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경사 입사각 증착을 이용한 보호층의 제조방법 (Protecting layer manufacturing method using glancing angle deposition)

  • 기술번호 : KST2014035948
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 경사 입사각 증착을 이용한 보호층 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 경사 입사각 증착을 이용한 보호층은, 소정의 각도로 기울어져 회전되는 기판, 기판상에 소정의 간격으로 이격되어 형성된 기둥 미세구조를 가지는 비등방 박막층, 비등방 박막층의 기둥 미세구조상에 소정의 경사 입사각으로 증착되어 기둥 미세구조를 보호하는 보호층을 포함한다.
Int. CL C23C 14/22 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01)
CPC C23C 14/225(2013.01) C23C 14/225(2013.01) C23C 14/225(2013.01) C23C 14/225(2013.01) C23C 14/225(2013.01)
출원번호/일자 1020110131768 (2011.12.09)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1182626-0000 (2012.09.07)
공개번호/일자 10-2012-0000042 (2012.01.03) 문서열기
공고번호/일자 (20120914) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2009-0006513 (2009.01.28)
관련 출원번호 1020090006513
심사청구여부/일자 Y (2011.12.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황보창권 대한민국 인천광역시 연수구
2 박용준 대한민국 인천광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0979787-69
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0063687-09
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0256827-29
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.05.01 수리 (Accepted) 1-1-2012-0347779-37
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.05.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0347780-84
6 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0527522-35
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
1 1
기둥 미세구조를 가지는 비등방 박막층을 기판상에 형성하는 단계; 및 상기 기판의 각도를 기울인 상태로 상기 기판을 회전시키면서 경사구조(Tilted Structure), 지그재그구조(Zigzag Structure), 나선형구조(Helical Structure) 중 적어도 하나 또는 둘 이상의 구조가 혼합된 형태의 구조로 상기 비등방 박막층의 상기 기둥 미세구조 상에만 선택적으로 보호층을 증착하는 단계를 포함하고, 상기 보호층의 경사입사각은 이하의 수학식을 만족하며, (여기서, α는 90-기둥입사각이고, B는 상기 기둥 미세구조의 높이이며, A는 상기 기둥 미세구조의 간격임
2 2
제 1항에 있어서, 상기 경사입사각은 0°내지 90°의 범위인 것을 특징으로 하는 보호층의 제조방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 보호층을 증착하는 단계는, 물리 증착법(Vapor Deposition), 또는, 물리 증기 증착법(PVD: Physical Vapor Depostion)을 이용하여 상기 보호층을 증착하는 것을 특징으로 하는 보호층의 제조방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 물리 증기 증착법은, 스퍼터링(Sputtering), 전자빔 증착법(E-beam Evaporation), 열 증착법(Thermal Evaporation), 레이저 분자빔 증착법(L-MBE: Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저 증착법(PLD: Pulsed Laser Deposition)을 포함하는 것을 특징으로 하는 보호층의 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 보호층을 증착하는 단계는, 산화규소(SiO2)를 포함하는 물질을 이용하여 상기 보호층을 증착하는 것을 특징으로 하는 보호층의 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020100087494 KR 대한민국 FAMILY

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