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변형 경사 입사각 증착 장치 및 이를 이용한 무반사 광학 박막의 제조 방법, 그리고 무반사 광학 박막

  • 기술번호 : KST2015158537
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 무반사 광학 박막의 제조 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 무반사 광학 박막의 제조 방법은, 챔버(chamber) 내의 지지대와 연결된 지지판 상에 기판을 장착하는 제1 단계, 기판이 지면에 평행하도록 상기 지지대를 수직하게 이동시키는 제2 단계, 기판 상에 증착 물질을 이용하여 제1 굴절률층을 증착시키는 제3 단계, 제1 굴절률층이 증착된 기판이 소정의 경사각을 갖도록 지지대를 이동시키는 제4 단계, 기판의 하부 영역에 위치하며 기판으로 향하는 증착 물질의 다공성을 증가시키는 다공성 증가 필터를 이용하여 기판 상에 상기 제1 굴절률층보다 작은 굴절률을 갖는 제2 굴절률층을 증착시키는 제5 단계, 기판의 하부 영역 상에서 다공성 증가 필터를 제외시키고, 제1 및 제2 굴절률층이 증착된 기판이 지면에 평행하도록 지지대를 수직하게 이동시키는 제6 단계 및, 제3 내지 제5 단계를 1회 반복하는 제7 단계를 포함한다. 경사 입사각, 다공성 증가 필터, 굴절률, 무반사 박막
Int. CL C23C 14/22 (2006.01) G02B 1/10 (2006.01) G02B 1/11 (2006.01)
CPC G02B 1/111(2013.01) G02B 1/111(2013.01) G02B 1/111(2013.01) G02B 1/111(2013.01)
출원번호/일자 1020090044859 (2009.05.22)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1088403-0000 (2011.11.24)
공개번호/일자 10-2010-0125904 (2010.12.01) 문서열기
공고번호/일자 (20111201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.22)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황보창권 대한민국 인천시 연수구
2 박용준 대한민국 인천시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0307501-43
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0114343-59
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0321241-54
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.04.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0321243-45
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0683138-96
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버(chamber) 내의 지지대와 연결된 지지판 상에 기판을 장착하는 제1 단계; 상기 기판이 지면에 평행하도록 상기 지지대를 수직하게 이동시키는 제2 단계; 상기 기판 상에 증착 물질을 이용하여 제1 굴절률층을 증착시키는 제3 단계; 상기 제1 굴절률층이 증착된 기판이 소정의 경사각을 갖도록 상기 지지대를 이동시키는 제4 단계; 상기 기판의 하부 영역에 위치하며 상기 기판으로 향하는 증착 물질의 다공성을 증가시키는 다공성 증가 필터를 이용하여 상기 기판 상에 상기 제1 굴절률층보다 작은 굴절률을 갖는 제2 굴절률층을 증착시키는 제5 단계; 상기 기판의 하부 영역 상에서 상기 다공성 증가 필터를 제외시키고, 상기 제1 및 제2 굴절률층이 증착된 기판이 지면에 평행하도록 상기 지지대를 수직하게 이동시키는 제6 단계; 및 상기 제3 내지 제5 단계를 1회 반복하는 제7 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 무반사 광학 박막의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 굴절률층은 동일한 증착 물질로 증착되는 것을 특징으로 하는 무반사 광학 박막의 제조 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 굴절률층은, SiO2, MgF2, TiO2, ITO, ZnO, Ta2O5 및 CeO2 중 어느 하나의 증착 물질로 증착되는 것을 특징으로 하는 무반사 광학 박막의 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 기판은 유리 기판인 것을 특징으로 하는 무반사 광학 박막의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 제4 단계에서, 상기 기판의 경사각은 75° 내지 85°인 것을 특징으로 하는 무반사 광학 박막의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 제1 굴절률층은 수직한 형태의 나노 기둥 패턴을 포함하는 다공성을 가지며, 상기 제2 굴절률층은 경사진 형태의 나노 기둥 패턴을 포함하며 상기 제1 굴절률층보다 높은 다공성을 갖는 것을 특징으로 하는 무반사 광학 박막의 제조 방법
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8 8
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10 10
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11 11
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1 CN102439488 CN 중국 FAMILY
2 WO2010134677 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 CN102439488 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN102439488 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 WO2010134677 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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