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프리즘; 상기 프리즘 상에 배치된 금속 박막; 상기 금속 박막 상에 형성되어 국소 표면 플라즈몬 공명에 의한 여기장을 발생시키는 물질 패턴; 국소 표면 플라즈몬 공명에 의해 국소적으로 증폭된 근거리 여기장이 발생되는 지점인 핫스폿을 노출시켜 시료 물질의 접합 영역을 한정하도록 상기 물질 패턴과 금속 박막을 부분적으로 차단하는 마스크층; 상기 프리즘을 통해 상기 금속 박막으로 입사하는 입사광을 제공하는 광원; 및 상기 금속 박막에서 반사된 반사광을 감지하는 수광부를 포함하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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제1항에 있어서, 상기 프리즘과 금속 박막 사이에 배치된 투명 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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제1항에 있어서, 상기 물질 패턴은 선(wires), 섬(islands), 기둥(columns), 홀(holes), 다중 격자(multi-lattice) 패턴 또는 다층(multi-layer)의 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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제1항에 있어서, 상기 물질 패턴은 금속 패턴인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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제1항에 있어서, 상기 물질 패턴은 상기 금속 박막 상에서 서로 평행하게 일정한 주기로 배열된 금속 나노선인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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제1항에 있어서, 상기 마스크층은 유전체인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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제1항에 있어서, 상기 물질 패턴은 일정한 주기로 배열된 나노선이고, 상기 마스크층은 상기 나노선의 일측 또는 양측 엣지를 노출시키도록 형성된 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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투명 기판; 상기 투명 기판 상에 배치된 금속 박막; 상기 금속 박막 상에 형성되어 국소 표면 플라즈몬 공명에 의한 여기장을 발생시키는 물질 패턴; 및 국소 표면 플라즈몬 공명에 의해 국소적으로 증폭된 근거리 여기장이 발생되는 지점인 핫스폿을 노출시켜 시료 물질의 접합 영역을 한정하도록 상기 물질 패턴과 금속 박막을 부분적으로 차단하는 마스크층을 포함하는 표면 플라즈몬 공명 센서칩
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제8항에 있어서, 상기 물질 패턴은 선, 섬, 기둥, 홀, 다중 격자 패턴 또는 다층의 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서칩
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10
제8항에 있어서, 상기 물질 패턴은 금속 패턴인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서칩
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제8항에 있어서, 상기 물질 패턴은 상기 금속 박막 상에서 서로 평행하게 일정한 주기로 배열된 금속 나노선인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서칩
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제8항에 있어서, 상기 마스크층은 유전체인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서칩
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제8항에 있어서, 상기 물질 패턴은 일정한 주기로 배열된 나노선이고, 상기 마스크층은 상기 나노선의 일측 또는 양측 엣지를 노출시키도록 형성된 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서칩
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투명 기판 또는 프리즘 상에 금속 박막을 형성하는 단계; 상기 금속 박막 상에 국소 표면 플라즈몬 공명에 의한 여기장을 발생시키는 물질 패턴을 형성하는 단계; 및 시료 물질의 접합 영역을 핫스폿에 한정하도록 상기 물질 패턴과 금속 박막을 부분적으로 차단하는 마스크층을 형성하는 단계를 포함하는 표면 플라즈몬 공명 센서 소자의 제조 방법
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제14항에 있어서, 상기 물질 패턴을 형성하는 단계는, 선, 섬, 기둥, 홀, 다중 격자 패턴 또는 다층의 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 소자의 제조 방법
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제14항에 있어서, 상기 물질 패턴은 금속 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 소자의 제조 방법
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제14항에 있어서, 상기 마스크층을 형성하는 단계는, 상기 금속 박막과 물질 패턴에 대해 마스크층 물질의 기울임 증착을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 소자의 제조 방법
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제14항에 있어서, 상기 물질 패턴을 형성하는 단계는 상기 금속 박막 상에서 서로 평행하게 일정한 주기로 배열된 금속 나노선을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 소자의 제조 방법
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제18항에 있어서, 상기 마스크층은, 상기 나노선의 일측 또는 양측 엣지를 노출시키도록 형성되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 소자의 제조 방법
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제18항에 있어서, 상기 마스크층을 형성하는 단계는, 상기 금속 박막과 나노선에 대해 마스크층 물질의 기울임 증착을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 소자의 제조 방법
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