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세라믹 또는 금속질산염인 금속 원료를 용매에 첨가 및 교반하여 용액을 마련하는 단계와,상기 세라믹 또는 금속질산염인 금속 원료 용액에 폴리머를 첨가 및 교반하여 용액을 마련하는 단계와, 상기 용액을 초음파 분무장치로 분무시키는 단계와,상기 분무된 액적을 미리 가열된 챔버로 분사시키는 단계와, 상기 분사물을 열분해시키는 단계와, 상기 열분해 후 생성된 분말을 포집하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 세라믹, 금속 원료는 순수 또는 알코올계 용매에 용해가 되는 모든 원료를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 세라믹 또는 금속 원료와 용매의 혼합비 조절로 용액의 농도를 조절하여 최종 분말의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 세라믹 또는 금속 용액과 첨가된 폴리머의 혼합비 조절로 최종 분말과 기공의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 첨가되는 폴리머는 PEG, PAA 또는 용해가 가능한 모든 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 초음파 분무장치의 진동수를 조절하여 2차 입자인 최종분말의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 분무된 액적을 미리 가열된 챔버로 분사시키는 단계는 액적을 운반 기체를 이용하여 가열 챔버로 분사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 9항에 있어서, 상기 운반 기체는 공기, 산소, 질소, 불활성 가스 또는 상기 기체의 혼합 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 분사물을 열분해시키는 단계의 온도는 100℃ 내지 1200℃인 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 열분해 후 생성된 분말은 마이크론 이하의 크기인 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 방법을 이용하여 제조된 것을 특징으로 하는 나노 다공성 분말
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