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그래핀 박막과 나노 입자를 이용한 광검출기 및 그 제조 방법
- 기술번호 : KST2014044069
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 그래핀 박막과 나노 입자를 이용한 광검출기 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 광검출기는, 기상 탄소 공급원을 이용한 그래핀 증착을 통해 제작한 시트 형상의 그래핀 박막; 및 상기 그래핀 박막 위에 형성되며 상기 그래핀 박막의 전극 영역을 정의하도록 패터닝되어 있고 매트릭스 물질 없이 나노 입자로 이루어진 나노 입자층을 포함한다. 이러한 광검출기는 그래핀 박막을 채널 및 전극으로 사용하고 나노 입자를 광기전력 물질(자외선에 의한 광기전력으로 전자-정공쌍을 형성)로 사용하는 수평형 구조이며 매우 간단한 구조이므로 저비용으로 제조할 수 있어 생산성이 높을 뿐만 아니라, 그래핀 박막을 포함함에 따라 저전력화할 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 31/08 (2006.01.01) B82B 1/00 (2017.01.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020090078054 (2009.08.24) |
| 출원인 | 한양대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1154347-0000 (2012.06.01) |
| 공개번호/일자 | 10-2011-0020443 (2011.03.03) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20120613) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.08.24) |
| 심사청구항수 | 10 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한양대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성동구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김태환 | 대한민국 | 서울특별시 마포구 |
| 2 | 정재훈 | 대한민국 | 서울특별시 광진구 |
| 3 | 손동익 | 대한민국 | 서울특별시 마포구 |
| 4 | 이정민 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
| 5 | 양희연 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 |
| 6 | 박원일 | 대한민국 | 서울특별시 노원구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 송경근 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김태환 | 서울특별시 강남구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0515552-39 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2011.01.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2011.02.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0015474-94 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.03.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0129250-52 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.04.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0315380-06 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.11.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0701883-05 |
| 7 | [명세서등 보정] 보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.01.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0059867-24 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견] 의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.01.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0059840-03 |
| 9 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.05.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0261716-24 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기상 탄소 공급원을 이용한 그래핀 증착을 통해 제작한 시트 형상의 그래핀 박막; 및상기 그래핀 박막 위에 형성되며 상기 그래핀 박막의 전극 영역을 정의하도록 패터닝되어 있고 매트릭스 물질 없이 나노 입자로 이루어진 나노 입자층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광검출기 |
| 2 |
2 제1항에 있어서, 상기 나노 입자는 ZnO, CuO, BaCO3, Bi2O3, B2O3, CaCO3, CeO2, Cr2O3, Fe2O3, Ga2O3, In2O3, Li2CO3, LiCoO2, MgO, MnCO3, MnO2, Mn3O4, Nb2O5, PbO, Sb2O3, SnO2, SrCO3, Ta2O5, TiO2, BaTiO3, V2O5, WO3, ZrO2, GaN, AlxGa1-xN, SiC 및 ZnS 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광검출기 |
| 3 |
3 기상 탄소 공급원을 이용한 그래핀 증착을 통해 시트 형상의 그래핀 박막을 제작하는 단계; 및상기 그래핀 박막 위에 상기 그래핀 박막의 전극 영역을 정의하도록 패터닝되어 있고 매트릭스 물질 없이 나노 입자로 이루어진 나노 입자층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광검출기 제조 방법 |
| 4 |
4 제3항에 있어서, 상기 나노 입자층을 형성하는 단계는,나노 입자가 분산되어 있는 용액을 준비하는 단계;상기 그래핀 박막 위에 상기 나노 입자가 분산되어 있는 용액을 스핀 코팅한 후 건조시켜 매트릭스 물질 없이 나노 입자로 이루어진 나노 입자층을 형성하는 단계; 및상기 그래핀 박막의 전극 영역을 정의하도록 상기 나노 입자층을 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광검출기 제조 방법 |
| 5 |
5 제3항에 있어서, 상기 나노 입자층을 형성하는 단계는,나노 입자가 분산되어 있는 용액을 준비하는 단계;상기 그래핀 박막 위에 상기 그래핀 박막의 전극 영역을 가리는 마스크를 형성하는 단계;상기 마스크가 형성된 그래핀 박막 위에 상기 나노 입자가 분산되어 있는 용액을 스핀 코팅한 후 건조시켜 매트릭스 물질 없이 나노 입자로 이루어진 나노 입자층을 형성하는 단계; 및상기 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광검출기 제조 방법 |
| 6 |
6 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 나노 입자가 분산되어 있는 용액을 준비하는 단계는,DMF(N,N-Dimethylformamide)에 금속 아세테이트 디하이드레이트(acetate dihydrate)를 용해시켜 혼합 용액을 형성하는 단계; 및상기 혼합 용액을 가열한 후, 가열 온도를 단계적으로 낮추어 나노 입자를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광검출기 제조 방법 |
| 7 |
7 제6항에 있어서,상기 나노 입자는 ZnO, CuO, BaCO3, Bi2O3, B2O3, CaCO3, CeO2, Cr2O3, Fe2O3, Ga2O3, In2O3, Li2CO3, LiCoO2, MgO, MnCO3, MnO2, Mn3O4, Nb2O5, PbO, Sb2O3, SnO2, SrCO3, Ta2O5, TiO2, BaTiO3, V2O5, WO3 및 ZrO2 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광검출기 제조 방법 |
| 8 |
8 제3항에 있어서, 상기 그래핀 박막을 제작하는 단계는,그래파이트화 금속막이 형성된 기판을 챔버 내에 장입하는 단계;상기 챔버 내에서 상기 그래파이트화 금속막 및 기판 중 적어도 어느 하나에 전류를 흘려 그 때의 전열 효과에 의해 상기 그래파이트화 금속막을 가열하는 단계;상기 그래파이트화 금속막이 가열되는 상태에서 상기 챔버 내에 기상 탄소 공급원을 공급하여 상기 그래파이트화 금속막 안에 탄소 성분을 고용시키는 단계; 상기 전류의 양을 조절하여 상기 그래파이트화 금속막을 제어된 속도로 냉각시킴으로써 상기 그래파이트화 금속막 안에 고용시킨 탄소 성분으로부터 상기 그래파이트화 금속막 표면에 그래핀을 석출시키는 단계; 및산처리에 의해 상기 그래파이트화 금속막을 제거함으로써, 석출된 그래핀을 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광검출기제조 방법 |
| 9 |
9 제8항에 있어서, 상기 기상 탄소 공급원은 CH4 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 광검출기 제조 방법 |
| 10 |
10 제8항에 있어서, 상기 그래핀을 석출시키는 동안 상기 그래파이트화 금속막의 냉각 속도는 초당 1 ~ 50℃인 것을 특징으로 하는 광검출기 제조 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US08598568 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US20120161106 | US | 미국 | FAMILY |
| 3 | WO2011025216 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
| 4 | WO2011025216 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2012161106 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | US8598568 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 3 | WO2011025216 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 4 | WO2011025216 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 과학기술부 | 과학기술부(한국과학재단) | 기초과학연구사업(우수연구리더육성) | 복합형 나노 양자 구조를 이용한 차세대 비휘발성 메모리 소자 및 발광 소자를 위한 나노 물리, 나노 소재 및 소자에 대한 연구 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1154347-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090824 출원 번호 : 1020090078054 공고 연월일 : 20120613 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120503 청구범위의 항수 : 10 유별 : H01L 31/0248 발명의 명칭 : 그래핀 박막과 나노 입자를 이용한 광검출기 및 그 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구... |
| 2 |
(의무자) 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구... |
| 2 |
(권리자) 김태환 서울특별시 강남구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 217,500 원 | 2012년 06월 01일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 182,000 원 | 2015년 04월 06일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 182,000 원 | 2016년 04월 18일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 182,000 원 | 2017년 06월 01일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 254,400 원 | 2018년 07월 26일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 247,200 원 | 2019년 06월 10일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2020년 05월 13일 | 납입 |
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- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0515552-39 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2011.01.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2011.02.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0015474-94 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2011.03.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0129250-52 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.04.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0315380-06 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2011.11.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0701883-05 |
| 7 | [명세서등 보정] 보정서 | 2012.01.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0059867-24 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견] 의견(답변, 소명)서 | 2012.01.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0059840-03 |
| 9 | 등록결정서 | 2012.05.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0261716-24 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
| 기술번호 | KST2014044069 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한양대학교 |
| 기술명 | 그래핀 박막과 나노 입자를 이용한 광검출기 및 그 제조 방법 |
| 기술개요 |
그래핀 박막과 나노 입자를 이용한 광검출기 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 광검출기는, 기상 탄소 공급원을 이용한 그래핀 증착을 통해 제작한 시트 형상의 그래핀 박막; 및 상기 그래핀 박막 위에 형성되며 상기 그래핀 박막의 전극 영역을 정의하도록 패터닝되어 있고 매트릭스 물질 없이 나노 입자로 이루어진 나노 입자층을 포함한다. 이러한 광검출기는 그래핀 박막을 채널 및 전극으로 사용하고 나노 입자를 광기전력 물질(자외선에 의한 광기전력으로 전자-정공쌍을 형성)로 사용하는 수평형 구조이며 매우 간단한 구조이므로 저비용으로 제조할 수 있어 생산성이 높을 뿐만 아니라, 그래핀 박막을 포함함에 따라 저전력화할 수 있다. |
| 개발상태 | 기술개발진행중 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 의료 및 군사 분야 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345099944 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2007-0056638 |
| 연구과제명 | 복합형나노양자구조를이용한차세대비휘발성메모리소자및발광소자를위한나노물리,나노소재및소자에대한연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한양대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200707~201206 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345099944 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2007-0056638 |
| 연구과제명 | 복합형나노양자구조를이용한차세대비휘발성메모리소자및발광소자를위한나노물리,나노소재및소자에대한연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한양대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200707~201206 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1485007312 |
|---|---|
| 세부과제번호 | EW-07-1-02 |
| 연구과제명 | 자연형하상복원및육역화관리기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 환경부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국환경기술진흥원 |
| 연구주관기관명 | 현대건설 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200802~201405 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
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| [KST2016005904][한양대학교] | 온도에 따라 가역적으로 계면특성 조절이 가능한 비구형 양친성 이량체 나노입자 및 이를 포함하는 조성물(Non-spherical amphiphilic dimeric nanoparticles which can reversibly change the interfacial properties with temperatures) | 새창보기 |
| [KST2014042578][한양대학교] | 탄소나노튜브 3차원 네트워크를 포함하는 유무기 복합체, 그 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 전자소자 | 새창보기 |
| [KST2019030866][한양대학교] | 그래핀-양자점 나노 복합구조 및 이의 제조방법, 이를 포함하는 태양전지 | 새창보기 |
| [KST2015141341][한양대학교] | 폴리도파민/메톡시폴리에틸렌글리콜 유도체가 코팅된 탄소나노튜브 및 그 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2016006867][한양대학교] | 온도에 따라 가역적으로 색 및 광신호 변화를 조절할 수 있는 플라즈몬 나노입자-고분자 하이드로젤 나노입자로 구성된 나노복합체(Nanocomposites comprising plasmonic and polymer hydrogel nanoparticles, and their reversible color/optical switching with temperature changes) | 새창보기 |
| [KST2021005224][한양대학교] | 폴리포스파이드 전구체의 제조방법, 결정성 적린 박막의 제조방법 및 전자 소자 응용 | 새창보기 |
| [KST2014042316][한양대학교] | 탄소나노튜브 3차원 네트워크를 포함하는 고분자 복합체, 그 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 스트레인 센서 | 새창보기 |
| [KST2018013720][한양대학교] | 플라즈몬 나노입자의 하이드로겔 콜로이드 결정 단층막 표면에 자기회합을 통한 2차원 하이브리드 나노패턴 구조체 | 새창보기 |
| [KST2014060004][한양대학교] | 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치 및 방법 | 새창보기 |
| [KST2015141136][한양대학교] | 산화아연 나노로드 - 그래핀 박막의 하이브리드 구조체 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
| [KST2015142654][한양대학교] | 배기가스 처리장치 | 새창보기 |
| [KST2015141946][한양대학교] | 다양한 기판 상에 직접 성장된 산화세륨 초발수 나노/마이크로 구조체 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2014022102][한양대학교] | 분자 모터 및 그 기계적 성능의 개선 방법 | 새창보기 |
| [KST2015142712][한양대학교] | 산화티타늄／금속나노입자／탄소나노구조체를 포함하는 나노복합체, 그 제조 방법 및 이를 이용한 태양전지 전극 | 새창보기 |
| [KST2021007769][한양대학교] | 그래핀 양자점이 흡착된 산화그래핀 나노채널 | 새창보기 |
| [KST2015142499][한양대학교] | 미세 구조체를 갖는 기판 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
| [KST2015141895][한양대학교] | 그래핀 나노 구조체 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
| [KST2017013516][한양대학교] | 플라즈몬 나노입자와 수화젤 입자로 구성된 나노입자 복합체의 패턴화 및 패턴화된 나노구조체의 제조, 이를 통한 광학적 신호 및 SERS 신호의 조절(Patterining of nanocomposite colloids comprising plasmon nanoparticles and hydrogel nanoparticles, and Patterned hybrid nanostructures which can reversibly modulate optical signal and surface enhanced Raman scattering(SERS) signals) | 새창보기 |
| [KST2015141838][한양대학교] | 내부 직경이 조절된 이모골라이트 나노튜브의 제조방법 및 이에 따라 제조된 이모골라이트 나노튜브 | 새창보기 |
| [KST2021006890][한양대학교] | 전이금속 디칼코겐 화합물 기반 광검출기 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
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