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바이오 칩의 기판 상에 채널을 형성하는 방법에 있어서,
(a) 상기 기판의 표면 중 비가공 부분을 마스킹(Masking)하는 단계;
(b) 파우더 블라스팅(Powder Blasting) 가공 공정 또는 마이크로 엔드밀을 이용한 가공 공정을 통해, 상기 기판의 표면 중 상기 마스킹이 되지 않은 부분에 미리 설정된 형상 및 깊이로 연마하여 회로 패턴의 홈을 형성하는 단계;
(c) 상기 (b)단계를 통해 형성된 상기 회로 패턴의 홈 내부에 자기유변유체(MR fluid)와 비자성 연마재가 혼합된 혼탁액을 투입하는 단계;
(d) 상기 투입된 혼탁액과 접촉되도록 위치하되 선택적으로 자기장의 형성이 가능한 회전부재의 회전력에 의해, 상기 회로 패턴의 홈 내부에서 상기 혼탁액이 상기 회로 패턴의 홈이 형성된 방향으로 회전되되, 상기 회전부재를 이동시키는 구동부에 의해 상기 회전부재가 3축 방향(X축, Y축, Z축)으로 이동하거나, 상기 기판을 지지하는 지지대를 이용시키는 구동부에 의해 상기 기판이 3축 방향(X축, Y축, Z축)으로 이동하여, 상기 회로 패턴의 홈 내부를 미세 연마하는 단계;를 포함하고,
상기 (c)단계는 상기 회전부재와 인접된 위치에 구비된 혼탁액 공급부를 통해 상기 혼탁액이 상기 회로 패턴의 홈에 공급되는 단계인 것을 특징으로 하는 바이오 칩 상의 채널 형성방법
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제 1항에 있어서, 상기 (d)단계는,
상기 회로 패턴의 홈을 미세 연마하는 과정에서, 상기 회전부재를 이동시키는 구동부에 의해, 상기 회로패턴의 홈을 중심으로 상기 회전부재가 3축 방향(X축, Y축, Z축)으로 이동함으로써, 상기 회로 패턴의 홈을 다양한 형태로 미세 연마 가능한 것을 특징으로 하는 바이오 칩 상의 채널 형성방법
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제 1항에 있어서, 상기 (d)단계는,
상기 회로 패턴의 홈을 미세 연마하는 과정에서, 상기 기판을 지지하는 지지대를 이동시키는 구동부에 의해, 상기 회전부재를 중심으로 상기 기판이 3축 방향(X축, Y축, Z축)으로 이동함으로써, 상기 회로 패턴의 홈을 다양한 형태로 미세 연마 가능한 것을 특징으로 하는 바이오 칩 상의 채널 형성방법
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제 1항에 있어서, 상기 (d)단계는,
상기 회전부재에 자기장이 형성될 경우, 상기 혼탁액에 포함된 자기유변유체는 상기 자기장에 의해 상기 회전부재의 외부면에 부착되며, 상기 혼탁액에 포함된 비자성 연마재는 상기 부착된 자기유변유체의 외부면으로 밀려난 형태로 상기 혼탁액의 형태가 변형되는 것을 특징으로 하는 바이오 칩 상의 채널 형성방법
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