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공초점 현미경 시스템에 있어서,레이저 광원, 빔 분리기, 시료 스테이지 및 광 검출기를 포함하여 구성하되,상기 시료 스테이지는 상기 시료의 스캐닝을 위하여 XYZ 방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 미세 구동할 수 있는 PZT 스테이지 스캐너인 것을 특징으로 하는 스테이지 스캔 공초점 현미경 시스템
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제1항에 있어서,상기 광 검출기에서 검출된 아날로그 신호를 디지털 신호로 전환하는 프레임 그레버와,상기 디지털 신호를 분석하고 영상화하는 PC를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 스캔 공초점 현미경 시스템
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제1항에 있어서,PZT 스테이지 스캐너는 시료를 고정시키는 시료대에 하부에 연결되고, 전기적 신호를 통하여 상기 시료대를 XY 방향으로 피에조 구동소자(piezo actuator)에 의해 미세 구동하는 것을 특징으로 하는 스테이지 스캔 공초점 현미경 시스템
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제3항에 있어서,상기 스캔 영역을 설정하고, 상기 전기적 신호를 송출하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스캔 공초점 현미경 시스템
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공초점 현미경 스캔 방법에 있어서,상기 시료에 레이저 광을 주사하는 단계;상기 시료에 주사되는 레이저 광의 초점을 맞추어 고정시키는 단계;스캔영역을 설정하는 단계;상기 설정된 스캔영역에 따라 상기 시료를 고정하는 시료대를 피에조 구동소자(piezo actuator)에 의해 XY 방향으로 구동시켜 상기 시료를 스캔하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경의 스테이지 스캔 방법
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제5항에 있어서,상기 스캔되어 나타난 영상에 따라 다시 스캔 영역을 설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경의 스테이지 스캔 방법
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