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온도 및 다중 가스 감응 센서 어레이 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014049305
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 개시에서는, 절연 기판을 제공하는 단계; 상기 절연 기판 상에 온도 감응용 물질층을 형성하는 단계; 상기 온도 감응용 물질층을 패터닝하여 온도 감응막을 형성하는 단계; 상기 온도 감응막 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 전열막 상에 전도성 산화물 층을 형성하는 단계; 상기 전도성 산화물 막을 패터닝하여 복수개의 전극 패턴 어레이를 형성하는 단계; 상기 복수개의 전극 패턴 어레이 상에 복수개의 가스 감응막을 다층으로 형성하는 단계; 및 상기 복수개의 가스 감응막을 선택적으로 식각하여 상기 복수개의 전극 패턴 어레이의 각각 위에 가스 감응막 어레이 - 상기 가스 감응막 어레이는 적어도 하나의 가스 감응막을 포함함 - 를 형성하는 단계를 포함하는 센서 어레이 제조 방법을 제공한다. 산화물 온도센서, 가스센서, 산화물 절연막, 전도성 산화물, 어레이
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01)
CPC G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01)
출원번호/일자 1020090058242 (2009.06.29)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1104306-0000 (2012.01.03)
공개번호/일자 10-2011-0000917 (2011.01.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.29)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진상 대한민국 서울특별시 서초구
2 윤석진 대한민국 서울특별시 노원구
3 강종윤 대한민국 서울특별시 서초구
4 최지원 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 진수정 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)
2 정태훈 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)
3 배성호 대한민국 경상북도 경산시 박물관로*길**, ***호(사동, 태화타워팰리스)(특허법인 티앤아이(경상북도분사무소))
4 오용수 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)에스엠지 경기도 시흥시 시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0393885-09
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.10.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0063630-45
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0262895-11
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2011.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0487856-60
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0525460-75
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.07.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0525461-10
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0772175-30
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
센서 어레이에 있어서, 절연기판; 상기 절연기판 상에 형성된 온도 감응막; 상기 온도 감응막 상에 배치된 절연막; 상기 절연막 상에 배치되는 복수개의 전도성 산화물 전극 패턴 어레이; 및 복수개의 다층 구조 가스 감응막 어레이 - 상기 복수개의 가스 감응막 어레이의 각각은 상기 복수개의 전극 패턴 어레이의 대응되는 어레이 상에 배치되고 적어도 하나의 가스 감응막을 포함함 - 를 포함하는 센서 어레이
2 2
제1항에 있어서, 상기 복수개의 다층 구조 가스 감응막 어레이 각각에 포함된 상기 가스 감응막 중 최상층인 가스 감응막은 서로 다른 가스 감응 물질로 구성된, 센서 어레이
3 3
제1항에 있어서, 상기 온도 감응막은 연결부 및 상기 연결부로부터 연장된 연장부를 포함하고, 상기 연결부 및 상기 연장부는 상기 절연기판의 중간부에 배치된, 센서 어레이
4 4
제3항에 있어서, 상기 복수개의 전극 패턴 어레이 중 일부 전극 패턴 어레이는, 상기 절연막 상에서, 상기 절연막 아래 배치된 상기 온도 감응막의 상기 연장부를 사이에 두고 다른 전극 패턴 어레이와 대향하도록 배치된, 센서 어레이
5 5
제1항에 있어서, 상기 온도 감응막은 산화코발트계 열전소재 또는 티탄산 바륨계 써미스터 물질을 포함하는, 센서 어레이
6 6
제5항에 있어서, 상기 온도 감응막은 산화코발트 또는 티탄산 바륨인, 센서 어레이
7 7
제1항에 있어서, 상기 온도 감응막, 상기 절연막, 상기 전극 패턴 어레이 및 상기 가스 감응막 어레이는 산화물을 포함하는, 센서 어레이
8 8
센서 어레이 제조 방법으로서, 절연 기판을 제공하는 단계; 상기 절연 기판 상에 온도 감응용 물질층을 형성하는 단계; 상기 온도 감응용 물질층을 패터닝하여 온도 감응막을 형성하는 단계; 상기 온도 감응막 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 전열막 상에 전도성 산화물 층을 형성하는 단계; 상기 전도성 산화물 층을 패터닝하여 복수개의 전극 패턴 어레이를 형성하는 단계; 상기 복수개의 전극 패턴 어레이 상에 복수개의 가스 감응막을 다층으로 형성하는 단계; 및 상기 복수개의 가스 감응막을 선택적으로 식각하여 상기 복수개의 전극 패턴 어레이의 각각 위에 가스 감응막 어레이 - 상기 가스 감응막 어레이는 적어도 하나의 가스 감응막을 포함함 - 를 형성하는 단계 를 포함하는 센서 어레이 제조 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 복수개의 가스 감응막은 서로 다른 가스 감응 물질로 구성된, 센서 어레이 제조 방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 복수개의 가스 감응막을 선택적으로 식각하여 상기 복수개의 전극 패턴 어레이의 각각 위에 가스 감응막 어레이를 형성하는 단계는, 상기 복수개의 전극 패턴 어레이 상에 각각 형성된 상기 가스 감응막 어레이가 서로 다른 개수의 가스 감응막을 포함하도록 상기 복수개의 가스 감응막을 선택적으로 식각하는 단계를 포함하는, 센서 어레이 제조 방법
11 11
제8항에 있어서, 상기 온도 감응막은 산화코발트계 열전소재 또는 티탄산 바륨계 써미스터 물질을 포함하는, 센서 어레이 제조 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 온도 감응용 물질층은 산화코발트 또는 티탄산 바륨인, 센서 어레이 제조 방법
13 13
제8항에 있어서, 상기 온도 감응용 물질층, 상기 절연막, 상기 전도성 산화물 층 및 상기 가스 감응막 각각은 산화물로 구성되는, 센서 어레이 제조 방법
14 14
제8항에 있어서, 상기 온도 감응용 물질층을 패터닝하여 온도 감응막을 형성하는 단계는, 상기 온도 감응막이 연결부와 상기 연결부로부터 연장된 연장부를 포함하고, 상기 연결부 및 상기 연장부는 상기 절연기판의 중간부에 배치되도록 상기 온도 감응용 물질층을 패터닝하는 단계를 포함하는, 센서 어레이 제조 방법
15 15
제14항에 있어서, 상기 전도성 산화물 층을 패터닝하여 복수개의 전극 패턴 어레이를 형성하는 단계는, 상기 복수개의 전극 패턴 어레이 중 일부 전극 패턴 어레이가, 상기 절연막 상에서, 상기 절연막 아래 배치된 상기 온도 감응막의 상기 연장부를 사이에 두고 다른 전극 패턴 어레이와 대향하게 배치되도록 상기 전도성 산화물 층을 패터닝하는 단계를 포함하는, 센서 어레이 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.