| 1 |
1
피실험체에 삽입되는 탐침 몸체;상기 탐침 몸체에 형성되어 상기 피실험체로부터의 반응 신호를 수집하는 전극; 상기 탐침 몸체에 부착되며, 광 신호를 조사하는 광 조사체; 및상기 광 신호의 진행 경로 상에 위치하도록 상기 탐침 몸체에 형성되는 반사면을 포함하고,상기 반사면은 상기 광 조사체로부터 조사되는 상기 광 신호를 반사해 상기 광 신호가 상기 전극이 배향된 방향으로 진행되도록 진로를 변경시키는 것을 특징으로 하는 광자극 탐침
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 전극은 상기 탐침 몸체의 측면부에 형성되어 상기 탐침 몸체의 길이방향과 수직한 방향으로 배향되도록 배치되고, 상기 반사면에 의해 반사된 상기 광 신호는 상기 탐침 몸체의 길이방향과 수직한 방향으로 진행하여,상기 전극의 배향 방향과, 반사된 상기 광 신호의 진행 방향이 서로 평행한 것을 특징으로 하는 광자극 탐침
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 탐침 몸체에는 상기 탐침 몸체의 길이 방향을 따라 안착홈이 형성되어 있고,상기 광 조사체는 상기 안착홈에 안착되며,상기 안착홈에는 상기 광 신호가 출력되어 나오는 상기 광 조사체의 단부와 마주하는 경사면이 구비되고,상기 반사면은 상기 경사면에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 광자극 탐침
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 탐침 몸체는 실리콘으로 형성되고, 상기 안착홈은 습식 식각에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 광자극 탐침
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 탐침 몸체는 [1, 0, 0] 격자 구조를 가지는 실리콘 웨이퍼로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 광자극 탐침
|
| 6 |
6
제3항에 있어서,상기 광 조사체는, 외부의 광원으로부터 발생한 광 신호를 전달하는 광섬유 또는 광도파로인 것을 특징으로 하는 광자극 탐침
|
