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블랭크 마스크용 기판의 연마장치

  • 기술번호 : KST2015162612
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 블랭크 마스크용 기판 연마 장치에 관한 것이다. 상기 연마 장치는, 블랭크 마스크용 기판을 고정시키는 캐리어 유닛, 연마재를 공급하는 연마재 공급 유닛, 상기 캐리어 유닛에 장착된 블랭크 마스크용 기판의 상부면을 연마하는 상부 정반 유닛, 상기 상부 정반 유닛에 가변적인 회전력을 전달하는 상부 정반 구동 유닛, 캐리어 유닛에 장착된 블랭크 마스크용 기판의 하부면을 연마하는 하부 정반 유닛, 상기 하부 정반 유닛으로 가변적인 회전력을 전달하는 하부 정반 구동 유닛, 회전력을 이용하여 캐리어 유닛으로 요동 운동을 제공하는 직선 운동 왕복 유닛, 상기 캐리어 유닛 및 상기 직선 운동 왕복 유닛으로 회전력을 전달하는 오실레이션 유닛을 구비한다. 상기 캐리어 유닛은 레버-크랭크 기구(Lever-crank mechanism)로 이루어지며, 상기 캐리어 유닛의 상기 레버-크랭크 기구의 한 쪽 링크에서는 360도 회전 운동을 함과 동시에 다른 쪽 링크에서는 오실레이션 유닛에 의하여 랜덤한 각도로 요동 운동을 한다. 블랭크 마스크, 쿼츠 기판, 연마, 요동 운동
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 7/26(2013.01) B24B 7/26(2013.01)
출원번호/일자 1020070066373 (2007.07.03)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0832346-0000 (2008.05.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080526) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.03)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성하 대한민국 대구 달서구
2 김철 대한민국 서울 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0484693-72
2 보정요구서
Request for Amendment		 2007.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2007-0099485-44
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2007.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0580125-91
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.04.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2008-0028521-53
6 등록결정서
Decision to grant		 2008.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0265436-11
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
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번호 청구항
1 1
연마 가공 대상인 블랭크 마스크용 기판을 고정시키는 캐리어 유닛;연마재를 공급하는 연마재 공급 유닛;상기 연마재 공급 유닛으로부터 연마재를 제공받아 캐리어 유닛으로 제공하며, 상기 캐리어 유닛에 장착된 블랭크 마스크용 기판의 상부면을 연마하는 상부 정반 유닛;상기 상부 정반 유닛에 가변적인 회전력을 전달하는 상부 정반 구동 유닛;상기 연마재 공급 유닛으로부터 연마재를 제공받아 캐리어 유닛으로 제공하며, 상기 캐리어 유닛에 장착된 블랭크 마스크용 기판의 하부면을 연마하는 하부 정반 유닛;상기 하부 정반 유닛으로 가변적인 회전력을 전달하는 하부 정반 구동 유닛;외부로부터 전달된 회전력을 이용하여 캐리어 유닛으로 요동 운동을 제공하는 직선 운동 왕복 유닛;상기 상부 정반 유닛과 상기 하부 정반 유닛의 사이에 장착되며, 상기 캐리어 유닛 및 상기 직선 운동 왕복 유닛으로 회전력을 전달하는 오실레이션 유닛;을 구비하여, 상기 캐리어 유닛을 회전 운동 및 요동 운동을 함께 시키면서 캐리어 유닛에 고정된 블랭크 마스크용 기판의 양면을 연마하는 블랭크 마스크용 기판 연마 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 블랭크 마스크용 기판 연마 장치는 상기 상부 정반 유닛과 상부 정반 구동유닛을 하부 정반의 중심에서 이격시키기 위한 연결축인 상부 정반 링크 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크용 기판 연마 장치
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제1항에 있어서, 상기 블랭크 마스크용 기판 연마 장치는 상부 정반 유닛이 하부 정반의 중심에 정위치되었을 때 상부 정반이 흔들리지 않도록 고정하는 상부 정반 고정 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크용 기판 연마 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 블랭크 마스크용 기판 연마 장치는 상기 상부 정반 유닛과 상기 상부 정반 구동 유닛을 하부 정반의 중심에서 이격시키는 상부 정반 터닝 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크용 기판 연마 장치
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제1항에 있어서, 상기 캐리어 유닛은 레버-크랭크 기구(Lever-crank mechanism)로 이루어지며, 상기 캐리어 유닛의 상기 레버-크랭크 기구의 한 쪽 링크에서는 360도 회전 운동을 함과 동시에 다른 쪽 링크에서는 오실레이션 유닛에 의하여 랜덤한 각도로 요동 운동을 하는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크용 기판 연마 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.