| 1 |
1
대상물과 접촉하는 접촉면;상기 접촉면에 서로 이격되도록 형성된 복수개의 수용홈;상기 수용홈에 의해 둘러싸이도록 위치하며 상기 접촉면과 동일한 높이를 가지도록 형성된 돌출부; 및상기 접촉면과 상기 돌출부의 사이에 위치하여 상기 접촉면과 상기 돌출부를 연결하는 연결부를 포함하고,상기 복수개의 수용홈들은 서로 분절된 상기 복수개의 수용홈의 집합체의 전체적인 형태가 원형 또는 다각형 형태의 고리모양을 가지도록 형성되고, 상기 연결부는 상기 복수개의 수용홈들의 사이에 위치하는 연마패드
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 접촉면과 상기 수용홈이 만나는 부분에 형성된 제1모서리를 포함하고,상기 제1모서리는 상기 접촉면에서 상기 수용홈의 바닥을 향해 경사지도록 형성된 것을 특징으로 하는 연마패드
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 접촉면과 상기 수용홈이 만나는 부분에 형성된 제1모서리를 포함하고,상기 제1모서리는 라운드지도록 형성된 것을 특징으로 하는 연마패드
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 돌출부와 상기 수용홈이 만나는 부분에 형성된 제2모서리를 포함하고,상기 제2모서리는 상기 돌출부의 단부에서 상기 수용홈의 바닥을 향해 경사지도록 형성된 것을 특징으로 하는 연마패드
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 돌출부와 상기 수용홈이 만나는 부분에 형성된 제2모서리를 포함하고,상기 제2모서리는 라운드지도록 형성된 것을 특징으로 하는 연마패드
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 수용홈과 연결되도록 상기 접촉면이 파여 형성된 배출홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 연마패드
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 수용홈의 깊이는 상기 배출홈의 깊이보다 깊게 형성되는 것을 특징으로 하는 연마패드
|
| 9 |
9
대상물과 접촉하는 접촉면;상기 접촉면에 형성된 복수개의 메인 수용부; 및상기 접촉면에 형성되며, 상기 메인 수용부보다 작은 크기를 가지도록 형성된 복수개의 서브 수용부를 포함하고,상기 메인 수용부는,상기 접촉면에 서로 이격되도록 형성된 복수개의 메인 수용홈;상기 메인 수용홈에 의해 둘러싸이도록 위치하며 상기 접촉면과 동일한 높이를 가지도록 형성되는 메인 돌출부; 및상기 접촉면과 상기 돌출부의 사이에 위치하여 상기 접촉면과 상기 돌출부를 연결하는 연결부를 포함하고,상기 복수개의 메인 수용홈들은 서로 분절된 상기 복수개의 메인 수용홈의 집합체의 전체적인 형태가 원형 또는 다각형 형태의 고리모양을 가지도록 형성되고, 상기 연결부는 상기 복수개의 메인 수용홈들 사이에 위치하는 연마패드
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 서브 수용부는,상기 접촉면에 분절되지 않고 연속적으로 형성된 원형 또는 다각형 형태의 고리 모양을 가지도록 형성된 서브 수용홈; 및상기 서브 수용홈에 의해 둘러싸이도록 위치하며 상기 접촉면과 동일한 높이를 가지도록 형성되는 서브 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마패드
|
| 11 |
11
제9항에 있어서, 상기 서브 수용부는,상기 접촉면에 서로 이격되도록 형성된 복수개의 서브 수용홈;상기 서브 수용홈에 의해 둘러싸이도록 위치하며 상기 접촉면과 동일한 높이를 가지도록 형성되는 서브 돌출부; 및 상기 접촉면과 상기 서브 돌출부의 사이에 위치하여 상기 접촉면과 상기 서브 돌출부를 연결하는 서브 연결부를 포함하고,상기 복수개의 서브 수용홈들은 서로 분절된 상기 복수개의 서브 수용홈의 집합체의 전체적인 형태가 원형 또는 다각형 형태의 고리모양을 가지도록 형성되고, 상기 서브 연결부는 상기 복수개의 서브 수용홈들 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 연마패드
|
| 12 |
12
제9항에 있어서,상기 서브 수용부는 서로 다른 두 메인 수용부의 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 연마패드
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
대상물을 고정 및 지지하기 위한 고정기구와, 회전축을 중심으로 회전하면서 상기 고정기구에 지지된 대상물을 연마하도록 구성된 연마패드를 포함하고,상기 연마패드는,대상물과 접촉하는 접촉면;상기 접촉면에 서로 이격되도록 형성된 복수개의 수용홈;상기 수용홈에 의해 둘러싸이도록 위치하며 상기 접촉면과 동일한 높이를 가지도록 형성되는 돌출부; 및상기 접촉면과 상기 돌출부의 사이에 위치하여 상기 접촉면과 상기 돌출부를 연결하는 연결부를 포함하고,상기 복수개의 수용홈들은 서로 분절된 상기 복수개의 수용홈들의 집합체의 전체적인 형태가 원형 또는 다각형 형태의 고리모양을 가지도록 형성되고, 상기 연결부는 상기 복수개의 수용홈들의 사이에 위치하는 연마장치
|
| 15 |
15
제14항에 있어서, 상기 연마패드는,상기 접촉면과 상기 수용홈이 만나는 부분에 형성된 제1모서리와, 상기 돌출부와 상기 수용홈이 만나는 부분에 형성된 제2모서리를 포함하고,상기 제1모서리는 상기 접촉면에서 상기 수용홈의 바닥을 향해 경사지도록 형성되고, 상기 제2모서리는 상기 돌출부의 단부에서 상기 수용홈의 바닥을 향해 경사지도록 형성된 것을 특징으로 하는 연마장치
|
| 16 |
16
제14항에 있어서, 상기 연마패드는,상기 접촉면과 상기 수용홈이 만나는 부분에 형성된 제1모서리와, 상기 돌출부와 상기 수용홈이 만나는 부분에 형성된 제2모서리를 포함하고,상기 제1모서리와 상기 제2모서리는 라운드지도록 형성된 것을 특징으로 하는 연마장치
|
| 17 |
17
제15항에 있어서, 상기 연마패드는,상기 수용홈과 연결되도록 상기 접촉면이 파여 형성된 배출홈을 포함하고,상기 배출홈의 깊이는 상기 수용홈의 깊이보다 얕게 형성되는 것을 특징으로 하는 연마장치
|
| 18 |
18
대상물을 고정 및 지지하기 위한 고정기구와, 회전축을 중심으로 회전하면서 상기 고정기구에 지지된 대상물을 연마하도록 구성된 연마패드를 포함하고,상기 연마패드는 대상물과 접촉하는 접촉면과, 상기 접촉면에 형성된 복수개의 메인 수용부 및 상기 접촉면에 형성되며 상기 메인 수용부보다 작은 크기를 가지도록 형성된 복수개의 서브 수용부를 포함하고,상기 메인 수용부는,상기 접촉면에 서로 이격되도록 형성된 복수개의 메인 수용홈;상기 메인 수용홈에 의해 둘러싸이도록 위치하며 상기 접촉면과 동일한 높이를 가지도록 형성되는 메인 돌출부; 및상기 접촉면과 상기 메인 돌출부의 사이에 위치하여 상기 접촉면과 상기 메인 돌출부를 연결하는 메인 연결부를 포함하고,상기 복수개의 메인 수용홈들은 서로 분절된 상기 복수개의 메인 수용홈들의 집합체의 전체적인 형태가 원형 또는 다각형 형태의 고리모양을 가지도록 형성되고, 상기 메인 연결부는 상기 복수개의 메인 수용홈들의 사이에 위치하는 연마장치
|
| 19 |
19
제18항에 있어서, 상기 서브 수용부는,상기 접촉면에 분절되지 않고 연속적으로 형성된 원형 또는 다각형 형태의 고리 모양을 가지도록 형성된 서브 수용홈; 및 상기 서브 수용홈에 의해 둘러싸이도록 위치하며 상기 접촉면과 동일한 높이를 가지도록 형성되는 서브 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장치
|
| 20 |
20
제18항에 있어서, 상기 서브 수용부는,상기 접촉면에 서로 이격되도록 형성된 복수개의 서브 수용홈;상기 서브 수용홈에 의해 둘러싸이도록 위치하며 상기 접촉면과 동일한 높이를 가지도록 형성되는 서브 돌출부; 및상기 접촉면과 상기 서브 돌출부의 사이에 위치하여 상기 접촉면과 상기 서브 돌출부를 연결하는 서브 연결부를 포함하고,상기 복수개의 서브 수용홈들은 서로 분절된 복수개의 상기 서브 수용홈들의 집합체의 전체적인 형태가 원형 또는 다각형 형태의 고리모양을 가지도록 형성되고, 상기 서브 연결부는 상기 복수개의 서브 수용홈들 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 연마장치
|
