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기판;상기 기판 상에 형성되고, 탄소물질을 포함하는 탄소 전극막;상기 탄소 전극막 상에 형성된 절연막;상기 절연막 상의 적어도 일부에 형성되며, 상호 이격된 제1 전극 및 제2 전극을 포함하는, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘, 유리 또는 알루미나(Alumina)를 포함하는, 복합 센서
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제2항에 있어서,상기 기판이 실리콘을 포함하는 경우, 상기 실리콘은 N형 또는 P형으로 도핑된 실리콘인, 복합 센서
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제2항에 있어서,상기 기판이 유리 또는 알루미나를 포함하는 경우, 상기 기판과 상기 탄소 전극막 사이에 전도성막(Conductive Layer)이 더 형성되는, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 탄소 전극막은, 그래핀(Graphene), 카본나노튜브(Carbon Nanotube), 탄소섬유(Carbon Fiber), 인조흑연(Artificial Graphite), 카본블랙(Carbon Black), 활성탄소(Activated Carbon) 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 탄소 전극막이 가지는 전기 용량값은, 상기 탄소 전극막이 포함하는 복수의 탄소 입자들 각각의 사이에서 발생하는 전기 용량의 총합인, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 적어도 일부를 커버하며 상기 절연막 상에 형성된 보호막을 더 포함하는, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 기판 및 상기 탄소 전극막의 접촉체는 커패시터(Capacitor)로 기능하고,상기 복합 센서는 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 전원을 인가하여 정전용량의 변화를 측정하는 용량형 센서인, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 복합 센서는 상기 기판에 전원을 인가하여 상기 기판의 저항 변화를 측정하는 저항형 센서인, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 기판 및 상기 탄소 전극막은 작동전극(Working Electrode), 상기 제1 전극은 기준전극(Reference Electrode), 상기 제2 전극은 상대전극(Counter Electrode)으로 기능하고,상기 복합 센서는 상기 작동전극과 상기 기준전극 사이의 전위차를 측정하는 3전극 전기화학 센서인, 복합 센서
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제10항에 있어서, 상기 작동전극의 단면이 사각형, 원형, 반원형 또는 삼각형의 형태인, 복합 센서
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제10항에 있어서, 상기 작동전극의 단면을 이루는 적어도 하나의 폭이 500μm 이하인, 복합 센서
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제10항에 있어서,상기 기준전극 및 상기 상대전극이 상기 작동전극의 단면과 수평방향으로 상기 절연막 상에 배치된, 복합 센서
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제10항에 있어서,상기 기준전극 및 상기 상대전극이 상기 작동전극의 단면과 수직방향으로 연장된 형태로 상기 절연막 상에 배치되는, 복합 센서
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제10항에 있어서,상기 기준전극 및 상기 상대전극은 각각 패턴화된 형태를 갖고, 각각의 패턴화된 형태가 서로 맞물려 있도록 배치된, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 크롬(Cr), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 철(Fe), 텅스텐(W), 팔라듐(Pd) 세슘(Cs), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 마그네슘-알루미늄(Mg-Al) 중 적어도 하나를 포함하는, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은, 대향하도록 배치되는 빗살형 전극(Interdigit Electrode)인, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 탄소 전극막의 두께는 10nm 내지 5㎛인, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 절연막의 두께는 10nm 내지 1,000nm인, 복합 센서
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제1항에 있어서,상기 기판은 측정 대상 물질이 상기 탄소 전극막에 직접적으로 접촉하는 것을 방지하는, 복합 센서
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제7항에 있어서,상기 보호막은 측정 물질이 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 직접적으로 접촉하는 것을 방지하는, 복합 센서
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