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폴리실록센 5
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제 1 항에 있어서, 상기 탄화규소 소결체 조성물 100 중량부에 대하여, C1 ~ C5의 알코올 및 아세톤 중에서 선택된 1 종 이상의 용매 30 ~ 200 중량부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저저항 소결체 조성물
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제 1 항에 있어서, 상기 희토류금속산화물은 CeO2, Pr2O3, Nd2O3, Sm2O3, Eu2O3, Gd2O3, Tb2O3, Dy2O3, Ho2O3, Er2O3, Tm2O3, Yb2O3, Lu2O3, Sc2O3, Y2O3 및 La2O3 중에서 선택된 1 종 이상인 것을 특징으로 하는 저저항 탄화규소 소결체 조성물
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제 1 항에 있어서, 상기 β-탄화규소 분말은 평균직경 5 ㎚ ~ 3 ㎛인 것을 특징으로 하는 저저항 탄화규소 소결체 조성물
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폴리실록센 5
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6
제 5 항에 있어서, 상기 제 5 단계는 불활성 기체 또는 질소 분위기 하에서,
추가적인 압력을 가하지 않고, 1,400 ~ 1,700℃의 온도로 가열하여, 실리콘옥시카바이드와 탄소(C)를 탄화규소(SiC)로 탄소열환원 반응시키는 제 5-1 단계;
1,700 ~ 1,900℃의 온도 하에서 200 ~ 600 Kg/cm2로 가압시키는 제 5-2 단계; 및
200 ~ 600 Kg/cm2의 압력 하에서, 1,900 ~ 2,300℃의 온도로 승온시킨 후, 0
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7
제 5 항에 있어서, 상기 제 3 단계의 열 가교는 대기압 및 140 ~ 200℃ 온도 조건에서, 1 ~ 48 시간 동안 가열시키는 것을 특징으로 하는 제조방법
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8
제 5 항에 있어서, 상기 제 4 단계의 열 분해는 불활성 기체 또는 질소 분위기 하에서, 700 ~ 1,400℃ 온도로 30 분 ~ 3 시간 정도 가열시키는 것을 특징으로 하는 제조방법
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9
제 5 항 내지 제 8 항 중에서 선택된 어느 항의 제조방법으로 제조되고, 밀도 3
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