요약 | 고분자 박막 안에 포함된 나노입자가 전하 포획영역으로 작용하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자는 반도체 기판, 반도체 기판 상에 형성되는 제1전극, 제1전극 상에 형성되고 나노입자가 포함된 고분자 박막, 및 나노입자가 포함된 고분자 박막 상에 형성된 제2전극을 포함한다. 여기서, 나노입자의 가전자대에서 가장 높은 에너지준위(Ev)와 고분자에서 전자가 채워져 있는 가장 높은 에너지준위(EHOMO)의 차이가 나노입자의 전도대에서 가장 낮은 에너지준위(Ec)와 고분자에서 전자가 비어 있는 가장 낮은 에너지준위(ELUMO)의 차이보다 작고, 제1전극의 페르미준위(EF1)가 제2전극의 페르미준위(EF2)보다 작으며, 고분자의 ELUMO와 제2전극의 페르미준위(EF2)의 차이가 제1전극의 페르미준위(EF1)와 고분자의 EHOMO의 차이보다 큰 것이 특징이다. 본 발명에 따르면, 구동전압이 낮아서 소비전력이 작고 낮은 읽기 전압에서도 기억상태에 따른 전류의 차이를 백 배까지 낼 수 있는 소자의 제조가 가능하다. 그리고 소자 재현성이 높으며, 소자구조가 저항 형태를 가지는 매우 간단한 구조이기 때문에 공정비용이 절감된다. |
---|---|
Int. CL | H01L 27/115 (2017.01.01) B82Y 10/00 (2017.01.01) |
CPC | H01L 51/0032(2013.01) H01L 51/0032(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020070039743 (2007.04.24) |
출원인 | 한양대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-0904898-0000 (2009.06.19) |
공개번호/일자 | 10-2008-0095376 (2008.10.29) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20090629) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | 심판사항 |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2007.04.24) |
심사청구항수 | 16 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한양대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성동구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김태환 | 대한민국 | 서울특별시 마포구 |
2 | 푸샨리 | 중국 | 서울시 성동구 |
3 | 정재훈 | 대한민국 | 서울특별시 광진구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 임승섭 | 대한민국 | 서울특별시 종로구 율곡로*길 *(수송동, 로얄팰리스스위트) ***호(특허법인임앤정) |
2 | 송경근 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 | 서울특별시 강남구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 Patent Application |
2007.04.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0308901-02 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2008.03.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5037763-28 |
3 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2008.03.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0150794-77 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.05.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0353922-39 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2008.09.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0480577-72 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.11.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0791338-36 |
7 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2009.03.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0109458-24 |
8 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2009.04.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2009-0017316-18 |
9 | 등록결정서 Decision to grant |
2009.06.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0248312-49 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 반도체 기판; 상기 반도체 기판 상에 형성되는 제1전극; 상기 제1전극 상에 형성되고 나노입자가 포함된 고분자 박막; 및 상기 나노입자가 포함된 고분자 박막 상에 형성된 제2전극;을 포함하고, 온/오프(on/off) 전류 비율을 크게 하고, 구동전압을 작게 하기 위해, 상기 나노입자의 가전자대에서 가장 높은 에너지준위(Ev)와 상기 고분자에서 전자가 채워져 있는 가장 높은 에너지준위(EHOMO)의 차이가 상기 나노입자의 전도대에서 가장 낮은 에너지준위(Ec)와 상기 고분자에서 전자가 비어 있는 가장 낮은 에너지준위(ELUMO)의 차이보다 작고, 상기 제1전극의 페르미준위(EF1)가 상기 제2전극의 페르미준위(EF2)보다 작으며, 상기 고분자의 ELUMO와 상기 제2전극의 페르미준위(EF2)의 차이가 상기 제1전극의 페르미준위(EF1)와 상기 고분자의 EHOMO의 차이보다 큰 것을 특징으로 하는, 고분자 박막 안에 포함된 나노입자가 전자 포획영역으로 작용하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 |
2 |
2 제1항에 있어서, 상기 고분자는 PVK(poly-N-vinylcarbazole) 또는 MEH-PPV(poly(2-methhoxy-5-(2-ethylhexyloxy)-1,4-pheneylenevinylene)) 중 하나인 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 |
3 |
3 제1항에 있어서, 상기 나노입자는 CdSe인 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 |
4 |
4 제1항에 있어서, 상기 나노입자는 중심이 CdSe이고 표면이 ZnS로 된 코어(core)-쉘(shell) 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 |
5 |
5 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1전극은 ITO(indium-tin-oxide)인 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 |
6 |
6 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2전극은 알루미늄(Al), 은(Ag), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 마그네슘-은(MgAg) 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 |
7 |
7 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1전극과 상기 제2전극은 서로 교차되어 형성된 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 |
8 |
8 (a) 반도체 기판 상에 제1전극을 형성하는 단계; (b) 상기 제1전극 상에 나노입자가 포함된 고분자 박막을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 나노입자가 포함된 고분자 박막 상에 제2전극을 형성하는 단계;를 포함하고, 온/오프(on/off) 전류 비율을 크게 하고, 구동전압을 작게 하기 위해, 상기 나노입자의 가전자대에서 가장 높은 에너지준위(Ev)와 상기 고분자에서 전자가 채워져 있는 가장 높은 에너지준위(EHOMO)의 차이가 상기 나노입자의 전도대에서 가장 낮은 에너지준위(Ec)와 상기 고분자에서 전자가 비어 있는 가장 낮은 에너지준위(ELUMO)의 차이보다 작고, 상기 제1전극의 페르미준위(EF1)가 상기 제2전극의 페르미준위(EF2)보다 작으며, 상기 고분자의 ELUMO와 상기 제2전극의 페르미준위(EF2)의 차이가 상기 제1전극의 페르미준위(EF1)와 상기 고분자의 EHOMO의 차이보다 큰 것을 특징으로 하는, 고분자 박막 안에 포함된 나노입자가 전자 포획영역으로 작용하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 제조방법 |
9 |
9 제8항에 있어서, 상기 (b) 단계는, (d) 용매에 상기 나노입자와 상기 고분자를 혼합하여 혼합용액을 형성하는 단계; (e) 상기 제1전극 상에 상기 혼합용액을 스핀코팅하는 단계; 및 (f) 상기 스핀코팅된 혼합용액으로부터 용매를 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 제조방법 |
10 |
10 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 고분자는 PVK 또는 MEH-PPV 중 하나인 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 제조방법 |
11 |
11 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 나노입자는 CdSe인 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 제조방법 |
12 |
12 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 나노입자는 중심이 CdSe이고 표면이 ZnS로 된 코어-쉘 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 제조방법 |
13 |
13 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 제1전극은 ITO인 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 제조방법 |
14 |
14 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 제2전극은 알루미늄(Al), 은(Ag), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 마그네슘-은(MgAg) 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 제조방법 |
15 |
15 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 제1전극과 상기 제2전극은 서로 교차되게 형성하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 제조방법 |
16 |
16 제9항에 있어서, 상기 용매는 1,2-dicloroethane(C2H4Cl2), 톨루엔, 아세톤, 클로로포름, 에틸렌글리콜 및 크실렌 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 제조방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-0904898-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20070424 출원 번호 : 1020070039743 공고 연월일 : 20090629 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20090611 청구범위의 항수 : 16 유별 : H01L 27/115 발명의 명칭 : 고분자 박막 안에 포함된 나노입자가 전하 포획영역으로작용하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20140620 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한양대학교 산학협력단 서울 성동구... |
2 |
(권리자) 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구... |
2 |
(의무자) 한양대학교 산학협력단 서울 성동구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 334,500 원 | 2009년 06월 19일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 392,000 원 | 2012년 04월 06일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 392,000 원 | 2013년 04월 10일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 | 2007.04.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0308901-02 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2008.03.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5037763-28 |
3 | 의견제출통지서 | 2008.03.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0150794-77 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.05.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0353922-39 |
5 | 의견제출통지서 | 2008.09.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0480577-72 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.11.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0791338-36 |
7 | 거절결정서 | 2009.03.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0109458-24 |
8 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2009.04.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2009-0017316-18 |
9 | 등록결정서 | 2009.06.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0248312-49 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
기술번호 | KST2014047386 |
---|---|
자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 한양대학교 |
기술명 | 고분자 박막 안에 포함된 나노입자가 전하 포획영역으로 작용하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 및 그 제조방법 |
기술개요 |
고분자 박막 안에 포함된 나노입자가 전하 포획영역으로 작용하는 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자는 반도체 기판, 반도체 기판 상에 형성되는 제1전극, 제1전극 상에 형성되고 나노입자가 포함된 고분자 박막, 및 나노입자가 포함된 고분자 박막 상에 형성된 제2전극을 포함한다. 여기서, 나노입자의 가전자대에서 가장 높은 에너지준위(Ev)와 고분자에서 전자가 채워져 있는 가장 높은 에너지준위(EHOMO)의 차이가 나노입자의 전도대에서 가장 낮은 에너지준위(Ec)와 고분자에서 전자가 비어 있는 가장 낮은 에너지준위(ELUMO)의 차이보다 작고, 제1전극의 페르미준위(EF1)가 제2전극의 페르미준위(EF2)보다 작으며, 고분자의 ELUMO와 제2전극의 페르미준위(EF2)의 차이가 제1전극의 페르미준위(EF1)와 고분자의 EHOMO의 차이보다 큰 것이 특징이다. 본 발명에 따르면, 구동전압이 낮아서 소비전력이 작고 낮은 읽기 전압에서도 기억상태에 따른 전류의 차이를 백 배까지 낼 수 있는 소자의 제조가 가능하다. 그리고 소자 재현성이 높으며, 소자구조가 저항 형태를 가지는 매우 간단한 구조이기 때문에 공정비용이 절감된다. |
개발상태 | 기술개발진행중 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 비휘발성 유기 쌍안정성 기억소자 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1340012869 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A1612 |
연구과제명 | 수요지향적정보기술전문인력양성사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 한양대학교 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200603~201202 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1345099944 |
---|---|
세부과제번호 | 2007-0056638 |
연구과제명 | 복합형나노양자구조를이용한차세대비휘발성메모리소자및발광소자를위한나노물리,나노소재및소자에대한연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한양대학교 |
성과제출연도 | 2009 |
연구기간 | 200707~201206 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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번호 | 심판번호(숫자) | 심판번호(문자) | 사건의표시 | 청구일 | 심결일자 |
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1 | 2009101003315 | 2009원3315 | 2007년 특허출원 제0039743호 거절결정불복심판 | 2009.04.10 | 2009.06.11 |