| 1 |
1
본체 상에 배치된 제1 롤러에서 제2 롤러로 이동하는 연마 필름이 연마 대상물에 접하며 상기 연마 대상물에 대한 연마가 이루어지도록 하는 연마 장치로서, 상기 연마 필름과 상기 연마 대상물의 에지의 접촉이 유지되도록 상기 연마 필름의 배면에서 상기 연마 필름을 지지하고, 내측으로는 공간을 제공하며, 고무를 포함하고 회전 가능하게 배치되는 원통형의 접촉 롤러; 상기 접촉 롤러가 제공하는 상기 공간으로 자기 유변 유체를 공급 및 회수하는 유체 공급부;상기 접촉 롤러의 양측단에 배치되어, 상기 자기 유변 유체에 대하여 자기장을 인가하는 자기장 공급부를 포함하고,상기 연마 대상물의 에지에 대한 연마 작업 시, 상기 자기장의 인가 정도를 가변시켜 상기 자기 유변 유체의 점도를 변화시켜, 상기 접촉 롤러의 경도가 변화되도록 하여, 상기 연마 필름에 접하며 연마되는 상기 연마 대상물의 에지의 라운드 형상이 변화되도록 하는 연마 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 접촉 롤러는,회전축의 일단으로는 구동력을 제공하는 모터의 구동축이 연결되는 연마 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 유체 공급부에서 상기 접촉 롤러로 상기 자기 유변 유체를 공급 및 회수하는 유체 배관은 상기 접촉 롤러의 회전축의 타단으로 연결되는 연마 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 자기장 공급부는,상기 접촉 롤러의 양측단에 각각 배치되어 자기장을 발생시키는 전자석과,상기 전자석에서의 상기 자기장 발생 정도를 제어하는 제어부를 포함하는 연마 장치
|
| 5 |
5
제4항에 있어서, 상기 전자석은,상기 접촉 롤러의 직경에 대응하는 직경을 갖는 원형인 연마 장치
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 전자석의 중심은 상기 접촉 롤러의 중심축 상에 배치되는 연마 장치
|
