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나노임프린팅용 가압장치 및 이를 이용한 원통기판 나노임프린팅방법

  • 기술번호 : KST2019022217
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 곡면이나 원통형상의 기판에 나노패턴을 임프린팅 방법으로 형성할 수 있어 간단하고 저비용의 공정수행이 가능한 나노임프린팅용 가압장치 및 이를 이용한 원통기판 나노임프린팅방법이 제안된다. 본 발명에 따른 나노임프린팅용 가압장치는 원통형상의 원통기판에 형성될 제1나노패턴의 형상에 대응하는 제2나노패턴을 포함하는 패턴부 및 패턴부의 적어도 일측면에 위치하는 제1연장부 및 일측면에 대향하는 타측면에 위치하는 제2연장부를 포함하고, 제1연장부 및 제2연장부는 패턴부가 원통기판을 둘러싸면 서로 맞닿아 원통기판 상에 제2나노패턴을 가압할 때 핸들기능을 수행하는 핸들부를 포함한다.
Int. CL H01L 31/0525 (2014.01.01) H01L 35/30 (2006.01.01) H01L 31/04 (2014.01.01) H01L 31/0236 (2006.01.01) G03F 9/00 (2006.01.01)
CPC H01L 31/0547(2013.01) H01L 31/0547(2013.01) H01L 31/0547(2013.01) H01L 31/0547(2013.01) H01L 31/0547(2013.01) H01L 31/0547(2013.01) H01L 31/0547(2013.01) H01L 31/0547(2013.01)
출원번호/일자 1020160058843 (2016.05.13)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0127934 (2017.11.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영석 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 박금환 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0458907-15
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
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번호 청구항
1 1
원통형상의 원통기판에 형성될 제1나노패턴의 형상에 대응하는 제2나노패턴을 포함하는 패턴부; 및 상기 패턴부의 적어도 일측면에 위치하는 제1연장부 및 상기 일측면에 대향하는 타측면에 위치하는 제2연장부를 포함하고, 상기 제1연장부 및 상기 제2연장부는 상기 패턴부가 상기 원통기판을 둘러싸면 서로 맞닿아 상기 원통기판 상에 상기 제2나노패턴을 가압할 때 핸들기능을 수행하는 핸들부;를 포함하는 나노임프린팅용 가압장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1연장부는 상기 패턴부의 외부로 연장되어 형성되고, 상기 제2연장부는 상기 제1연장부와 서로 상호 교차하도록 형성된 것을 특징으로 하는 나노임프린팅용 가압장치
3 3
청구항 2에 있어서,상기 제1연장부 및 상기 제2연장부는 각각 상기 패턴부의 외부로 연장되어 형성된 2이상의 연장요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노임프린팅용 가압장치
4 4
청구항 1에 있어서,철판 또는 고분자 필름으로 형성되는 나노임프린팅용 가압장치
5 5
원통형상의 원통기판, 및 상기 원통기판에 형성될 제1나노패턴의 형상에 대응하는 제2나노패턴을 포함하는 패턴부 및 상기 패턴부의 적어도 일측면에 위치하는 제1연장부 및 상기 일측면에 대향하는 타측면에 위치하는 제2연장부를 포함하는 핸들부를 포함하는 가압유닛 사이에 제1나노패턴부를 형성하기 위한 전구체층을 위치시키는 전구체층형성단계;상기 가압유닛의 패턴부를 상기 제1연장부 및 상기 제2연장부가 서로 맞닿도록 상기 원통기판을 둘러싸도록 한 후 상기 제1연장부 및 상기 제2연장부를 이용하여 가압하는 가압단계; 및상기 전구체층을 제1나노패턴부로 변환시키는 변환단계;를 포함하는 원통기판 나노임프린팅방법
6 6
청구항 5에 있어서,상기 변환단계는 열처리, UV 조사 또는 촉매처리 중 어느 하나의 방법을이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 원통기판 나노임프린팅방법
7 7
청구항 5에 있어서,상기 변환단계 후, 상기 가압유닛을 제거하는 제거단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원통기판 나노임프린팅방법
8 8
청구항 7에 있어서,상기 제거단계는 상기 제1연장부 및 상기 제2연장부를 이용하여 상기 가압유닛을 제거하는 단계인 것을 특징으로 하는 원통기판 나노임프린팅방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 전자부품연구원 민군겸용기술개발 광결정 구조 열방사체를 적용한 열광전 발전 기술 개발