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Ⅰ) 마이크로 기둥(pillar)이 서로 이격 배열되어있는 기판의 표면을 산소 플라즈마 처리하는 단계;Ⅱ) 상기 전처리된 기판과 커플링제를 용매에 혼합한 제1 용액을 접촉시키는 단계;Ⅲ) 상기 Ⅱ) 단계를 통해 제조된 기판의 표면에 금속 나노입자를 고정시키는 단계; 및Ⅳ) 상기 금속 나노입자가 고정된 기판에 상기 금속 나노입자를 성장시키는 제2 용액을 처리하여, 금속 나노와이어를 성장시키는 단계;를 통해서 제조된 삼차원 복합 구조체로서,상기 삼차원 복합 구조체는,기판;상기 기판 상에 서로 이격 배열된, 마이크로 기둥(pillar); 상기 마이크로 기둥의 측면부로부터 수직방향으로 성장 배열된, 금속 나노와이어; 및상기 마이크로 기둥의 상기 금속 나노와이어 사이에는 나노갭이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체
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제1항에 있어서,상기 마이크로 기둥(pillar)의 평균높이는 1 내지 5 ㎛인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체
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3
제1항에 있어서,상기 마이크로 기둥은 평균높이 20 내지 70% 지점을 기준으로 상기 마이크로 기둥의 측면 상단부와 측면 하단부로 구분되는 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체
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4
제3항에 있어서,상기 마이크로 기둥의 평균높이가 2
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제1항에 있어서,상기 마이크로 기둥(pillar) 사이의 이격거리는 0
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제1항에 있어서,상기 금속 나노와이어의 길이는 10 내지 600 ㎚인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체
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7
제1항에 있어서,상기 마이크로 기둥의 상단부는 상기 마이크로 기둥의 측면부 표면보다 매끄러운 표면인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체
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8
제1항에 있어서,상기 마이크로 기둥과 상기 금속 나노와이어 또는 상기 금속 나노와이어가 형성하는 네트워크 구조 사이의 각도는 80 내지 100 도(°)의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체
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Ⅰ) 마이크로 기둥(pillar)이 서로 이격 배열되어있는 기판의 표면을 산소 플라즈마 처리하는 단계;Ⅱ) 상기 전처리된 기판과 커플링제를 용매에 혼합한 제1 용액을 접촉시키는 단계;Ⅲ) 상기 Ⅱ) 단계를 통해 제조된 기판의 표면에 금속 나노입자를 고정시키는 단계; 및Ⅳ) 상기 금속 나노입자가 고정된 기판에 상기 금속 나노입자를 성장시키는 제2 용액을 처리하여, 금속 나노와이어를 성장시키는 단계;를 포함하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 마이크로 기둥(pillar)의 평균높이는 1 내지 5 ㎛인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 마이크로 기둥(pillar) 사이의 이격거리는 0
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제9항에 있어서,상기 금속 나노와이어의 길이는 10 내지 600 ㎚인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 마이크로 기둥의 상단부는 상기 마이크로 기둥의 측면부 표면보다 상대적으로 매끄러운 표면인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 커플링제는 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES), 4-아미노프로필트리메톡시실란 및 4-아미노부틸트리메톡시실란으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상의 아미노알킬실란인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 용매는 C1-6의 알코올, 물 및 이들의 혼합용매로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 커플링제와 용매의 혼합 부피비가 1 : 700-1300인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제9항에 있어서,제2 용액은 리간드, 환원제 및 금속 전구체를 포함하고, 상기 제2 용액에서 상기 리간드의 함량이 100 내지 300 μM인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제17항에 있어서,상기 리간드는 4-머캅토벤조산(4-mercaptobenzoic acid), 4-머캅토-2-메톡시-벤조산(4-mercapto-2-methoxy-benzoic acid) 및 3-머캅토프로피온산(3-mercaptopropionic acid)로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제17항에 있어서,상기 환원제는 L-아스코르브산, 알칼리금속 또는 알칼리토금속의 보로하이드라이드, 하이드라진, 구연산 또는 그 염 및 환원당으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나이상인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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20
제17항에 있어서,상기 금속 전구체는 AgNO3, AgCl, AgNO3, HAuClO4, HAuCl4, H2PtCl6 및 H2Pt(OH)6으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 Ⅳ) 단계의 제2 용액으로 담그는 시간은 60 내지 120 분동안 수행되는 것을 특징으로 하는 삼차원 복합 구조체의 제조방법
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제1항에 따른 삼차원 복합 구조체를 포함하는 표면강화 라만 분광기판
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제22항에 따른 표면강화 라만 분광기판을 포함하는 바이오센서
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제22항에 따른 표면강화 라만 분광기판을 포함하는 미세전극 어레이
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