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제1 관통홀이 형성되며, 상기 제1 관통홀을 중심으로 양쪽에 한 쌍의 제1 및 제2 단자들이 배치되는 베이스 몸체;상기 제1 관통홀을 덮되 상기 제1 및 제2 단자들 사이의 상기 베이스 몸체 상부면에 배치되며, 상기 제1 관통홀과 대응하고, 상기 제1 관통홀의 크기보다 작게 제2 관통홀이 형성되며, 상기 제1 관통홀을 포함한 상부면과 하부면에 고정 전극이 형성되는 기판;상기 제2 관통홀을 덮도록 상기 기판의 상부면에 배치되되, 상기 고정 전극과는 이격되게 배치되며, 상기 기판의 크기보다 작게 형성되어 상기 고정 전극이 형성된 상기 기판의 일부가 노출이 되고, 상부면의 테두리를 따라 트랜치 형상으로 제1 홈이 형성되며, 하부면에 오목한 형상으로 상기 제1 홈과 상기 기판 상부면의 고정 전극 부분을 포함하도록 제2 홈이 형성되고, 상기 제2 홈의 천장면이 상기 고정 전극과 이격되며, 압력 차이에 의하여 상기 고정 전극과 이루는 간격이 변경되는 가동 전극;상기 고정 전극 및 상기 가동 전극이 쇼트되는 것을 방지하기 위해 상기 제2 홈의 천장면에 형성되는 절연막; 및상기 제1 단자 및 상기 가동 전극 밖으로 노출된 상기 기판의 상부면에 형성된 고정 전극 부분을 전기적으로 연결하는 제1 도전성 와이어 및 상기 제2 단자 및 상기 가동 전극의 제1 홈 외측의 가장자리면을 전기적으로 연결하는 제2 도전성 와이어를 포함하는 도전성 와이어;를 포함하는 차압 센서
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제1항에 있어서,상기 고정 전극은 금속 전극을 포함하고, 상기 가동 전극은 실리콘 전극을 포함하는 차압 센서
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제1항에 있어서,상기 기판 및 상기 베이스 몸체 사이에 개재되며 상기 제1 및 제2 관통홀들과 연통된 제3 관통홀이 형성된 스페이서;를 더 포함하며, 상기 스페이서 및 상기 베이스 몸체는 유리를 포함하는 차압 센서
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제1항에 있어서,상기 고정 전극 및 상기 가동 전극 사이에 채워져 상기 가동 전극에 압력을 인가하는 유전체를 포함하는 차압 센서
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제1 관통홀이 형성된 베이스 몸체;상기 제1 관통홀을 중심으로 양쪽에 상기 베이스 몸체를 관통하는 제1 및 제2 도전 핀을 포함하는 도전핀;상기 제1 관통홀을 덮되 상기 제1 및 제2 도전 핀 사이의 상기 베이스 몸체 상부면에 배치되며, 상기 제1 관통홀과 대응하고, 상기 제1 관통홀의 크기보다 작게 제2 관통홀이 형성되며, 상기 제1 관통홀을 포함한 상부면과 하부면에 고정 전극이 형성되는 기판;상기 기판 및 상기 베이스 몸체 사이에 개재되며 상기 제1 관통홀의 크기보다 작고, 상기 제2 관통홀의 크기보다 큰 제3 관통홀이 형성되는 스페이서;상기 제2 관통홀을 덮도록 상기 기판의 상부면에 배치되되 상기 고정 전극과는 이격되게 배치되며, 상기 기판의 크기보다 작게 형성되어 상기 고정 전극이 형성된 상기 기판의 일부가 노출되고, 상부면의 테두리를 따라 트랜치 형상으로 제1 홈이 형성되며, 하부면에 오목한 형상으로 상기 제1 홈과 상기 기판 상부면의 고정 전극 부분을 포함하도록 제2 홈이 형성되고, 상기 제2 홈의 천장면이 상기 고정 전극과 이격되며, 압력 차이에 의하여 상기 고정 전극과 이루는 간격이 변경되는 가동 전극;상기 고정 전극 및 상기 가동 전극이 쇼트되는 것을 방지하기 위해 상기 제2 홈의 천장면에 형성되는 절연막; 및상기 제1 도전 핀 및 상기 가동 전극 밖으로 노출된 상기 기판의 상부면에 형성된 상기 고정 전극 부분을 전기적으로 연결하는 제1 도전성 와이어 및 상기 제2 도전 핀 및 상기 가동 전극의 제1 홈 외측의 가장자리면을 전기적으로 연결하는 제2 도전성 와이어를 포함하는 도전성 와이어;를 포함하는 차압 센서
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제7항에 있어서,상기 가동 전극 및 상기 고정 전극이 쇼트되는 것을 방지하기 위해 상기 가동전극 및 고정 전극 사이에 형성된 절연막을 더 포함하는 차압 센서
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