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내부 공간을 갖는 하우징 유닛(20);상기 내부 공간이 외부와 연결되는 진공 측정 공간(S1)과 내부에 폐쇄된 기준 압력 공간(S2)으로 구획하도록 상기 하우징 유닛(20) 내에 장착되는 격막형 진공 게이지(10); 및상기 격막형 진공 게이지(10)와 연결되어 진공 측정 공간(S1)의 진공압을 산출하는 마이크로프로세서(30);를 포함하며,상기 격막형 진공 게이지(10)는,상기 하우징 유닛(20) 내부에 마련된 장착 돌기(22a, 22b)에 밀착되는 제1 다이어프램 부재(211), 상기 제1 다이어프램 부재(211) 상에 구비되는 제1 압전층(212) 및 상기 제1 압전층(212) 상에 구비되며 상기 제1 다이어프램 부재(211)의 탄성 변형에 따라 상호 간의 거리가 가변되도록 제1 거리만큼 서로 이격된 제1 양전극과 제1 음전극을 갖는 제1 전극부(213)를 포함하는 제1 게이지 유닛(210);상기 제1 전극부(213) 상에 구비되는 제2 다이어프램 부재(221), 상기 제2 다이어프램 부재(221) 상에 구비되는 제2 압전층(222) 및 상기 제2 압전층(222) 상에 구비되며 상기 제2 다이어프램 부재(221)의 탄성 변형에 따라 상호 간의 거리가 가변되도록 제2 거리만큼 서로 이격된 제2 양전극과 제2 음전극을 갖는 제2 전극부(233)를 포함하는 제2 게이지 유닛(220); 및상기 제 2 전극부(223)에 밀착되는 제3 다이어프램 부재(231), 상기 제3 다이어프램 부재(231) 상에 구비되는 제3 압전층(232) 및 상기 제3 압전층(232) 상에 구비되며 상기 제3 다이어프램 부재(231)의 탄성 변형에 따라 상호 간의 거리가 가변되도록 제3 거리만큼 서로 이격된 제3 양전극과 제3 음전극을 갖는 제3 전극부(233)를 포함하는 제3 게이지 유닛(230);을 포함하고,상기 마이크로프로세서(30)는 상기 제1 전극부(213), 상기 제2 전극부(223) 및 상기 제3 전극부(233)와 택일적으로 전기 연결되어, 연결되어진 전극부의 양전극과 음전극 사이에서 측정되는 전압의 크기에 기초하여 상기 진공 측정 공간(S1)의 진공압을 산출하는,격막형 진공 계측 장치
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제1항에 있어서,상기 제1, 제2 및 제3 다이어프램 부재(211, 221, 231)에 의해 상기 압력 측정 공간(S1)과 상기 기준 압력 공간(S2) 사이의 기밀이 유지되는,격막형 진공 계측 장치
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3
제1항에 있어서,상기 제1, 제2 및 제3 다이어프램 부재(211, 221, 231)와 상기 제1, 제2 및 제3 압전층(212, 222, 232)은 원형으로 형성되며,각 전극부의 양전극과 음전극은 나선형으로 형성된,격막형 진공 계측 장치
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제1항에 있어서,상기 제1, 제2 및 제3 다이어프램 부재(211, 221, 231)는 가요성의 금속박막 또는 가요성의 플라스틱 또는 탄성을 가진 고무재질의 물질로 제조되는,격막형 진공 계측 장치
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삭제
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삭제
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제1항에 있어서,상기 제1 거리가 상기 제2 거리 보다 더 길게 형성되고, 상기 제2 거리가 상기 제3 거리 보다 더 길게 형성되는,격막형 진공 계측 장치
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8
내부 공간을 갖는 하우징 유닛(20);상기 내부 공간이 외부와 연결되는 진공 측정 공간(S1)과 내부에 폐쇄된 기준 압력 공간(S2)으로 구획하도록 상기 하우징 유닛(20) 내에 장착되는 격막형 진공 게이지(10); 및상기 격막형 진공 게이지(10)와 연결되어 상기 진공 측정 공간(S1)의 진공압을 산출하는 마이크로프로세서(30);를 포함하며,상기 격막형 진공 게이지(10)는 상호 적층된 복수의 게이지 유닛(210, 220, 230)을 포함하며,각 게이지 유닛(210, 220, 230)은,상기 진공 측정 공간(S1)과 상기 기준 압력 공간(S2) 사이의 압력 차이에 의해 휘어짐 변형 가능한 다이어프램 부재;상기 다이어프램 부재 상에 구비되는 압전층; 및상기 압전층 상에 구비되는 전극부로서, 상기 다이어프램 부재가 휘어짐 변형됨에 따라 이격 거리가 가변되는 양전극 및 음전극을 포함하는 전극부;를 포함하며,상기 양전극과 상기 음전극 간의 이격 거리는 게이지 유닛마다 상이하며,상기 마이크로프로세서(30)는 각 게이지 유닛(210, 220, 230)의 전극부에 선택적으로 전기 연결되며, 연결되어진 전극부의 양전극과 음전극 사이에서 측정되는 전압의 크기에 기초하여 상기 진공 측정 공간(S1)의 진공압을 산출하는,격막형 진공 계측 장치
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내부 공간을 갖는 하우징 유닛(20) 내에 장착되며 상기 내부 공간을 외부와 연결되는 진공 측정 공간(S1)과 내부에 폐쇄된 기준 압력 공간(S2)으로 구획하도록 배치되는 격막형 진공 게이지(10)로서,상기 하우징 유닛(20) 내부에 마련된 장착 돌기(22a, 22b)에 밀착되는 제1 다이어프램 부재(211), 상기 제1 다이어프램 부재(211) 상에 구비되는 제1 압전층(212) 및 상기 제1 압전층(212) 상에 구비되며 상기 제1 다이어프램 부재(211)의 탄성 변형에 따라 상호 간의 거리가 가변되도록 제1 거리만큼 서로 이격된 제1 양전극과 제2 음전극을 갖는 제1 전극부(213)를 포함하는 제1 게이지 유닛(210);상기 제1 전극부(213) 상에 구비되는 제2 다이어프램 부재(221), 상기 제 2 다이어프램 부재(221) 상에 구비되는 제2 압전층(222) 및 상기 제2 압전층(222) 상에 구비되며 상기 제2 다이어프램 부재(221)의 탄성 변형에 따라 상호 간의 거리가 가변되도록 제2 거리만큼 서로 이격된 제2 양전극과 제2 음전극을 갖는 제2 전극부(223)를 포함하는 제2 게이지 유닛(220); 및상기 제2 전극부(223)에 밀착되는 제3 다이어프램 부재(231), 상기 제3 다이어프램 부재(231) 상에 구비되는 제3 압전층(232) 및 상기 제3 압전층(232) 상에 구비되며 상기 제3 다이어프램 부재(231)의 탄성 변형에 따라 상호 간의 거리가 가변되도록 제3 거리만큼 서로 이격된 제3 양전극과 제3 음전극을 갖는 제3 전극부(233)를 포함하는 제3 게이지 유닛(230);을 포함하고,각 전극부의 양전극과 음전극 사이에서 측정되는 전압의 크기에 기초하여 상기 진공 측정 공간(S1)의 진공압이 계측되는,격막형 진공 게이지
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