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표면개질용 빔균질기

  • 기술번호 : KST2019038302
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요약 본 발명에 따른 표면개질용 빔균질기는, 레이저빔 조사유닛으로부터 조사되는 레이저빔을 복수의 빔렛으로 분할하며, 상기 레이저빔의 형상을 결정하는 복수의 렌즈렛을 포함하는 제1배열렌즈, 상기 제1배열렌즈에 의해 분할된 복수의 빔렛을 투과시키며, 상기 제1배열렌즈에 대응되는 복수의 렌즈렛을 포함하는 제2배열렌즈, 상기 제2배열렌즈를 투과한 복수의 빔렛을 대상의 표면에 집광시키는 집광렌즈를 포함하며, 상기 제1배열렌즈와 상기 제2배열렌즈 사이에 구비되어, 상기 빔렛의 초점 영역에서 플라즈마가 발생하는 것을 방지하는 플라즈마 발생 방지부 및 상기 집광렌즈와 상기 대상 사이에 구비되어, 상기 복수의 빔렛이 상기 대상에 조사되는 과정에서 발생되는 에너지에 의해 상기 집광렌즈가 손상되는 것을 방지하는 손상방지부 중 적어도 어느 하나를 포함한다.
Int. CL B23K 26/00 (2014.01.01) B23K 26/064 (2014.01.01) B23K 26/06 (2014.01.01) B23K 26/70 (2014.01.01) H01S 3/00 (2019.01.01)
CPC B23K 26/352(2013.01) B23K 26/352(2013.01) B23K 26/352(2013.01) B23K 26/352(2013.01) B23K 26/352(2013.01)
출원번호/일자 1020160012852 (2016.02.02)
출원인 한동대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1739839-0000 (2017.05.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170525) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.02)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한동대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유태준 대한민국 경상북도 포항시 북구
2 홍경희 대한민국 경북 포항시 북구
3 김태신 대한민국 경북 포항시 남구
4 황승진 대한민국 경상북도 포항시 북구
5 신용욱 대한민국 경상북도 포항시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임상엽 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
2 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)
3 권정기 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
4 이성원 대한민국 서울특별시 서초구 동광로**길 ***, *층(방배동, 스튜디오빌) ***호(아이피비랩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 한동대학교 경상북도 포항시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0111788-74
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0132661-11
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0169301-71
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0916385-38
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0099866-99
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0099852-50
8 등록결정서
Decision to grant
2017.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0332186-52
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0036828-99
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저빔 조사유닛으로부터 조사되는 레이저빔을 복수의 빔렛으로 분할하며, 상기 레이저빔의 형상을 결정하는 복수의 렌즈렛을 포함하는 제1배열렌즈;상기 제1배열렌즈에 의해 분할된 복수의 빔렛을 투과시키며, 상기 제1배열렌즈에 대응되는 복수의 렌즈렛을 포함하는 제2배열렌즈;상기 제2배열렌즈를 투과한 복수의 빔렛을 대상의 표면에 집광시키는 집광렌즈; 및상기 제1배열렌즈와 상기 제2배열렌즈 사이에 구비되어, 상기 빔렛의 초점 영역에서 플라즈마가 발생하는 것을 방지하는 플라즈마 발생 방지부;를 포함하는 표면개질용 빔균질기
2 2
제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생 방지부는,상기 제1배열렌즈 및 상기 제2배열렌즈 사이에 구비되며, 내부가 진공 분위기로 형성된 진공챔버를 포함하는 표면개질용 빔균질기
3 3
제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생 방지부는,적어도 상기 빔렛의 초점 영역을 감싸도록 형성되며, 공기의 플라즈마 발생 임계값보다 큰 플라즈마 발생 임계값을 가지는 충전가스가 내부에 수용되는 가스챔버를 포함하는 표면개질용 빔균질기
4 4
제3항에 있어서,상기 가스챔버는,상기 제1배열렌즈 및 상기 제2배열렌즈의 양측에 구비되어 상기 제1배열렌즈 및 상기 제2배열렌즈 사이의 공간을 차폐하는 제1프레임을 포함하는 표면개질용 빔균질기
5 5
제4항에 있어서,상기 가스챔버는,상기 제1배열렌즈 및 상기 제2배열렌즈와 나란한 방향으로 구비되어 상기 제1프레임과 함께 상기 제1배열렌즈 및 상기 제2배열렌즈 사이의 공간을 차폐하며, 빔 투과성을 가지는 제2프레임을 포함하는 표면개질용 빔균질기
6 6
제3항에 있어서,상기 충전가스는 헬륨 및 네온 중 적어도 어느 하나를 포함하는 표면개질용 빔균질기
7 7
삭제
8 8
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9 9
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10 10
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11 11
삭제
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1 CN108778604 CN 중국 FAMILY
2 US20190039179 US 미국 FAMILY
3 WO2017135552 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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2 US2019039179 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2017135552 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한동대학교 전자정보디바이스 산업원천기술개발사업(LED/광) 표면 개질용 125 J-Hz급 레이저 개발