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파티클 입자가 증착되는 더미 웨이퍼가 마련되는 챔버;
상기 챔버와 제 1유로를 이루고, 파티클 입자 용액이 저장되며, 상기 파티클 입자 용액으로부터 습식 파티클 입자를 생성하는 입자 생성부;
상기 제 1유로의 소정 위치의 양단으로부터 분기되어 연결되는 제 2유로 상에 설치되며, 상기 습식 파티클 입자를 건식 파티클 입자로 변환시키는 건조부; 및
상기 습식 파티클 입자와 상기 건식 파티클 입자 중 어느 하나를 선택하여 상기 더미 웨이퍼 상에 공급하는 선택 공급 유니트를 포함하는 파티클 입자 증착설비
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제 1항에 있어서,
상기 선택 공급 유니트는 상기 입자 생성부의 근방의 상기 제 1유로 상에 설치되어 상기 제 1유로와 상기 제 2유로 중 어느 하나의 유로를 형성하는 제 1개폐밸브와, 상기 제 1개폐밸브로 전기적 신호를 전송하여 상기 제 1개폐밸브를 작동시키는 제어기와, 상기 입자 생성부와 제 3유로를 통하여 연결되고 상기 제어기로부터 전기적 신호를 전송받아 상기 입자 생성부로 이송가스를 공급하는 가스 공급기를 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 입자 증착설비
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3
제 2항에 있어서,
상기 선택 공급 유니트는 압력 조절 모듈을 더 구비하되,
상기 압력 조절 모듈은 상기 제 3유로 상에 설치되어 상기 제 3유로의 내부 압력값을 측정하는 압력센서와, 상기 제 3유로 상에 설치되는 APC 밸브와, 상기 제어기에 구비되어 공급 압력값이 설정되며, 상기 측정되는 압력값을 전송받는 압력 제어기를 구비하고,
상기 압력 제어기는 상기 측정되는 압력값이 설정된 공급 압력값이 되도록 상기 APC 밸브를 작동시키는 것을 특징으로 하는 파티클 입자 증착설비
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제 2항에 있어서,
상기 선택 공급 유니트는 시간 설정 모듈을 더 구비하되,
상기 시간 설정 모듈은 상기 챔버의 근방에 위치되는 상기 제 1유로 상에 설치되어 상기 제 1유로를 개폐하는 제 2개폐밸브와, 상기 챔버에 위치되는 상기 제 1유로 상에 설치되어 상기 공급되는 파티클 입자의 유량값을 감지하는 유량 감지기와, 상기 제어기에 구비되어 기준 시간값이 설정되며, 상기 감지되는 유량값을 전송받는 시간 제어기를 구비하고,
상기 시간 제어기는 상기 유량값을 전송받은 시점으로부터 계산되는 시간값이 상기 기준 시간값이 되면 상기 제 2개폐밸브를 작동시키어 상기 제 1유로를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 파티클 입자 증착설비
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5
제 1항에 있어서,
상기 챔버는 상기 더미 웨이퍼의 화상 정보를 취득하는 제 1화상 취득 수단을 더 구비하되,
상기 제 1화상 취득 수단은 상기 챔버에 설치되는 투명의 석영창과, 상기 석영창에 설치되어 상기 챔버의 내부의 화상 정보를 취득하는 제 1카메라와, 상기 제 1카메라로부터 취득된 화상 정보를 전송받아 저장하는 제 1저장기와, 상기 저장된 화상 정보를 가시화하는 제 1디스플레이를 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 입자 증착설비
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제 1항에 있어서,
상기 챔버의 근방에는 세정 확인 수단을 더 구비하되,
상기 세정 확인 수단은 상기 파티클 입자가 증착된 더미 웨이퍼가 함침되어 세정되는 세정액이 저장되는 세정 베쓰와, 상기 더미 웨이퍼를 상기 챔버와 상기 세정 베쓰의 사이에서 이송시키는 이송 로봇과, 상기 세정된 더미 웨이퍼의 화상 정보를 취득하여 상기 더미 웨이퍼를 가시적으로 확인시키는 제 2화상 취득 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 입자 증착설비
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7
제 6항에 있어서,
상기 제 2화상 취득 수단은 상기 세정 베쓰의 상부에 설치되어 상기 세정된 더미 웨이퍼의 화상정보를 취득하는 제 2카메라와, 상기 제 2카메라로부터 취득된 화상 정보를 전송받아 저장하는 제 2저장기와, 상기 저장된 화상 정보를 가시화하는 제 2디스플레이를 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 입자 증착설비
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8
파티클 입자가 증착되는 더미 웨이퍼가 마련되는 챔버와; 상기 챔버와 제 1유로를 이루고, 파티클 입자 용액이 저장되며, 상기 파티클 입자 용액으로부터 습식 파티클 입자를 생성하는 입자 생성부와; 상기 제 1유로의 소정 위치의 양단으로부터 분기되어 연결되는 제 2유로 상에 설치되며, 상기 습식 파티클 입자를 건식 파티클 입자로 변환시키는 건조부와; 상기 습식 파티클 입자와 상기 건식 파티클 입자 중 어느 하나를 선택하여 상기 더미 웨이퍼 상에 공급하는 선택 공급 유니트를 포함하되,
상기 선택 공급 유니트는 상기 입자 생성부의 근방의 상기 제 1유로 상에 설치되어 상기 제 1유로와 상기 제 2유로 중 어느 하나의 유로를 형성하는 제 1개폐밸브와, 상기 제 1개폐밸브로 전기적 신호를 전송하여 상기 제 1개폐밸브를 작동시키는 제어기와, 상기 입자 생성부와 제 3유로를 통하여 연결되고 상기 제어기로부터 전기적 신호를 전송받아 상기 입자 생성부로 이송가스를 공급하는 가스 공급기를 구비하고, 상기 선택 공급 유니트는 압력 조절 모듈을 구비하고, 상기 압력 조절 모듈은 상기 제 3유로 상에 설치되어 상기 제 3유로의 내부 압력값을 측정하는 압력센서와, 상기 제 3유로 상에 설치되는 APC 밸브와, 상기 제어기에 구비되어 공급 압력값이 설정되며, 상기 측정되는 압력값을 전송받는 압력 제어기를 구비하고, 상기 압력 제어기는 상기 측정되는 압력값이 설정된 공급 압력값이 되도록 상기 APC 밸브를 작동시키며,
상기 선택 공급 유니트는 시간 설정 모듈을 구비하고, 상기 시간 설정 모듈은 상기 챔버의 근방에 위치되는 상기 제 1유로 상에 설치되어 상기 제 1유로를 개폐하는 제 2개폐밸브와, 상기 챔버에 위치되는 상기 제 1유로 상에 설치되어 상기 공급되는 파티클 입자의 유량값을 감지하는 유량 감지기와, 상기 제어기에 구비되어 기준 시간값이 설정되며, 상기 감지되는 유량값을 전송받는 시간 제어기를 구비하고, 상기 시간 제어기는 상기 유량값을 전송받은 시점으로부터 계산되는 시간값이 상기 기준 시간값이 되면 상기 제 2개폐밸브를 작동시키어 상기 제 1유로를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 파티클 입자 증착설비
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9
제 8항에 있어서,
상기 챔버는 상기 더미 웨이퍼의 화상 정보를 취득하는 제 1화상 취득 수단을 구비하되, 상기 제 1화상 취득 수단은 상기 챔버에 설치되는 투명의 석영창과, 상기 석영창에 설치되어 상기 챔버의 내부의 화상 정보를 취득하는 제 1카메라와, 상기 제 1카메라로부터 취득된 화상 정보를 전송받아 저장하는 제 1저장기와, 상기 저장된 화상 정보를 가시화하는 제 1디스플레이를 구비하고,
상기 챔버의 근방에는 세정 확인 수단을 구비하되, 상기 세정 확인 수단은 상기 파티클 입자가 증착된 더미 웨이퍼가 함침되어 세정되는 세정액이 저장되는 세정 베쓰와, 상기 더미 웨이퍼를 상기 챔버와 상기 세정 베쓰의 사이에서 이송시키는 이송 로봇과, 상기 세정된 더미 웨이퍼의 화상 정보를 취득하여 상기 더미 웨이퍼를 가시적으로 확인시키는 제 2화상 취득 수단을 구비하며, 상기 제 2화상 취득 수단은 상기 세정 베쓰의 상부에 설치되어 상기 세정된 더미 웨이퍼의 화상정보를 취득하는 제 2카메라와, 상기 제 2카메라로부터 취득된 화상 정보를 전송받아 저장하는 제 2저장기와, 상기 저장된 화상 정보를 가시화하는 제 2디스플레이를 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 입자 증착설비
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