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기판; 기판 상부에 형성된 소스 및 드레인; 상기 소스 및 드레인 상부에 형성된 게이트; 상기 소스 및 드레인 사이에 형성되는 실리콘 나노 채널을 포함하는 트랜지스터; 및상기 기판 하부를 식각하여 노출된 상기 트랜지스터의 실리콘 나노 채널에 고정되어, 외부로부터 주입되는 타겟 분자와 반응하는 프로브 분자를 포함하는 복수의 바이오 센서 셀을 포함하며,상기 복수의 바이오 센서 셀이 어레이 형태를 갖는 바이오 센서 어레이 소자
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제1항에 있어서,상기 트랜지스터의 문턱 전압 변화를 감지하여 상기 프로브 분자와 상기 타겟 분자와의 결합 여부를 알아내는 바이오 센서 어레이 소자
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제2항에 있어서,상기 트랜지스터의 채널 선폭에 따라 검출 민감도가 달라지는 바이오 센서 어레이 소자
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제1항에 있어서,상기 트랜지스터의 게이트 전압을 조절하여 검출 민감도가 높은 동작점에서 상기 트랜지스터를 구동하는 바이오 센서 어레이 소자
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제1항에 있어서,고정되는 상기 프로브 분자는 적어도 한 종류인 바이오 센서 어레이 소자
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제1항에 있어서,상기 기판은 SOI 기판인 바이오 센서 어레이 소자
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반도체 기판 상부에 소스, 드레인 및 게이트를 형성하고, 상기 소스 및 드레인 사이에 실리콘 나노 채널을 형성하여 트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 기판 하부를 식각하여 상기 트랜지스터의 실리콘 나노 채널을 노출시키는 단계; 및상기 실리콘 나노 채널에 외부로부터 주입되는 타겟 분자와 반응하는 프로브 분자를 부착시키는 단계를 포함하는 바이오 센서 어레이 소자의 제작 방법
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제7항에 있어서,상기 트랜지스터의 문턱 전압 변화를 감지하여 상기 프로브 분자와 상기 타겟 분자와의 결합 여부를 알아내는 바이오 센서 어레이 소자의 제작 방법
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제8항에 있어서,상기 트랜지스터의 채널 선폭을 조절하여 검출 민감도를 결정하는 바이오 센서 어레이 소자의 제작 방법
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제7항에 있어서,고정되는 상기 프로브 분자는 적어도 한 종류인 바이오 센서 어레이 소자의 제작 방법
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제7항에 있어서,상기 기판은 SOI 기판인 바이오 센서 어레이 소자의 제작 방법
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기판; 기판 상부에 형성된 소스 및 드레인; 상기 소스 및 드레인 상부에 형성된 게이트; 상기 소스 및 드레인 사이에 형성되는 실리콘 나노 채널을 포함하는 트랜지스터; 및상기 기판 하부를 식각하여 노출된 상기 트랜지스터의 실리콘 나노 채널에 부착되어, 외부로부터 주입되는 타겟 분자와 반응하는 프로브 분자를 포함하는 복수의 바이오 센서 셀을 포함하는 바이오 센서 어레이 소자;상기 바이오 센서 어레이 소자와 접착하여 상기 바이오 센서 어레이 소자를 패키징하는 패키징 수단; 그리고상기 기판의 상부 방향으로 부착되는 복수의 핀을 포함하는 바이오 센서 칩
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제12항에 있어서,상기 트랜지스터의 문턱 전압 변화를 감지하여 상기 프로브 분자와 상기 타겟 분자와의 결합 여부를 알아내는 바이오 센서 칩
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제12항에 있어서,상기 트랜지스터의 게이트 전압을 조절하여 검출 민감도가 높은 동작점에서 상기 트랜지스터를 구동하는 바이오 센서 칩
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15
제12항에 있어서,고정되는 상기 프로브 분자는 적어도 한 종류인 바이오 센서 칩
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제12항에 있어서,상기 프로브 분자는 ssDNA, 항체, 또는 특정 단백질과 특이 결합하는 단백질인 바이오 센서 칩
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17
제12항에 있어서,상기 타겟 분자는 상기 프로브 분자에 대응하는 상보적인 ssDNA, 항원, 또는 특정 단백질인 바이오 센서 칩
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반도체 기판 상부에 소스, 드레인 및 게이트를 형성하고, 상기 소스 및 드레인 사이에 실리콘 나노 채널을 형성하여 트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 기판 하부를 식각하여 상기 트랜지스터의 실리콘 나노 채널을 노출시키고, 상기 실리콘 나노 채널에 외부로부터 주입되는 타겟 분자와 반응하는 프로브 분자를 부착시켜 바이오 센서 어레이 소자를 제작하는 단계;제작된 상기 바이오 센서 어레이 소자를 패키징하는 단계;상기 패키징 후 상기 바이오 센서 어레이 소자를 와이어 본딩하는 단계; 및상기 바이오 센서 어레이 소자에 복수의 핀을 기판의 상부 방향으로 부착하는 단계를 포함하는 바이오 센서 칩의 제작 방법
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제18항에 있어서,상기 트랜지스터의 게이트 전압을 조절하여 검출 민감도가 높은 동작점에서 상기 트랜지스터를 구동하는 바이오 센서 칩의 제작 방법
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제18항에 있어서,고정되는 상기 프로브 분자는 적어도 한 종류인 바이오 센서 칩의 제작 방법
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