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1
기판;
픽셀 단위 면적당 포토다이오드 면적 비율을 감소시켜 소정의 값 이하의 면적을 가지는 포토 다이오드를 중앙부에 배치하고, 상기 기판 위의 각각의 픽셀에 대응하는 복수의 이미지 센서;
상기 복수의 이미지 센서 각각의 포토 다이오드 위에 접합된 마이크로 렌즈; 및
상기 마이크로 렌즈 위에 증착되어 픽셀화된 섬광체를 포함하고,
상기 마이크로 렌즈는 상기 각각의 픽셀에 고르게 배열되도록 접합된 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 센서 장치
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2
제 1 항에 있어서,
상기 마이크로 렌즈는
상기 섬광체에서 발생한 빛이 상기 복수의 이미지 센서 각각의 포토 다이오드의 중심에 모이도록 배치되는 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 센서 장치
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3
제 1 항에 있어서,
상기 마이크로 렌즈는 평철(Plano-convex) 렌즈 형태인 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 센서 장치
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4
제 1 항에 있어서,
상기 섬광체는 미세 기둥 형태로 증착된 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 센서 장치
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5
제 4 항에 있어서,
상기 섬광체는
상기 마이크로 렌즈 위에 가장자리 보다 중앙이 더 높은 형태로 밀집되어 증착된 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 센서 장치
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6
제 1 항에 있어서,
상기 섬광체는 형성소재가 CsI, CsI(Tl) 또는 CsI(Na) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 센서 장치
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7
엑스선 디지털 이미지 센서 장치;
상기 엑스선 디지털 이미지 센서 장치에서 발생하는 전하량에 대응하는 전압을 발생시키는 전하 전압 컨버터;
상기 전압에 대응하는 디지털 데이터를 생성하는 아날로그 디지털 컨버터;
상기 디지털 데이터를 이용하여 엑스선 이미지를 생성하는 이미지 프로세서를 포함하고,
상기 엑스선 디지털 이미지 센서 장치는
기판;
픽셀 단위 면적당 포토다이오드 면적 비율을 감소시켜 소정의 값 이하의 면적을 가지는 포토 다이오드를 중앙부에 배치하며, 상기 기판 위에서 각각의 픽셀에 대응하여 입사된 엑스선에 상응하는 전하량을 발생시키는 복수의 이미지 센서;
상기 복수의 이미지 센서 각각의 포토 다이오드 위에 접합된 마이크로 렌즈; 및
상기 마이크로 렌즈 위에 증착되어 픽셀화된 섬광체를 포함하고,
상기 마이크로 렌즈는 상기 각각의 픽셀에 고르게 배열되도록 접합된 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 장치
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8
제 7 항에 있어서,
상기 마이크로 렌즈는
상기 섬광체에서 발생한 빛이 상기 복수의 이미지 센서 각각의 포토 다이오드의 중심에 모이도록 배치되는 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 장치
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9
제 7 항에 있어서,
상기 섬광체는 미세 기둥 형태으로 증착된 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 장치
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10
제 7 항에 있어서,
상기 섬광체는 박막 형태으로 증착된 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 장치
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11
픽셀 단위 면적당 포토다이오드 면적 비율을 감소시켜 소정의 값 이하의 면적을 가지는 포토 다이오드를 중앙부에 배치하는 복수의 이미지 센서를 각각의 픽셀에 대응하여 기판 위에 형성하는 단계;
상기 복수의 이미지 센서 각각의 포토 다이오드 위에 마이크로 렌즈가 상기 각각의 픽셀에 고르게 배열되도록 접합하는 단계; 및
상기 마이크로 렌즈 위에 픽셀화된 섬광체를 증착하는 단계를 포함하는, 엑스선 디지털 이미지 센서 제조 방법
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12
제 11 항에 있어서,
상기 섬광체를 증착하는 단계는
물리적 증기 증착(Physical Vapor Deposition; PVD)법을 사용하여 섬광체를 미세 기둥 형태로 제작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 엑스선 디지털 이미지 센서 제조 방법
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