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굴곡을 가지는 다면체 형상의 샘플 표면 검사를 위한 다초점 영상 획득 장치에 있어서,샘플 배치 위치를 기준으로 서로 다른 측면 방향으로 배치되어 수평에 근접한 저각도로 측면에서 샘플에 조명이 조사되는 복수의 제1 면 조명을 포함하는 제1 조명부;상기 복수의 제1 면 조명의 상측에 각각 배치된 복수의 제2 면 조명을 포함하는 제2 조명부;음파에 기초하여 밀도가 가변되는 렌즈를 포함하고, 상기 샘플 배치 위치의 상단 방향에서 샘플을 촬영하는 카메라; 및상기 제1 조명부 및 제2 조명부를 순차적으로 점멸하여 상기 샘플에 대한 조명 입사 각도를 변경하며, 상기 카메라를 제어하여 상기 샘플을 촬영하는 프로세서;를 포함하고,상기 제1 조명부 및 상기 제2 조명부는,기 설정된 면적에서 균일하게 발광하는 면 조명이며,상기 프로세서는,상기 렌즈의 밀도가 연속적으로 가변함에 따라 상기 렌즈의 굴절률이 연속적으로 가변되고 상기 굴절률이 연속적으로 가변함에 따라 상기 렌즈의 초점 거리가 연속적으로 가변되도록 상기 음파의 세기를 제어하며, 상기 연속적으로 가변하는 렌즈의 초점 거리에 기초하여 초점 거리가 상이한 복수의 영상을 획득하는, 다초점 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 프로세서는,상기 복수의 제1 면 조명 및 상기 복수의 제2 면 조명을 각각 기설정된 패턴에 따라 선택적으로 점멸하는 다초점 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 복수의 제1 면 조명은 상기 샘플 배치 위치를 기준으로 8각형 형태로 연속적으로 배치된 8개의 면 조명이고,상기 복수의 제2 면 조명은 상기 복수의 제1 면 조명 각각의 상측에 배치된 8개의 면 조명인 다초점 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 복수의 제1 면 조명은 상기 샘플 배치 위치를 기준으로 서로 다른 방향으로 이격되어 배치된 복수의 면 조명이고,상기 복수의 제2 면 조명은 상기 복수의 제1 면 조명 각각의 상측에 배치되며,상기 다초점 영상 획득 장치는,상기 복수의 제1 면 조명 및 상기 복수의 제2 면 조명을 상기 샘플 배치 위치를 기준으로 다른 방향을 조명할 수 있도록 일괄 회전시키는 회전부;를 더 포함하고,상기 프로세서는,기설정된 각도 단위로 상기 복수의 제1 면 조명 및 상기 복수의 제2 면 조명을 회전시키도록 상기 회전부를 제어하는 다초점 영상 획득 장치
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굴곡을 가지는 다면체 형상의 샘플 표면 검사 시스템에 있어서,샘플의 상측에서 상기 샘플을 촬영하여 다초점 영상을 획득하는 제1 검사 장치;상기 샘플의 측 방향에서 상기 샘플을 촬영하여 다초점 영상을 획득하는 제2 검사 장치; 및상기 제1 검사 장치 및 상기 제2 검사 장치 중 하나로 상기 샘플을 이송하는 이송 장치;를 포함하고,상기 제1 검사 장치는,샘플 배치 위치를 기준으로 서로 다른 측면 방향으로 배치되어 수평에 근접한 저각도로 측면에서 샘플에 조명이 조사되는 복수의 제1 면 조명을 포함하는 제1 조명부;상기 복수의 제1 면 조명의 상측에 각각 배치된 복수의 제2 면 조명을 포함하는 제2 조명부;음파에 기초하여 밀도가 가변되는 렌즈를 포함하고, 상기 샘플 배치 위치의 상단 방향에서 샘플을 촬영하는 제1 카메라; 및상기 제1 조명부 및 제2 조명부를 순차적으로 점멸하여 상기 샘플에 대한 조명 입사 각도를 변경하며, 상기 제1 카메라를 제어하여 상기 샘플을 촬영하는 제1 프로세서;를 포함하고,상기 제1 조명부 및 상기 제2 조명부는,기 설정된 면적에서 균일하게 발광하는 면 조명이며,상기 제1 프로세서는,상기 렌즈의 밀도가 연속적으로 가변함에 따라 상기 렌즈의 굴절률이 연속적으로 가변되고 상기 굴절률이 연속적으로 가변함에 따라 상기 렌즈의 초점 거리가 연속적으로 가변되도록 상기 음파의 세기를 제어하며, 상기 연속적으로 가변하는 렌즈의 초점 거리에 기초하여 초점 거리가 상이한 복수의 영상을 획득하는, 샘플 표면 검사 시스템
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제6항에 있어서,상기 복수의 제1 면 조명은 상기 샘플 배치 위치를 기준으로 8각형 형태로 연속적으로 배치된 8개의 면 조명이고,상기 복수의 제2 면 조명은 상기 복수의 제1 면 조명 각각의 상측에 배치된 8개의 면 조명인 샘플 표면 검사 시스템
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제6항에 있어서,상기 복수의 제1 면 조명은 상기 샘플 배치 위치를 기준으로 서로 다른 방향으로 이격되어 배치된 복수의 면 조명이고, 상기 복수의 제2 면 조명은 상기 복수의 제1 면 조명 각각의 상측에 배치되며, 상기 제1 검사 장치는, 상기 복수의 제1 면 조명 및 상기 복수의 제2 면 조명을 상기 샘플 배치 위치를 기준으로 다른 방향을 조명할 수 있도록 일괄 회전시키는 회전부;를 더 포함하고,상기 제1 프로세서는,기설정된 각도 단위로 상기 복수의 제1 면 조명 및 상기 복수의 제2 면 조명을 회전시키도록 상기 회전부를 제어하는 샘플 표면 검사 시스템
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