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졸-젤 공정으로 제조된 탄화규소/카본/실리카 복합분말과, 이 복합분말을 사용한 고순도 및 고강도의 반응소결 탄화규소의 제조방법
- 기술번호 : KST2014049298
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 본 발명은 졸-젤 공정으로 제조된 탄화규소/카본/실리카 복합분말과, 이 복합분말을 사용한 고순도 및 고강도의 반응소결 탄화규소의 제조방법에 관한 것이다.본 발명이 제조하는 반응소결 탄화규소는 고순도 및 고강도 특성을 동시에 갖고 있으므로 차세대 반도체 고온 공정용 반응소결 탄화규소(RBSC) 치구류, 고온 진공장치용 부품 및 반도체 공정용 히터 소재 등으로 다양하게 적용된다.복합분말, 반응소결, 탄화규소, 고순도, 고강도 |
|---|---|
| Int. CL | C01B 31/36 (2006.01) C04B 35/56 (2006.01) C04B 35/565 (2006.01) C04B 35/14 (2006.01) |
| CPC | C01B 32/956(2013.01) C01B 32/956(2013.01) C01B 32/956(2013.01) C01B 32/956(2013.01) C01B 32/956(2013.01) C01B 32/956(2013.01) C01B 32/956(2013.01) C01B 32/956(2013.01) C01B 32/956(2013.01) C01B 32/956(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090047381 (2009.05.29) |
| 출원인 | 한국과학기술연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1116755-0000 (2012.02.08) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0128777 (2010.12.08) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20120222) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.05.29) |
| 심사청구항수 | 7 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술연구원 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 박상환 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 |
| 2 | 정훈 | 대한민국 | 경기도 남양주시 |
| 3 | 조경선 | 대한민국 | 경기도 구리시 |
| 4 | 김규미 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 5 | 조영철 | 대한민국 | 서울특별시 금천구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한라특허법인(유한) | 대한민국 | 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술연구원 | 서울특별시 성북구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.05.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0325230-97 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5247056-16 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.10.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.11.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0068434-64 |
| 5 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2010.12.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0813882-16 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2010.12.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0813941-12 |
| 7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0284844-19 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.07.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0565405-01 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.07.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0565404-55 |
| 10 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.01.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0050613-37 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
| 12 | 대리인선임신고서 Report on Appointment of Agent |
2015.12.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-5033520-42 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 베타상 탄화규소(β-SiC/C) 분말; 탄소원이 열분해되어 생성된 카본 분말; 및 액상의 규소원이 탄소원과 반응하고 미반응 상태로 남아 있는 실리카 분말; 이 균질하게 분산되어 있는 것을 특징으로 하는 탄화규소/카본/실리카 복합분말 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 복합분말내 잔류 카본 함량이 15 ～ 36 중량% 이고 실리카 함량이 9 ～ 27 중량%인 것을 특징으로 하는 탄화규소/카본/실리카 복합분말 |
| 3 |
3 규소원소 1 몰에 대한 카본원소의 몰비(C/Si)가 1 |
| 4 |
4 제 3 항에 있어서, 상기 규소원은 실리콘 알콕사이드 및 알킬실란 중에서 선택되는 액상의 규소 화합물인 것을 특징으로 하는 탄화규소/카본/실리카 복합분말의 제조방법 |
| 5 |
5 제 3 항에 있어서, 상기 탄소원은 페놀 수지인 것을 특징으로 하는 탄화규소/카본/실리카 복합분말의 제조방법 |
| 6 |
6 제 3 항에 있어서, 상기 가수분해 촉매가 p-톨루엔술폰산(p-TSA), 질산, 올레익산, 말레익산, 아크릴산 및 염산 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 산인 것을 특징으로 하는 탄화규소/카본/실리카 복합분말의 제조방법 |
| 7 |
7 상기 청구항 1 또는 2항 중에서 선택된 어느 한 항의 탄화규소/카본/실리카 복합분말 100 중량부와 바인더 2 ～ 5 중량부를 혼합한 후 가압하여, 판상의 탄화규소/카본/실리카 성형체를 제조하는 과정; 및상기 탄화규소/카본/실리카 성형체에 1450 ～ 1600℃ 온도 및 10-2 ～ 10-1 torr 압력 조건에서 용융 규소를 침윤시켜 반응소결 탄화규소를 제조하는 과정;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반응소결 탄화규소의 제조방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 지식경제부 | 한국기계연구원 | 소재원천기술개발사업 | 계면제어기술을 통한 초임계 성능 세라믹 소재 개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1116755-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090529 출원 번호 : 1020090047381 공고 연월일 : 20120222 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120126 청구범위의 항수 : 7 유별 : C04B 35/565 발명의 명칭 : 졸-젤 공정으로 제조된 탄화규소/카본/실리카 복합분말과, 이 복합분말을 사용한 고순도 및 고강도의 반응소결 탄화규소의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20180209 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 159,000 원 | 2012년 02월 09일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2015년 02월 05일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2016년 01월 27일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2017년 01월 25일 | 납입 |
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- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.05.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0325230-97 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5247056-16 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.10.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2010.11.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0068434-64 |
| 5 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.12.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0813882-16 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.12.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0813941-12 |
| 7 | 의견제출통지서 | 2011.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0284844-19 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.07.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0565405-01 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.07.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0565404-55 |
| 10 | 등록결정서 | 2012.01.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0050613-37 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
| 12 | 대리인선임신고서 | 2015.12.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-5033520-42 |
| 기술번호 | KST2014049298 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국과학기술연구원 |
| 기술명 | 졸-젤 공정으로 제조된 탄화규소/카본/실리카 복합분말과, 이 복합분말을 사용한 고순도 및 고강도의 반응소결 탄화규소의 제조방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 졸-젤 공정으로 제조된 탄화규소/카본/실리카 복합분말과, 이 복합분말을 사용한 고순도 및 고강도의 반응소결 탄화규소의 제조방법에 관한 것이다.본 발명이 제조하는 반응소결 탄화규소는 고순도 및 고강도 특성을 동시에 갖고 있으므로 차세대 반도체 고온 공정용 반응소결 탄화규소(RBSC) 치구류, 고온 진공장치용 부품 및 반도체 공정용 히터 소재 등으로 다양하게 적용된다.복합분말, 반응소결, 탄화규소, 고순도, 고강도 |
| 개발상태 | 특허만신청(등록) |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이선스 |
| 사업화적용실적 | 없음 |
| 도입시고려사항 | 없음 |
| 과제고유번호 | 1415109385 |
|---|---|
| 세부과제번호 | K0001338 |
| 연구과제명 | 계면 제어 기술을 통한 초임계 성능 세라믹스 소재개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원부설재료연구소 |
| 성과제출연도 | 2010 |
| 연구기간 | 200706~201105 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1415099843 |
|---|---|
| 세부과제번호 | K0001338 |
| 연구과제명 | 계면제어기술을통한초임계성능세라믹스소재개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원부설재료연구소 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200706~201105 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
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