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플렉서블 이차전지 제조방법, 이에 따라 제조된 플렉서블 이차전지

  • 기술번호 : KST2014046965
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플렉서블 이차전지 제조방법, 이에 따라 제조된 플렉서블 이차전지가 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 이차전지 제조방법은 희생 기판상에 전극물질을 포함하는 이차전지 소자를 적층하는 단계; 상기 소자를 고온 처리하여 상기 전극물질을 결정화하는 단계; 상기 이차전지 소자 하부의 희생기판을 식각하여, 상기 이차전지 소자를 상기 희생기판으로부터 분리하는 단계; 및 상기 분리된 이차전지 소자를 전사층을 이용하여 플렉서블 기판으로 전사시키는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 플렉서블 이차전지 제조방법은 실리콘 기판과 같은 딱딱한 희생기판 상에 이차전지를 제조한 후, 이를 고온처리함으로써 이차전지의 특성을 향상시킬 수 있고, 또한 플렉서블 기판에 따른 공정상의 제약을 피할 수 있다. 더 나아가, 대면적인 경우, 이차전지의 복수 지점으로부터 동시에 비등방 식각을 진행한 후, 하부 희생기판을 제거하는 방식에 의하여 대면적 플렉서블 이차전지의 구현이 가능하다.
Int. CL H01M 4/04 (2006.01) H01M 10/38 (2006.01)
CPC H01M 10/0585(2013.01) H01M 10/0585(2013.01) H01M 10/0585(2013.01) H01M 10/0585(2013.01) H01M 10/0585(2013.01)
출원번호/일자 1020090095406 (2009.10.08)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1042241-0000 (2011.06.10)
공개번호/일자 10-2011-0038212 (2011.04.14) 문서열기
공고번호/일자 (20110617) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.10.08)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이건재 대한민국 대전광역시 유성구
2 박귀일 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김강욱 대한민국 전북 전주시 덕진구 틀못*길**, 은빛빌딩 ***호(장동)(특허법인다해(전라도분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0615527-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.12.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.01.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0004058-56
4 등록결정서
Decision to grant
2011.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0295802-59
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
희생 기판상에 전극물질을 포함하는 이차전지 소자를 적층하는 단계; 상기 소자를 고온 처리하여 상기 전극물질을 결정화하는 단계; 상기 이차전지 소자 하부의 희생기판을 식각하여, 상기 이차전지 소자를 상기 희생기판으로부터 분리하는 단계; 및 상기 분리된 이차전지 소자를 전사층을 이용하여 플렉서블 기판으로 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 고온 처리는 700 내지 900℃의 온도 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 희생 기판은 (1,1,1) 결정 구조의 단결정 실리콘 기판이며, 상기 소자 하부의 희생기판 식각은 (1,1,0)방향으로의 비등방 식각인 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 이차전지 소자는 캐소드층, 전해질층 및 애노드층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
5 5
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 플렉서블 이차전지
6 6
플렉서블 이차전지 제조방법에 있어서, 상기 방법은 희생 기판상에 캐소드층, 전해질층 및 애노드층을 순차적으로 적층하여 소자층을 형성하는 단계; 상기 적층된 소자층을 식각하여, 소정 간격으로 이격되며, 하부의 희생 기판이 노출된 복수 개의 단위 트렌치로 이루어진 트렌치 열을 복수 개 형성시키는 단계; 상기 복수 개의 트렌치 구조 하부의 희생 기판을 동시에 비등방 식각하여 상기 이차전지 소자층을 희생 기판으로부터 분리하는 단계; 및 전사층을 상기 분리된 소자층에 접촉, 부착시킨 후, 플렉서블 기판에 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 트렌치 구조는 상기 단위 트렌치의 길이 방향이 상기 비등방 식각 방향에 수직하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
8 8
제 6항에 있어서, 상기 복수 열의 트렌치는 상기 트렌치 길이 방향에서 1nm 내지 10μm 길이 범위만큼 중첩되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
9 9
제 6항에 있어서, 상기 트렌치 길이(b)는 10nm 내지 1cm인 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
10 10
제 6항에 있어서, 상기 트렌치 폭(d)은 1nm 내지 50 μm, 트렌치 간 간격은 1 내지 500μm인 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
11 11
제 6항에 있어서, 상기 희생 기판은 (1,1,1) 결정 구조의 단결정 실리콘 기판이며, 상기 비등방 식각은 (1,1,0)방향으로 진행되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
12 12
제 6항에 있어서, 상기 전사층은 PDMS를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
13 13
제 6항에 있어서, 상기 캐소드층, 전해질층 및 애노드층은 LiCoO2층, LiPON층 및 Al층인 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
14 14
제 6항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 제조된 플렉서블 이차전지
15 15
플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 적층된 이차전지를 포함하며, 상기 이차전지는 희생 기판에서 제조된 후, 이차전지 하부의 상기 희생 기판을 복수 지점으로부터 동시에 비등방식각함으로써 상기 희생기판으로부터 분리된 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지
16 16
제 15항에 있어서, 상기 이차전지는 희생기판에서 분리된 후 상기 플렉서블 기판에 전사된 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지
17 17
제 15항에 있어서, 상기 비등방 식각의 시작 지점은 소정 간격으로 이격된 트렌치인 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지
18 18
제 17항에 있어서, 상기 트렌치는 상기 트렌치의 길이 방향은 상기 비등방식각 방향에 수직하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지
19 19
제 1 플렉서블 기판상에 패터닝된 제 1 금속층을 형성하는 단계; 제 1 희생 기판상에 제조된 후, 하부 제 1 희생기판이 비등방 식각됨으로써 상기 제 1 희생 기판과 분리된 BTO 소자를 상기 제 1 금속층의 일 영역 및 제 1 플렉서블 기판에 동시에 접촉시킨 후, 떼어냄으로써 압전 소자를 제 1 플렉서블 기판에 전사시키는 단계; 제 2 희생 기판상에 제조된 후, 하부 제 2 희생기판이 비등방 식각됨으로써 상기 제 2 희생 기판과 분리된 이차전지를 상기 제 1 금속층의 타 영역 및 제 1 플렉서블 기판에 동시에 접촉시킨 후, 떼어냄으로써 이차전지를 제 1 플렉서블 기판에 전사시키는 단계; 및 상기 제 1 플렉서블 기판에 대향하며, 상기 압전 소자 및 이차전지의 타 측을 전기적으로 연결하는 제 2 금속층이 증착된 제 2 플렉서블 기판을 상기 압전 소자 및 이차전지 타 측에 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
20 20
제 19항에 있어서, 상기 압전소자와 제 1 희생 기판의 분리는, 제 1 희생 기판상에 압전소자층을 적층하는 단계; 상기 적층된 압전소자층을 식각하여, 소정 간격으로 이격되며, 하부의 제 1 희생 기판이 노출된 복수 개의 단위 트렌치로 이루어진 트렌치 열을 복수 개 형성시키는 단계; 및 상기 복수 개의 트렌치 구조 하부의 제 1 희생 기판을 동시에 비등방 식각함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
21 21
제 19항에 있어서, 상기 이차전지와 제 2 희생 기판의 분리는 제 2 희생 기판상에 이차전지 소자층을 적층하는 단계; 상기 적층된 이차전지 소자층을 식각하여, 소정 간격으로 이격되며, 하부의 제 2 희생 기판이 노출된 복수 개의 단위 트렌치로 이루어진 트렌치 열을 복수 개 형성시키는 단계; 및 상기 복수 개의 트렌치 구조 하부의 제 2 희생 기판을 동시에 비등방 식각함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
22 22
제 20항 또는 제 21항에 있어서, 상기 트렌치 구조는 상기 단위 트렌치의 길이 방향은 상기 비등방 식각 방향에 수직하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
23 23
제 20항 또는 제 21항에 있어서 상기 복수 열의 트렌치는 상기 트렌치 길이 방향에서 1nm 내지 10μm 길이 범위만큼 중첩되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 이차전지 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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