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액상의 규소화합물과 액상의 탄소화합물 및 금속 화합물을 혼합하여 혼합물을 제조한 뒤, 겔화시켜 겔화 조성물을 제조하는 단계;상기 겔화 조성물을 건조시켜 경화된 겔을 제조하는 단계;상기 경화된 겔을 1차 분쇄하여 겔 분말을 얻는 단계;상기 겔 분말을 1차 열처리하여 이산화규소-탄소 복합체를 제조하는 단계;상기 이산화규소-탄소 복합체를 2차 분쇄하여 복합체 분말을 제조하는 단계;상기 복합체 분말을 사용하여 성형체를 제조하는 단계; 및상기 성형체를 2차 열처리하여 다공질 탄화규소 소결체를 제조하는 단계; 를 포함하고,상기 액상의 탄소화합물은 용매 및 고상의 탄소원을 포함하고,상기 금속 화합물은 니켈 또는 크롬의 질산 수화물을 포함하고,상기 1차 열처리는 상기 경화된 겔 분말을 불활성 분위기 또는 진공 분위기하에서 700℃ 내지 1000℃의 온도에서 열처리하는 것인 열 탄소 환원 공정에 의한 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 겔화 조성물은 액상의 규소화합물, 액상의 탄소화합물 및 금속 화합물의 혼합물에 촉매제를 첨가하여 제조되는 것을 특징으로 하는 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 촉매제는 질산, 염산, 옥살산, 말레익 산, 아크릴 산, 초산, 톨루엔 설퍼닉 산 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 산(acid);암모니아수, 헥사메틸렌 테트라아민 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 염기(base); 및이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 액상의 규소화합물은 실리콘 알콕사이드 및 폴리 에틸실리케이트 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 것인 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 액상의 탄소화합물은 에탄올, 메탄올, 이소프로필알코올(Isopropyl alcohol, IPA) 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 용매에 고상의 탄소원을 분산시켜 제조된 것을 특징으로 하는 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 고상의 탄소원으로 카본블랙, 카본나노튜브, 페놀 수지, 단당류, 이당류 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 것인 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 액상의 탄소화합물은 상기 용매 30중량% 내지 100중량%; 및 탄소원 70중량% 이내를 포함하는 것인 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 액상의 규소화합물과 액상의 탄소화합물의 혼합물은 탄소/규소의 몰비(C/Si)가 1
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제1항에 있어서,상기 겔화 조성물을 제조하는 단계에서 액상의 규소화합물과 액상의 탄소화합물을 50RPM 내지 400RPM 의 속도로 20℃ 내지 60℃ 이내의 온도에서 30분 이상 교반하여 혼합하는 것을 특징으로 하는 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 경화된 겔을 제조하는 단계에서 겔화 조성물의 건조는 40℃ 내지 150℃ 의 온도에서 2시간 내지 72시간 동안 건조하는 것인 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 1차 열처리는 상기 경화된 겔 분말을 불활성 분위기 또는 진공 분위기하에서 0
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제1항에 있어서, 상기 성형체의 제조는 일축 가압성형, 주입성형 및 압출성형 중 선택된 적어도 하나에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 2차 열처리는 상기 성형체를 불활성 분위기 또는 진공 분위기하에서 1050℃ 내지 1300℃ 의 온도에서 1시간 내지 20시간 동안 열처리하는 것인 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 다공질 탄화규소 소결체의 압축 강도는 10Mpa 내지 30Mpa 이며, 기공율은 60% 내지 85% 이고, 비표면적은 50m2/g 내지 130m2/g 인 것을 특징으로 하는 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 다공질 탄화규소 소결체의 결정상은 베타상인 것을 특징으로 하는 다공질 탄화규소 소결체의 제조방법
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