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모놀리식 집적에 따른 이종 접합 구조의 이미지 센서 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022008500
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 다양한 실시예들은 모놀리식 집적에 따른 이종 접합 구조의 이미지 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 회로 소자, 및 지지 기판 및 지지 기판 상에 적층된 활성층을 포함하는 광다이오드 소자를 준비하고, 지지 기판과 활성층이 반전되도록 회전시켜, 회로 소자 상에 활성층을 접합시키고, 활성층으로부터 지지 기판을 제거함으로써, 이미지 센서가 제조될 수 있다.
Int. CL H01L 27/146 (2006.01.01)
CPC H01L 27/14634(2013.01) H01L 27/14643(2013.01) H01L 27/14636(2013.01) H01L 27/1469(2013.01)
출원번호/일자 1020200172969 (2020.12.11)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0083092 (2022.06.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.12.11)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상현 대전광역시 유성구
2 금대명 대전광역시 유성구
3 강기범 대전광역시 유성구
4 김수현 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2020-1345059-36
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2022.03.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이종 접합 구조의 이미지 센서에 있어서, 상호로부터 이격되어 배열되는 복수의 애노드들을 포함하는 회로 소자; 및상기 애노드들에 각각 접합되고, 입사되는 광에 대한 전기 에너지를 각각 발생시키는 복수의 활성 엘리먼트들을 포함하는, 이미지 센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 애노드들과 상기 활성 엘리먼트들 사이에 개재되어, 상기 애노드들과 상기 활성 엘리먼트들을 전기적으로 연결하는 전극 엘리먼트들을 더 포함하는,이미지 센서
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 회로 소자는, 상기 애노드들로부터 이격되어 배치되는 캐소드를 더 포함하는,이미지 센서
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 활성 엘리먼트들을 사이에 두고 상기 회로 소자의 맞은 편에서 상기 활성 엘리먼트들에 부착되고, 상기 캐소드에 전기적으로 연결되는 접합층을 더 포함하는,이미지 센서
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 접합층과 상기 캐소드를 연결하여, 상기 캐소드와 상기 활성 엘리먼트들을 전기적으로 연결하는 연결 부재를 더 포함하는,이미지 센서
6 6
제 3 항에 있어서, 상기 회로 소자는, 일 면에 상기 애노드들 및 상기 캐소드가 부착되고, 상기 애노드들 및 상기 캐소드와 전기적으로 연결되는 내부 회로를 갖고, 상기 활성 엘리먼트들의 각각으로부터의 상기 전기 에너지에 기반하여, 이미지를 검출하도록 구성되는 회로 기판을 더 포함하는,이미지 센서
7 7
제 4 항에 있어서, 상기 접합층은,투명한 재료로 형성되는,이미지 센서
8 8
제 4 항에 있어서, 상기 활성 엘리먼트들은,III-V족 원소, VI족 원소 또는 II-VI족 원소 중 적어도 하나로 형성되고,상기 접합층은,전이금속 디칼코게나이드(transition metal dichalcogenide; TMD)로 형성되는, 이미지 센서
9 9
이종 접합 구조의 이미지 센서의 제조 방법에 있어서, 회로 소자, 및 지지 기판 및 상기 지지 기판 상에 적층된 활성층을 포함하는 광다이오드 소자를 준비하는 단계;상기 지지 기판과 활성층이 반전되도록 회전시켜, 상기 회로 소자 상에 상기 활성층을 접합시키는 단계; 및상기 활성층으로부터 상기 지지 기판을 제거하는 단계를 포함하는, 방법
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 회로 소자는,상기 활성층이 접합되고, 상호로부터 이격되어 배열되는 복수의 애노드들을 포함하는,방법
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 광다이오드 소자의 상기 활성층 상에 전극층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 방법
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 회로 소자 상에 상기 활성층을 접합시키는 단계는,상기 전극층을 상기 애노드들에 접촉시켜, 상기 전극층을 통해 상기 애노드들과 상기 활성층을 접합시키는,방법
13 13
제 10 항에 있어서, 상기 지지 기판이 제거된 후에, 상기 활성층을 부분적으로 제거하여, 상기 활성층으로부터 상기 애노드들에 각각 접합되는 복수의 활성 엘리먼트들을 형성하는 단계를 더 포함하는, 방법
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 활성 엘리먼트들 상에 접합층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 방법
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 지지 기판이 제거된 후에, 상기 활성층의 일부를 제거하여, 상기 캐소드를 노출시키는 단계를 더 포함하는, 방법
16 16
제 15 항에 있어서, 연결 부재를 이용하여, 상기 접합층과 상기 캐소드를 연결하는 단계 를 더 포함하는, 방법
17 17
제 13 항에 있어서, 상기 활성 엘리먼트들의 각각은,입사되는 광에 대한 전기 에너지를 발생시키는,방법
18 18
제 17 항에 있어서, 상기 회로 소자는, 일 면에 상기 애노드들 및 상기 캐소드가 부착되고, 상기 애노드들 및 상기 캐소드와 전기적으로 연결되는 내부 회로를 갖고, 상기 활성 엘리먼트들의 각각으로부터의 상기 전기 에너지에 기반하여, 이미지를 검출하도록 구성되는 회로 기판을 더 포함하는,방법
19 19
제 14 항에 있어서, 상기 접합층은,투명한 재료로 형성되는,방법
20 20
제 14 항에 있어서, 상기 활성 엘리먼트들은,III-V족 원소, VI족 원소 또는 II-VI족 원소 중 적어도 하나로 형성되고,상기 접합층은,전이금속 디칼코게나이드(TMD)로 형성되는, 방법
지정국 정보가 없습니다
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