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마이크로 공진기 센서

  • 기술번호 : KST2014022618
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 마이크로 공진기 센서가 개시된다. 주도파로는 광신호가 입사되는 입사구와 광신호가 출사되는 출사구를 구비하며, 입사구를 통해 입력된 광신호의 일부가 분기되는 광결합영역을 갖는다. 공진도파로는 주도파로의 광결합영역과 광결합되어 주도파로로부터 분기된 분기광신호를 입력받는 광결합영역을 가지며, 복수의 광도파로가 다각형상으로 배치되어 구성된다. 또한 공진도파로를 구성하는 광도파로들 중에서 적어도 하나의 광도파로에는 개구부가 형성된다. 광경로변경수단은 공진도파로를 형성하는 각각의 광도파로가 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 공진도파로로 입력된 분기광신호의 적어도 일부를 반사시켜 분기광신호가 공진도파로 내를 주회하도록 한다. 본 발명에 따르면, 전반사미러를 이용하여 공진기를 구성함으로써, 과도 방사 손실없이 마이크로 공진기 센서를 초소형으로 제작할 수 있고, 전체 소자를 동일한 웨이퍼에 집적할 수 있어 온칩으로 제작이 가능하여 휴대용 단말기에 적용될 수 있는 초소형 광센서 모듈의 생산이 가능하다. 공진기, 센서, 광신호, 레이저 다이오드, 포토 다이오드
Int. CL G01J 1/44 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020060108579 (2006.11.03)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0839969-0000 (2008.06.13)
공개번호/일자 10-2008-0040519 (2008.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20080619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.11.03)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최영완 대한민국 서울 송파구
2 김두근 대한민국 서울 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2006-0808393-56
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.10.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.11.08 수리 (Accepted) 9-1-2007-0065110-79
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0669620-35
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2008.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0097317-98
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.03.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0161137-12
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2008-0161129-46
8 등록결정서
Decision to grant		 2008.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0165949-08
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148879-89
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148883-62
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000494-54
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2014-5123944-33
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광신호가 입사되는 입사구와 광신호가 출사되는 출사구를 구비하며, 상기 입사구를 통해 입력된 광신호의 일부가 분기되는 광결합영역을 가지는 주도파로;상기 주도파로의 광결합영역과 광결합되어 상기 주도파로로부터 분기된 분기광신호를 입력받는 광결합영역을 가지며, 복수의 광도파로가 다각형상으로 배치되어 구성되는 공진도파로; 및상기 공진도파로를 형성하는 각각의 광도파로가 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 상기 공진도파로로 입력된 상기 분기광신호의 적어도 일부를 반사시켜 상기 분기광신호가 상기 공진도파로 내를 주회하도록 하는 광경로변경수단;를 포함하며,상기 공진도파로를 구성하는 광도파로들 중에서 적어도 하나의 광도파로에 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
2 2
제 1항에 있어서,상기 주도파로의 광결합영역과 상기 공진도파로의 광결합영역은 상기 주도파로를 구성하는 광도파로에 일체로 형성되며,상기 광경로변경수단은,상기 광결합영역의 양단에 설치되어 상기 입사구를 통해 입사된 광신호를 상기 주도파로의 출사구 및 상기 공진도파로로 분기하는 광분기소자; 및상기 공진도파로를 구성하는 광도파로 중에서 상기 광결합영역에 해당하는 광도파로를 제외한 나머지 광도파로들이 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 입사된 분기광신호를 전반사시키는 전반사소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
3 3
제 1항에 있어서,상기 광경로변경수단은 상기 공진도파로를 구성하는 각각의 광도파로가 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 입사된 분기광신호를 전반사시키는 전반사미러인 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
4 4
제 1항에 있어서,입력된 광신호를 분배하거나 결합시키는 광결합소자를 더 포함하고,상기 주도파로의 광결합영역과 상기 공진도파로의 광결합영역은 상기 광결합소자와 각각 광결합되며,상기 광경로변경수단은 상기 공진도파로를 구성하는 각각의 광도파로가 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 입사된 분기광신호를 전반사시키는 전반사미러인 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
5 5
제 1항에 있어서,상기 주도파로와 평행하게 배치된 보조도파로를 더 포함하고,상기 보조도파로의 일단은 상기 주도파로의 입사구에 광결합되고, 상기 보조도파로의 타단은 상기 주도파로의 출사구에 광결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
6 6
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 공진도파로를 구성하는 광도파로의 길이방향에 대해 수직한 방향으로의 단면은 사각형상이며, 상기 개구부는 공진도파로를 구성하는 광도파로의 상면 및 측면 중에서 적어도 하나의 면에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
7 7
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 주도파로의 출사구로부터 출력되는 광의 세기를 검출하여 상기 공진도파로를 구성하는 광도파로에 형성된 개구부에 위치한 피측정매질에 의한 공진도파로의 유효굴절율의 변화량을 산출하는 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
8 8
제 7항에 있어서,상기 측정부는 정수배의 FSR(free spectral range)에 해당하는 간격을 갖는 복수의 공진파장 각각에 해당하는 파장을 갖는 광의 세기를 검출하고, 상기 검출된 광의 세기들의 차이값을 기초로 상기 공진도파로의 유효굴절율의 변화량을 산출하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
9 9
제 7항에 있어서,상기 광신호를 발생하여 상기 주도파로의 입사구로 입력하는 광원부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
10 10
제 9항에 있어서,상기 광원부는,광신호를 출력하는 광원;외부로부터 공급되는 구동전류의 크기에 따라 굴절율이 변화하는 위상제어영역이 형성된 제1반경을 갖는 원형의 광도파로로 구성되는 제1공진링;외부로부터 공급되는 구동전류의 크기에 따라 굴절율이 변화하는 위상제어영역이 형성된 제2반경을 갖는 원형의 광도파로로 구성되는 제2공진링;상기 제1공진링 및 제2공진링과 이격되어 배치되고, 상기 제1공진링 또는 제2공진링의 굴절율 변화에 대응하여 상기 광원으로부터 출력된 광신호의 파장을 변경시켜 출력하는 광도파로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
11 11
제 9항에 있어서,상기 광원부, 상기 주도파로, 상기 공진도파로, 상기 광경로변경수단 및 상기 측정부는 단일 웨이퍼에 집적되어 광집접화회로(Photonic Integrated Circuit)로 제작되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
12 12
제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 주도파로와 평행하게 배치된 보조도파로를 더 포함하고,상기 보조도파로의 일단은 상기 주도파로의 입사구에 광결합되고, 상기 보조도파로의 타단은 상기 주도파로의 출사구에 광결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
13 13
제 2항에 있어서,상기 공진도파로를 구성하는 광도파로 중에서 상기 광분기소자 중에서 상기 주도파로의 입사구 측에 설치된 광분기소자와 연결되는 광도파로로부터 출력되는 광신호를 검출하는 모니터링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
14 14
광신호가 입사되는 입사구와 광신호가 출사되는 출사구를 구비하며, 상기 입사구를 통해 입력된 광신호의 일부가 분기되는 광결합영역을 가지는 제1주도파로;상기 제1주도파로의 광결합영역과 광결합되어 상기 제1주도파로로부터 분기된 분기광신호를 입력받는 광결합영역을 가지며, 복수의 광도파로가 다각형상으로 배치되어 구성되는 제1공진도파로; 광신호가 입사되는 입사구와 광신호가 출사되는 출사구를 구비하며, 상기 입사구를 통해 입력된 광신호의 일부가 분기되는 광결합영역을 가지는 제2주도파로;상기 제2주도파로의 광결합영역과 광결합되어 상기 제2주도파로로부터 분기된 분기광신호를 입력받는 광결합영역을 가지며, 복수의 광도파로가 다각형상으로 배치되어 구성되는 제2공진도파로; 및상기 제1공진도파로 및 제2공진도파로를 형성하는 각각의 광도파로가 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 상기 제1공진도파로 또는 상기 제2공진도파로로 입력된 분기광신호의 적어도 일부를 반사시켜 상기 분기광신호가 상기 제1공진도파로 및 상기 제2공진도파로 내를 주회하도록 하는 광경로변경수단;을 포함하며,상기 제1공진도파로와 제2공진도파로는 하나의 꼭지점을 공유하여 단일의 공진경로를 형성하고, 상기 제1공진도파로와 제2공진도파로를 구성하는 광도파로들 중에서 적어도 하나의 광도파로에 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
15 15
제 14항에 있어서,상기 제1주도파로의 광결합영역과 상기 제1공진도파로의 광결합영역은 상기 제1주도파로를 구성하는 광도파로에 일체로 형성되고, 상기 제2주도파로의 광결합영역과 상기 제2공진도파로의 광결합영역은 상기 제2주도파로를 구성하는 광도파로에 일체로 형성되고,상기 광경로변경수단은,상기 광결합영역의 양단에 설치되어 상기 입사구를 통해 입사된 광신호를 상기 제1주도파로 및 제2주도파로의 출사구와 상기 제1공진도파로 및 상기 제2공진도파로로 각각 분기하는 제1광분기소자;상기 제1공진도파로 및 상기 제2공진도파로가 공유하는 꼭지점 영역에 설치되어 상기 제1공진도파로로 입사된 분기광신호를 상기 제2공진도파로로 제공하고, 상기 제2공진도파로로 입사된 분기광신호를 상기 제1공진도파로로 제공하는 제2광분기소자; 및상기 제1공진도파로 및 제2공진도파로를 구성하는 광도파로 중에서 상기 광결합영역에 해당하는 광도파로를 제외한 나머지 광도파로들이 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 입사된 분기광신호를 전반사시키는 전반사소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
16 16
제 14항에 있어서,상기 광경로변경수단은,상기 제1공진도파로 및 제2공진도파로가 공유하는 꼭지점 영역에 설치되어 상기 제1공진도파로로 입사된 분기광신호를 상기 제2공진도파로로 제공하고, 상기 제2공진도파로로 입사된 분기광신호를 상기 제1공진도파로로 제공하는 광분기소자; 및상기 제1공진도파로 및 제2공진도파로를 구성하는 각각의 광도파로가 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 입사된 분기광신호를 전반사시키는 전반사미러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
17 17
제 14항에 있어서,상기 제1주도파로의 광결합영역과 상기 제1공진도파로의 광결합영역이 각각광결합되는 제1광결합소자; 및상기 제2주도파로의 광결합영역과 상기 제2공진도파로의 광결합영역이 각각 광결합되는 제2광결합소자;를 더 포함하며,상기 광경로변경수단은,상기 제1공진도파로 및 제2공진도파로가 공유하는 꼭지점 영역에 설치되어 상기 제1공진도파로로 입사된 분기광신호를 상기 제2공진도파로로 제공하고, 상기 제2공진도파로로 입사된 분기광신호를 상기 제1공진도파로로 제공하는 광분기소자; 및 상기 공진도파로를 구성하는 각각의 광도파로가 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 입사된 분기광신호를 전반사시키는 전반사소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는마이크로 공진기 센서
18 18
제 14항 내지 제 17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1공진도파로 및 제2공진주파수를 구성하는 광도파로의 길이방향에 대해 수직한 방향으로의 단면은 사각형상이며, 상기 개구부는 상기 제1공진도파로 및 제2공진도파로를 구성하는 광도파로의 상면 및 측면 중에서 적어도 하나의 면에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
19 19
제 14항 내지 제 17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1주도파로 또는 제2주도파로의 출사구로부터 출력되는 광의 세기를 검출하여 상기 제1공진도파로 또는 제2공진도파로를 구성하는 광도파로에 형성된 개구부에 위치한 피측정매질에 의한 제1공진도파로 또는 제2공진도파로의 유효굴절율의 변화량을 산출하는 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
20 20
제 19항에 있어서,상기 측정부는 정수배의 FSR(free spectral range)에 해당하는 간격을 갖는 복수의 공진파장 각각에 해당하는 파장을 갖는 광의 세기를 검출하고, 상기 검출된 광의 세기들의 차이값을 기초로 상기 제1공진도파로 및 제2공진도파로의 유효굴절율의 변화량을 산출하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공진기 센서
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