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Diode switching을 이용한 적외선 센서의 Silicon in Package 방법

  • 기술번호 : KST2014047106
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다이오드 스위칭을 이용한 적외선 센서 및 이의 패키징 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 다이오드와 볼로미터가 어레이로 배열되며 이 다이오드와 볼로미터가 직렬로 연결되는 적외선 센서에 대한 것이다.또한, 본 발명은 이 적외선 센서로부터 신호를 읽기 위한 출력제어 집적회로(ROIC: Read Out Integrated Circuit)와 적외선 센서를 동일한 실리콘 기판 상에서 패키징하는 패키지 방법에 대한 것이다. 본 발명에 따르면, 적외선 센서를 볼로미터와 다이오드로 구성하여 칩으로 패키징함으로써 본딩 패드(PAD)가 감소하므로 소형화가 가능하다. 또한, 본 발명의 다른 효과로서는 적외선 센서 칩과 출력 제어 집적회로(ROIC) 칩을 별개로 구성하여 동일한 웨이퍼 레벨에서 접착시키므로 출력 제어 집적회로의 불량에 대한 사전 검사가 가능하다는 점을 들 수 있다.
Int. CL H01L 25/16 (2006.01)
CPC H01L 25/16(2013.01) H01L 25/16(2013.01) H01L 25/16(2013.01)
출원번호/일자 1020110023039 (2011.03.15)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1153722-0000 (2012.05.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120614) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.15)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병일 대한민국 대전광역시 유성구
2 김희연 대한민국 대전광역시 유성구
3 경기명 대한민국 대전광역시 유성구
4 박재홍 대한민국 대전광역시 유성구
5 김경민 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0189126-47
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.01.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.02.15 수리 (Accepted) 9-1-2012-0010008-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0127466-05
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.04.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0342546-45
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0342478-38
7 등록결정서
Decision to grant
2012.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0289799-47
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
스위칭 기능을 수행하는 다이오드 어레이가 기판 상에 형성되는 다이오드 어레이 형성 단계;상기 다이오드 어레이 상에 모놀리딕 방식을 이용하여 볼로미터 어레이를 상기 다이오드 어레이에 연결시키는 볼로미터 어레이 형성 단계;상기 볼로미터 어레이와 연결되며 연장된 컬럼 라인 및 로우 라인이 생성되는 연장 라인 형성단계;상기 볼로미터 어레이의 출력을 제어하도록 출력 제어 집적회로(ROIC: Read-Out Integrated Circuit)가 상기 연장된 컬럼 라인 및 로우 라인과 연결되는 라인 연결 단계; 출력 제어 집적회로 캡을 덮어 상기 출력 제어 집적회로를 진공 패키징하는 출력 제어 집적회로 진공 패키징 단계; 및상기 출력 제어 집적회로 캡과 수평 방향으로 일정 간격 이격되어 볼로미터 어레이 캡을 덮어 상기 볼로미터 어레이를 진공 패키징하는 볼로미터 어레이 진공 패키징 단계 를 포함하는 다이오드 스위칭을 이용한 SA-FPA(Semi-Active Focal Plane Array) 센서의 시스템 인 패키징 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 볼로미터 어레이는, 상기 다이오드 어레이의 다이오드 각각에 직렬로 연결되며 상기 컬럼 라인 또는 로우 라인에 연결되는 볼로미터를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이오드 스위칭을 이용한 SA-FPA 센서의 시스템 인 패키징 방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 다이오드 어레이는 상기 볼로미터 어레이의 하단에 위치하며, 상기 다이오드와 볼로미터 사이의 각각에는 리플렉터가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 다이오드 스위칭을 이용한 SA-FPA 센서의 시스템 인 패키징 방법
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 볼로미터 어레이 형성 단계는, 상기 연장된 컬럼 라인 및 로우 라인은 상기 볼로미터 어레이를 상기 기판상에 만들기 전에 사전에 상기 기판 상에 적층되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이오드 스위칭을 이용한 SA-FPA 센서의 시스템 인 패키징 방법
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 출력 제어 집적회로 진공 패키징 단계는, 상기 출력 제어 집적회로 캡과 상기 기판 사이에는 진공을 위한 출력 제어 집적회로 실링 가이드를 설치하는 단계를 더 포함하며,상기 볼로미터 어레이 진공 패키징 단계는, 상기 볼로미터 어레이 캡과 상기 기판 사이에는 진공을 위한 볼로미터 어레이 실링 가이드가 설치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이오드 스위칭을 이용한 SA-FPA 센서의 시스템 인 패키징 방법
6 6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 볼로미터 어레이와 출력 제어 집적회로의 크기는 동일하거나 동일하지 않으며,상기 출력 제어 집적회로와 출력 제어 집적회로 캡은 미리 일체형으로 제작되어 있는 것을 특징으로 하는 다이오드 스위칭을 이용한 SA-FPA 센서의 시스템 인 패키징 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.