[KST2015070246][LG그룹] |
서셉터 처리 장치 및 방법 |
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[KST2015011486][기술보증기금(신탁)] |
웨이퍼 보관함 자동포장장치 |
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[KST2014055972][호서대학교] |
비접촉식 웨이퍼 지지장치 |
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[KST2015070358][LG그룹] |
웨이퍼 리프트 장치 |
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[KST2015011512][고려대학교] |
정밀 이송 스테이지 유니트 |
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[KST2019011104][한국과학기술연구원] |
변형된 저마늄을 포함하는 반도체 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자 |
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[KST2016018250][한국과학기술원] |
유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지(2 axes linear motion hollow stage using flexure mechanism) |
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[KST2016011750][서울과학기술대학교] |
밀링 지그의 각도 측정 장치(MILLING JIG FOR THE ANGLE MEASURING DEVICE) |
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[KST2019014514][] |
웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지 장치 |
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[KST2015070538][LG그룹] |
웨이퍼 마운팅 장치 |
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[KST2016008349][금오공과대학교] |
순차 셔틀방식을 이용한 복수 개의 가공물 컷팅장치(multiple Workpieces cutting device using sequential shuttle) |
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[KST2019014074][한국표준과학연구원] |
확장된 검사 영역을 갖는 웨이퍼 센서, 및 이를 이용한 건식 공정 장치 |
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[KST2016006788][경남과학기술대학교] |
캘리퍼 가공용 지그(JIG FOR MANUFACTURING CALIPER) |
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[KST2016010393][한국전기연구원] |
원통형 초정밀 자기부상 스테이지(Cylindrical ultra-precision magnetic levitation stage) |
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[KST2016006387][전북대학교] |
자기부상 이중서보 스테이지(DUAL SERVO STAGE USING MAGNETIC LEVITATION TECHNOLOGY) |
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[KST2019014834][한국서부발전(주)] |
가스터빈용 베인 가공용 지그장치 |
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[KST2016009758][한국원자력연구원] |
중성자 핵변환 도핑을 위한 조사체 회전 장치(ROTATING APPARATUS OF IRRADIATION RIG FOR NEUTRON TRANSMUTATION DOPING) |
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[KST2016012181][동명대학교] |
지그 장치 및 홀 가공방법(Jig device and drilling method) |
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[KST2016013931][조선대학교] |
베어링 몸체를 고정할 수 있는 대형 플랜지 가공기의 턴테이블(A complex processor for large flange) |
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[KST2016013248][한국기계연구원] |
고온 국부가열 방식의 서셉터 및 이를 갖는 히팅 장치(HIGH TEMPERATURE LOCAL HEATING TYPE SUSCEPTOR AND HEATING APPARATUS HAVING THE SAME) |
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[KST2014039728][한국기계연구원] |
간섭 리소그라피 시스템의 진공 척 |
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[KST2015014152][한국기초과학지원연구원] |
절구형 원통체 반사경 절삭가공용 지그 |
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[KST2016015691][연세대학교] |
원심력을 이용한 그래핀 직접 전사장치 및 전사방법(APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING GRAPHENE DIRECTLY USING CENTRIFUGAL FORCE) |
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[KST2016011945][포항산업과학연구원] |
파이프용 지그(Jig for pipe) |
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[KST2014034760][한국생산기술연구원] |
와이어소에 설치되는 웨이퍼지지장치 |
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[KST2019004295][한국전기연구원] |
피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어모듈과 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어장치 |
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[KST2014027869][성균관대학교] |
반도체 기판의 비아 형성방법 |
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[KST2014033834][아주대학교] |
평면 3자유도 스테이지 |
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[KST2014032924][경희대학교 국제캠퍼스] |
기판의 국소적 온도 조절이 가능한 나노 구조체 제조장치 및 나노 구조체 제조방법 |
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[KST2014048340][울산테크노파크] |
콜레트 척 |
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