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내부에 진공홀이 형성된 픽업관; 및LED가 픽업될 픽업관의 일단부에 노출되는 진공홀을 덮으면서 위치하는 나노섬유층;을 포함하는 LED픽업헤드
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청구항 1에 있어서,진공홀의 너비는 픽업될 LED의 너비보다 큰 것을 특징으로 하는 LED픽업헤드
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청구항 1에 있어서,복수의 LED를 동시에 픽업하는 것을 특징으로 하는 LED픽업헤드
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청구항 3에 있어서,복수의 LED에 대응하도록 픽업관의 내부를 복수의 공간으로 분리하는 지지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LED픽업헤드
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청구항 4에 있어서,복수의 공간은 서로 독립하여 진공이 인가되는 것을 특징으로 하는 LED픽업헤드
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청구항 4에 있어서, 복수의 공간에 대응하도록 픽업관의 일단에 위치하는 LED피치조절부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LED픽업헤드
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청구항 6에 있어서, LED피치조절부는 실리콘 웨이퍼, 금속, 세라믹 및 플라스틱 중 어느 하나의 재질로 구현되는 것을 특징으로 하는 LED픽업헤드
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8
청구항 1에 있어서, 나노섬유층은 폴리머, 금속 및 세라믹 중 어느 하나의 재질로 구현되는 것을 특징으로 하는 LED픽업헤드
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내부에 진공홀이 형성된 픽업관을 형성하는 단계; 및LED가 픽업될 픽업관의 일단부에 노출되는 진공홀을 덮도록 나노섬유층을 형성하는 단계;를 포함하는 LED픽업헤드 제조방법
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청구항 9에 있어서, 나노섬유층을 형성하는 단계는, 픽업관의 일단부에 전기방사공정을 수행하여 나노섬유층을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 LED픽업헤드 제조방법
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내부에 진공홀이 형성된 픽업관 및 LED가 픽업될 픽업관의 일단부에 노출되는 진공홀을 덮으면서 위치하는 나노섬유층을 포함하는 LED픽업헤드부; 및 픽업관에 진공을 인가하는 진공부;를 포함하는 LED픽업장치
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내부에 진공홀이 형성된 픽업관 및 LED가 픽업될 픽업관의 일단부에 노출되는 진공홀을 덮으면서 위치하는 나노섬유층을 포함하는 LED픽업헤드부의 나노섬유층에 대응하도록 LED를 위치시키는 단계; 및 픽업관에 진공을 인가하는 단계;를 포함하는 LED픽업방법
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