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MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014009527
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 MEMS구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직형 마이크로 구동기 및 그 제조방법에 관한 것으로, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210); 마이크로 구동기의 토션바(torsion bar)(140)의 수직방향 일측부에 편중되게 연결되는 토션바연결빔(240); 및 상기 MEMS구동기(210)에 연결형성되는 구동기연결부(221)와, 상기 토션바연결빔(240)에 연결형성되고 조립에 의해 상기 구동기연결부(221)와 체결되는 빔연결부(222)가 구비되며, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하게 되는 조립연결장치(220);를 포함하여 구성되는 것을 기술적 요지로 하여, 마이크로 가공공정을 거쳐 소자를 제작한 후 간단한 조립에 의해 제작, 완성가능하여, 복잡하고 번거로운 화학적, 열적 처리공정을 추가로 거치지 않고, 보다 간단하게 제작가능하여 높은 제작 수율을 기대할 수 있는 MEMS구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직형 마이크로 구동기 및 그 제조방법에 관한 것이다. 마이크로 구동기, MEMS구동기, 토션바, 래치
Int. CL B81C 1/00 (2006.01) B81C 99/00 (2010.01) B81B 7/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090015659 (2009.02.25)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1074993-0000 (2011.10.12)
공개번호/일자 10-2010-0096666 (2010.09.02) 문서열기
공고번호/일자 (20111018) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.25)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종백 대한민국 경기도 고양시 덕양구
2 은영기 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2009-0116344-46
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0133191-14
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0138483-13
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0069849-76
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0022760-05
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.03.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0184996-70
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0184995-24
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0471759-67
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210); 마이크로 구동기의 토션바(torsion bar)(140)의 수직방향 일측부에 편중되게 연결되는 토션바연결빔(240); 및 상기 MEMS 구동기(210)의 작동에 의해 변위를 가지도록 상기 MEMS구동기(210)에 연결형성되는 구동기연결부(221)와, 일측부가 상기 토션바연결빔(240)에 연결형성되고, 타측부가 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결에 의한 래치(latch) 구조로 상기 구동기연결부(221)와 연결되어, 상기 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결 위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 연동시키게 되는 빔연결부(222)가 구비되는 조립연결장치(220); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 MEMS구동기(210)는, 저항 발열에 의해 길이가 신장변형되는 소재로 구성되며, 종방향으로의 연장길이를 가지는 다수의 전열선이 횡방향으로 연속하여 배치되고 종방향의 양단부가 고정 설치된 구조에 의해, 상기 전열선의 신장 변화량에 비례하여 상기 전열선의 중간부에서 횡방향으로의 선형 이동변위를 생성하게 되는 쉐브론 전열 구동기(Chevron thermal actuator)인 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)는, 상기 MEMS구동기(210)에서 상기 토션바(140)측으로 연장형성되는 수연장부(221a); 및 상기 수연장부(221a)에서 측방향으로 돌출형성되며, 상기 수연장부(221a)의 길이방향을 따라 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸고리부(221b); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치
5 5
제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 걸고리부(221b)는, 상기 MEMS구동기(210)에 인접한 일단부가 인접한 상기 걸림고리부(222b)측으로 돌출되거나 평탄한 형상을 가지고 상기 걸림고리부(222b)에 가압 접속되며 체결되고, 상기 토션바(140)에 인접한 타단부는 가장자리가 완만하게 라운딩된 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)는, 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 삽입된 상태로 진퇴 이동가능한 슬릿을 제공하는 암연장부(222a); 및 상기 암연장부(222a)에서 슬릿 내측으로 돌출형성되며, 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 상기 암연장부(222a)의 길이방향을 따라 임의의 지점에서 선택적으로 체결가능하도록 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸림고리부(222b); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치
7 7
제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 걸림고리부(222b)는, 상기 MEMS구동기(210)에 인접한 일단부는 가장자리가 완만하게 라운딩된 형상을 가지며, 상기 토션바(140)에 인접한 타단부는 인접한 상기 걸고리부(221b)측으로 돌출되거나 평탄한 형상을 가지고 상기 걸고리부(221b)에 가압 접속되며 체결되는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치
8 8
콤(comb) 형태를 가지는 고정자(stator)(111)와 구동자(rotor)(112)가 수직방향으로 서로 다른 위상을 가지고 맞물린 구조를 가지는 수직형 콤드라이브 구동기(comb-drive actuator)(110); 상기 콤드라이브 구동기(110)의 구동자(112)에 연결형성되어 상기 구동자(112)에 연동하여 회전, 진동되는 주사거울(120); 일측으로의 연장길이를 가지는 선형의 형상으로, 일단부가 상기 주사거울(120)에 연결되고 타단부가 정위치 고정되는 토션바(torsion bar)(140); 선형 이동변위를 생성가능한 구조를 가지고 상기 콤드라이브 구동기(110)와 별도로 구비되는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210); 상기 토션바(torsion bar)(140)의 수직방향 일측부에 편중되게 연결되는 토션바연결빔(240); 및 상기 MEMS 구동기(210)의 작동에 의해 변위를 가지도록 상기 MEMS구동기(210)에 연결형성되는 구동기연결부(221)와, 일측부가 상기 토션바연결빔(240)에 연결형성되고, 타측부가 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결에 의한 래치(latch) 구조로 상기 구동기연결부(221)와 연결되어, 상기 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결 위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 연동시키게 되는 빔연결부(222)가 구비되는 조립연결장치(220); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 마이크로 구동기
9 9
제8항에 있어서, 상기 토션바(140)는, 상기 주사거울(120)의 좌, 우측단부에 각각 연결되는 한쌍이 구비되고, 상기 토션바연결빔(240)은, 상기 한쌍의 토션바(140) 각각에 결합되고 상호 평행한 한쌍이 구비되며, 상기 한쌍의 토션바연결빔(240)의 단부를 일체로 연결가능한 연장길이를 가지며, 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)가 길이방향의 중간부에 연결되는 연결빔지지구(230); 를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 마이크로 구동기
10 10
삭제
11 11
하나의 웨이퍼(wafer)상에, 제8항의 콤드라이브 구동기(110), 주사거울(120), 토션바(140), MEMS구동기(210), 토션바연결빔(240), 조립연결장치의 구동기연결부(221), 빔연결부(222)를 함께 형성하는 기판제작단계; 상기 MEMS구동기(210)를 작동시켜 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)를 이동시키며 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)와의 상대위치를 조정하고, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하는 각도조정단계; 및 상기 토션바(140)의 각도 조정이 완료된 상태에서 상기 MEMS구동기(210)의 작동을 정지시켜 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 체결에 의해 최종 조정상태를 고정, 유지시키는 조립완료단계; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 마이크로 구동기의 제조방법
12 12
삭제
13 13
제11항에 있어서, 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)는, 상기 MEMS구동기(210)에서 상기 토션바(140)측으로 연장형성되는 수연장부(221a)와, 상기 수연장부(221a)에서 측방향으로 돌출형성되고 상기 수연장부(221a)의 길이방향을 따라 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸고리부(221b)를 구비하며, 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)는, 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 삽입된 상태로 진퇴 이동가능한 슬릿을 제공하는 암연장부(222a)와, 상기 암연장부(222a)에서 슬릿 내측으로 돌출형성되고 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 상기 암연장부(222a)의 길이방향을 따라 임의의 지점에서 선택적으로 체결가능하도록 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸림고리부(222b)를 구비하여, 상기 각도조정단계에서는, 상기 다수의 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)에 의해 각각의 배치 간격에 대응되는 거리만큼 단계별로 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대변위를 이동, 조정하는 것을 특징으로 하는 수직형 마이크로 구동기의 제조방법
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1 서울특별시 연세대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(2006년 신기술 연구개발 지원사업) 카테터 통합 방식의 초소형 광 간섭 3차원 단층 영상 측정기를 위한 2축 미이크로 영상 주사장치개발