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기판으로 패턴 형성을 위해 상기 기판 표면 영역을 선택적으로 친수성 또는 소수성으로 표면 처리한 후 패턴을 형성하기 위한 기판 표면 처리방법에 있어서,소수성 용액이 유동할 수 있는 유동로가 형성되도록 돌출부가 형성된 주형을 준비하고, 여기에 몰드용액을 부어 유동로가 형성된 몰드를 제작하는 단계;상기 소수성 용액을 주입할 수 있도록 상기 몰드의 유동로와 연통되는 주입홀을 형성하는 단계;주입홀이 형성된 몰드를 기판과 얼라인하여 접하는 단계;상기 주입홀을 통해 소수성 용액을 주입하여 유동로에 대응하는 소수성 패턴을 형성하는 단계;얼라인 된 상기 몰드를 기판에서 분리하는 단계; 및상기 기판으로 원하는 형상의 패턴을 패터닝하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 소수성 용액 주입을 이용한 패터닝 방법
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제 1항에 있어서, 상기 소수성 용액 주입단계는,열처리를 통해 소수성 용액을 고정화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 용액 주입을 이용한 패터닝 방법
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제 1항에 있어서, 상기 패터닝 단계 후에는,표면에 코팅된 소수성 패턴을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 용액을 이용한 패터닝 방법
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제 1항 또는 제 3항에 있어서, 상기 소수성 패턴은,플루오르 계열의 소수성 용액인 것을 특징으로 하는 소수성 용액을 이용한 패터닝 방법
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제 3항에 있어서, 상기 소수성 패턴 제거단계는,플라즈마를 이용한 건식 식각, 용제를 이용한 습식 식각 중 어느 하나를 통해 제거하는 것을 특징으로 하는 소수성 용액을 이용한 패터닝 방법
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제 1항에 있어서, 상기 패터닝 단계는,나노 입자 잉크를 잉크젯 방식을 통해 형성시키는 것을 특징으로 하는 소수성 용액을 이용한 패터닝 방법
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제 1항에 있어서, 상기 몰드를 제작하는 단계는,리소그래피를 이용하여 유동로가 형성되도록 상기 몰드를 제작하는 것을 특징으로 하는 소수성 용액을 이용한 패터닝 방법
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제 1항에 있어서, 상기 몰드를 제작하는 단계는,얼라인 마크를 몰드 일측으로 형성하고, 상기 기판에 기 형성된 얼라인 마크를 통해 얼라인하는 것을 특징으로 하는 소수성 용액을 이용한 패터닝 방법
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