제어하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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VOC 혼합가스에 대해 VOC 흡착공정 및 탈착공정을 수행하는 한쌍의 흡탈착 베드와, 상기 흡탈착 베드를 커버하여 상기 흡탈착 베드에 조사된 전자파가 외부로 누출되는 것을 차단하는 한쌍의 캐빗을 구비하는 흡착 회수부와;상기 흡착된 VOC가 상기 흡착 회수부에서 탈착되도록 전자파를 조사하는 전자파 조사부와;상기 흡착 회수부에서 탈착된 VOC를 냉각 응축시켜 액화된 VOC를 회수하는 냉각 응축부와;상기 흡착 회수부, 전자파 조사부 및 냉각 응축부를 제어하여, 상기 한쌍의 흡탈착 베드가 상호 교차하여 흡착베드 또는 탈착베드로 기능하게 하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제6항에 있어서,상기 흡탈착 베드의 일측과 연결되어 상기 VOC 혼합가스가 유입되는 혼합가스 유입부 상에 설치되어 유입되는 VOC 혼합가스 유로의 개폐를 조절하는 적어도 하나 이상의 제1의 3상 밸브와, 상기 흡탈착 베드의 타측에 연결되어 상기 흡착 및/또는 탈착 공정 후 출구가스를 배출하는 혼합가스 유출부 상에 설치되어 배출되는 출구가스 유로의 개폐를 조절하는 한 쌍의 제2의 3상 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제6항에 있어서,상기 전자파 조사부는, 마이크로파를 발생시키는 마그네트론과, 상기 한쌍의 캐빗의 일측면에 부착되어 발생된 마이크로파 전력을 배분하거나 추출하는 RF 커플러와, 상기 마그네트론에 전원을 인가하는 전원공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제6항에 있어서,상기 냉각 응축부는 스크류 형태의 적어도 하나 이상의 응축관을 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제6항에 있어서,상기 한쌍의 흡탈착 베드 및/또는 상기 냉각 응축부에 공기를 불어 넣는 에어펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제6항에 있어서,상기 흡탈착 베드의 배출구와 연결되어 출구가스의 농도를 연속적으로 측정하는 VOC 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제6항에 있어서,상기 흡탈착 베드에 상기 VOC 흡착을 위한 흡착제를 형성하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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제12항에 있어서,상기 흡착제가 형성된 흡착층의 내부 온도를 감지하는 온도센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치
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VOC 혼합가스에 대해 VOC 흡착공정 및 탈착공정을 수행하는 한쌍의 흡탈착 베드를 포함하는 VOC 흡착회수장치에서,제1 흡탈착 베드에서의 흡착공정, 탈착공정, 청정공기 배기공정, VOC 회수 공정을 각각 제1 흡착공정, 제1 탈착공정, 제1 청정공기 배기공정, 제1 VOC 회수공정이라 하고,제2 흡탈착 베드에서의 흡착공정, 탈착공정, 청정공기 배기공정, VOC 회수 공정을 각각 제2 흡착공정, 제2 탈착공정, 제2 청정공기 배기공정, 제2 VOC 회수공정이라 할때,상기 제1 흡착공정과 동시에 상기 제1 청정공기 배기공정을 행하는 제1단계와,상기 제1 탈착공정 및 상기 제1 VOC 회수공정을 행하고 동시에 상기 제2 흡착공정 및 상기 제2 청정공기 배기공정을 행하는 제2단계와,상기 제2 탈착공정 및 상기 제2 VOC 회수공정을 행하고 동시에 상기 제1 흡착 공정 및 상기 제1 청정공기 배기공정을 행하는 제3단계를 포함하고,상기 제2단계 및 제3단계가 한쌍의 조합으로 주기적으로 반복처리되는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수방법
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제14항에 있어서,각 단계마다 배출되는 출구가스의 농도를 측정하고, 출구가스의 VOC 함유 농도에 따라 전자파 조사 조건을 조절하는 피드백 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수방법
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제14항에 있어서,상기 한쌍의 흡탈착 베드의 공정제어를 1세트로 구성하고, 복수의 쌍을 갖는 흡탈착 베드에 대해 상기 1세트씩을 더해가는 조합 구성을 하고, 상기 세트 순서에 따라 순차적으로 제어하여 대용량의 VOC 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수방법
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