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평면 광회로 소자의 광연결 방법

  • 기술번호 : KST2014041218
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 평면광파 회로(Planar Lightwave Circuit;PLC) 소자의 제조시에 단일의 임프린트 금형을 사용하여 평면 광회로 소자와 광섬유 정렬을 위한 그루브(groove)를 동시에 제조하여 광결합을 할 수 있도록 한 평면 광회로 소자의 광연결 방법에 관한 것으로, 원형 실리콘 마스터(original master)를 사용하여 원형 복제 제 1 패턴을 형성하고, 원형 복제 제 1 패턴을 이용하여 원형 복제 제 2 패턴을 형성하는 단계;상기 원형 복제 제 2 패턴을 이용하여 하부 클레드를 형성하는 단계;상기 하부 클레드의 채널 캐비티에 코어층을 형성하고 상부 클레드를 적층하여 평면 광회로 디바이스 칩을 형성하는 단계;상기 원형 복제 제 1 패턴의 입,출력단을 절단하고 그루브에 광 파이버를 실장하는 단계;상기 광 파이버가 실장된 그루브와 상기 평면 광회로 디바이스 칩을 정렬하여 광결합하는 단계;를 포함한다.
Int. CL G02B 6/13 (2006.01) G02B 6/42 (2006.01)
CPC G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01)
출원번호/일자 1020100017243 (2010.02.25)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1086784-0000 (2011.11.18)
공개번호/일자 10-2011-0097411 (2011.08.31) 문서열기
공고번호/일자 (20111125) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.02.25)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정명영 대한민국 부산광역시 금정구
2 김창석 대한민국 부산광역시 남구
3 류진화 대한민국 울산광역시 남구
4 오승훈 대한민국 부산광역시 남구
5 이태호 대한민국 부산광역시 남구
6 조상욱 대한민국 경상남도 함양군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0125012-28
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0042458-96
4 보정요구서
Request for Amendment
2011.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0283567-98
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0412247-39
6 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2011.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0449977-06
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0789829-32
8 등록결정서
Decision to grant
2011.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0588738-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
1 1
원형 실리콘 마스터(original master)를 사용하여 원형 복제 제 1 패턴을 형성하고, 원형 복제 제 1 패턴을 이용하여 원형 복제 제 2 패턴을 형성하는 단계;상기 원형 복제 제 2 패턴을 이용하여 하부 클레드를 형성하는 단계;상기 하부 클레드의 채널 캐비티에 코어층을 형성하고 상부 클레드를 적층하여 평면 광회로 디바이스 칩을 형성하는 단계;상기 원형 복제 제 1 패턴의 입,출력단을 절단하고 그루브에 광 파이버를 실장하는 단계;상기 광 파이버가 실장된 그루브와 상기 평면 광회로 디바이스 칩을 정렬하여 광결합하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 광회로 소자의 광연결 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 원형 실리콘 마스터(original master)는, 직선 다채널 또는 스플리터(splitter) 구조를 갖는 포지티브 타입용 임프린트 마스터인 것을 특징으로 하는 평면 광회로 소자의 광연결 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 원형 복제 제 1 패턴을,열가소성 고분자 물질을 사용하여 열가소성 고분자의 유리전이 온도보다 10℃ ~ 50℃ 높은 온도에서 10bar ~ 30bar의 압력으로 핫 엠보싱(Hot embossing) 공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 평면 광회로 소자의 광연결 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 원형 복제 제 2 패턴을 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane;PDMS) 고분자 물질을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 평면 광회로 소자의 광연결 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 하부 클레드를 형성하는 단계는,상기 원형 복제 제 2 패턴의 표면 위에 자외선 큐어블 레진(UV curable resin)을 도포하는 공정,자외선에 노광 공정을 수행하여 상기 자외선 큐어블 레진(UV curable resin)을 액체 상태에서 고체 상태로 경화시키는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평면 광회로 소자의 광연결 방법
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 자외선 큐어블 레진(UV curable resin)에 의하여 제작된 패턴은 상기 원형 복제 제 1 패턴의 패턴 형상 및 치수를 복원하게 되며 평면 광회로 디바이스 칩의 하부 클레드로 사용되는 것을 특징으로 하는 평면 광회로 소자의 광연결 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 그루브에 실장된 광 파이버와 상기 평면 광회로 디바이스 칩의 코어는 결합되는 부분의 코어 치수와 피치가 동일한 것을 특징으로 하는 평면 광회로 소자의 광연결 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국과학재단 특정기초연구 Nano optical antenna/Optical wire 기반의 신개념 광 연결 연구